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公开(公告)号:CN102225664A
公开(公告)日:2011-10-26
申请号:CN201110096414.5
申请日:2009-07-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , H01L41/0805 , H01L41/1876 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供具有可抑制压电体层发生裂纹、且绝缘性出色的压电元件的液体喷射头及液体喷射装置和压电元件。该液体喷射头具备:与喷射液体的喷嘴开口连通的压力发生室、和使该压力发生室发生压力变化的压电元件,该压电元件由第一电极(60)、形成在该第一电极上的压电体层(70)、和形成在所述压电体层的与所述第一电极相反一侧的第二电极(80)构成,在所述压电体层中形成有粒状的域(511)。
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公开(公告)号:CN102180012A
公开(公告)日:2011-09-14
申请号:CN201110005307.7
申请日:2011-01-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/187 , B41J2/14233 , B41J2202/03
Abstract: 本发明提供一种液体喷射头及液体喷射装置,用于防止压电体层的驱动劣化、使耐久性提高。该液体喷射头具备:与喷嘴开口连通的压力产生室;以及具有第一电极、形成在该第一电极上的压电体层和形成在该压电体层上的第二电极的压电元件;所述压电体层由含有铅(Pb)、锆(Zr)及钛(Ti)的金属氧化物构成,且包括具有负电荷的Pb-O复合缺陷和具有正电荷的Pb-O复合缺陷,具有负电荷的Pb-O复合缺陷比具有正电荷的Pb-O复合缺陷更多地存在。
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公开(公告)号:CN102024902A
公开(公告)日:2011-04-20
申请号:CN201010282918.1
申请日:2010-09-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/083 , B41J2/045
CPC classification number: B41J2/14233 , H01L41/1876
Abstract: 本发明提供压电体层的结晶质量良好且压电特性良好的压电元件、压电执行器、液体喷射头及液体喷射装置。本发明的压电元件100包括:第1导电层10;与第1导电层10相对向配置的第2导电层20;在第1导电层10和第2导电层20之间配置,由至少包含铅、锆、钛和氧的复合氧化物形成的压电体层30。压电体层30包括在压电体层30的第1导电层10侧的端配置的第1晶体层32和与第1晶体层32连续、与第1晶体层32相比靠第2导电层20侧配置的第2晶体层34。压电体层30的铅的浓度在第1晶体层32的第1导电层10侧比在第2晶体层34的第2导电层20侧低,压电体层30的氧的浓度在第1晶体层32的第1导电层10侧比在第2晶体层34的第2导电层20侧高。
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公开(公告)号:CN101239532A
公开(公告)日:2008-08-13
申请号:CN200710301603.5
申请日:2007-12-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 加藤治郎
Abstract: 本发明提供了液滴喷出头、转换元件、压电装置、机电系统结构、执行机构、压电传感器、压电电动机。为了实现从喷墨打印机输出的打印物的高精细化及提高印刷速度,不断推进提高液滴喷出头的实装密度的高密度化。随着高密度化,要求细微化液滴喷出头。当液滴喷出头得到细微化时,用于液滴喷出头的压电薄膜上产生的、相对于液滴喷出变为无效应力的剪应力增大,导致液滴喷出头的寿命特性下降等。本发明中,作为打印头(80)的构成要素的材料加压体(69)的侧面配置有槽(81)。由于槽的存在,材料加压体容易变形,附加给材料加压体的剪应力减少,提高打印头的寿命特性。由于剪应力被分为拉伸/压缩应力,与现有结构相比,可以增大压力室的体积变动。
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公开(公告)号:CN102180013B
公开(公告)日:2015-04-01
申请号:CN201110008111.3
申请日:2011-01-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/055 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419
Abstract: 本发明涉及液体喷射头及液体喷射装置,可降低压电元件的应力集中来抑制压电元件的损坏。具备:沿着短边方向并列设置有与喷嘴开口连通的压力发生室的流路形成基板;和压电元件,其在该流路形成基板的一个面侧与压力发生室对应设置,具有第1电极、在第1电极上设置的压电体层及在压电体层上设置的第2电极,第1电极对应于压力发生室独立设置,并且第2电极遍及压力发生室的并列设置方向连续设置,与压力发生室的并列设置方向交叉的方向上,在压电体层的实质上驱动的活性部和实质上不驱动的非活性部的边界的至少一方边界的活性部侧,在第1电极与第2电极之间设置有介电常数比活性部的中央部低的低电介质层。
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公开(公告)号:CN102225664B
公开(公告)日:2014-10-08
申请号:CN201110096414.5
申请日:2009-07-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , H01L41/0805 , H01L41/1876 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供具有可抑制压电体层发生裂纹、且绝缘性出色的压电元件的液体喷射头及液体喷射装置和压电元件。该液体喷射头具备:与喷射液体的喷嘴开口连通的压力发生室、和使该压力发生室发生压力变化的压电元件,该压电元件由第一电极(60)、形成在该第一电极上的压电体层(70)、和形成在所述压电体层的与所述第一电极相反一侧的第二电极(80)构成,在所述压电体层中形成有粒状的域(511)。
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公开(公告)号:CN102310638B
公开(公告)日:2014-08-13
申请号:CN201110191279.2
申请日:2011-07-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1626 , B41J2/1631 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2202/18
Abstract: 本发明提供耐久性提高了的液滴排出头及液滴排出装置。该液滴排出头具备:压力室基板(10),其设置有多个分别连通于喷嘴孔(21)的压力室(11);压电元件(100),其包含在压力室基板的上方依次设置的第一导电层(40)、压电体层(50)及第二导电层(60);俯视具有重叠区域(143),其是压力室、第一导电层、压电体层及第二导电层相重叠的区域;第二导电层俯视与多个压力室重叠而连续地设置;第一导电层在重叠区域以第一方向(210)为较长方向、以与第一方向正交的第二方向(220)为较短方向,按每一重叠区域而设置,且在重叠区域的至少一个第一方向的端侧,具有端部区域(141);端部区域,越朝向第一方向的端缘,其第二方向的宽度越变窄。
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公开(公告)号:CN103950290A
公开(公告)日:2014-07-30
申请号:CN201410101265.0
申请日:2011-01-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/055 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419
Abstract: 本发明涉及液体喷射头及液体喷射装置,可降低压电元件的应力集中来抑制压电元件的损坏。具备:沿着短边方向并列设置有与喷嘴开口连通的压力发生室的流路形成基板;和压电元件,其在该流路形成基板的一个面侧与压力发生室对应设置,具有第1电极、在第1电极上设置的压电体层及在压电体层上设置的第2电极,第1电极对应于压力发生室独立设置,并且第2电极遍及压力发生室的并列设置方向连续设置,与压力发生室的并列设置方向交叉的方向上,在压电体层的实质上驱动的活性部和实质上不驱动的非活性部的边界的至少一方边界的活性部侧,在第1电极与第2电极之间设置有介电常数比活性部的中央部低的低电介质层。
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公开(公告)号:CN102133814B
公开(公告)日:2014-07-02
申请号:CN201110005276.5
申请日:2011-01-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/318 , H01L41/332
Abstract: 本发明提供液体喷头以及液体喷射装置,能够抑制抑制在压电体层产生的裂纹。该液体喷头具备与喷嘴开口(21)连通的压力发生室(12)和使上述压力发生室(12)发生压力变化的压电元件(300),其中压电元件(300)具备:第1电极(60)、形成在上述第1电极(60)上含有铅、锆、钛的压电体层(70)、和形成在上述压电体层(70)的与上述第1电极(60)相反一侧的第2电极(80),存在于上述压电体层(70)的上述第2电极(80)侧表面的晶粒(501)间的槽部(502),满足0≤d/ρ≤0.900(d:槽部的深度,w:槽部的宽度,ρ:曲率半径(d2+w2/4)/2d)。
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公开(公告)号:CN102310638A
公开(公告)日:2012-01-11
申请号:CN201110191279.2
申请日:2011-07-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1626 , B41J2/1631 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2202/18
Abstract: 本发明提供耐久性提高了的液滴排出头及液滴排出装置。该液滴排出头具备:压力室基板(10),其设置有多个分别连通于喷嘴孔(21)的压力室(11);压电元件(100),其包含在压力室基板的上方依次设置的第一导电层(40)、压电体层(50)及第二导电层(60);俯视具有重叠区域(143),其是压力室、第一导电层、压电体层及第二导电层相重叠的区域;第二导电层俯视与多个压力室重叠而连续地设置;第一导电层在重叠区域以第一方向(210)为较长方向、以与第一方向正交的第二方向(220)为较短方向,按每一重叠区域而设置,且在重叠区域的至少一个第一方向的端侧,具有端部区域(141);端部区域,越朝向第一方向的端缘,其第二方向的宽度越变窄。
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