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公开(公告)号：CN113365196B
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202110758271.3
申请日：2021-07-05
申请人： 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 , 瑞声声学科技(深圳)有限公司
摘要： 本发明提供了一种MEMS扬声器，包括围成空腔的基底侧壁，基底侧壁包括相对设置的第一表面和第二表面，设置于所述基底侧壁的第一表面并且密闭所述空腔在所述第一表面的开口的发声组件以及设置于所述空腔内的支架，发声组件包括第一发声组件和第二发声组件，每个发声组件包括驱动部和柔性振膜，驱动部的固定端固定于支架，柔性振膜密闭相邻的驱动部的自由端之间形成的以及驱动部的自由端与基底侧壁之间形成的缝隙。本发明还提供了一种MEMS扬声器的制造方法。本发明提供的MEMS扬声器具有优质的声学性能。
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公开(公告)号：CN114719835A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202210159812.5
申请日：2022-02-22
申请人： 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 , 瑞声声学科技(深圳)有限公司
IPC分类号： G01C19/5733 , B81B3/00
摘要： 本发明提供了微机械陀螺仪及电子产品，微机械陀螺仪包括第一运动件、第二运动件、多个驱动件和检测件，第一运动件具有第一中心，且第一运动件沿第二方向的两端能够绕第一中心沿第一方向和第三方向摆动，第二运动件具有第二中心，且第二运动件沿第一方向的两端能够绕第二中心沿第二方向和第三方向摆动，多个驱动件能够驱动第一运动件沿第一方向的摆动和第二运动件沿第二方向的摆动，检测件沿第三方向位于第一运动件和第二运动件上方或下方，检测件用于检测第一运动件和第二运动件沿第三方向的移动的距离。该微机械陀螺仪通过第一运动件和第二运动件可以同时测量两个方向的角速度并进行差分检测排除误差，从而拓宽了微机械陀螺仪的应用场景。
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公开(公告)号：CN113727239A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202111145144.2
申请日：2021-09-28
申请人： 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 , 瑞声声学科技(深圳)有限公司
摘要： 本发明提供一种扬声器，其包括具有收容腔的底座以及收容于收容腔内的振动发声组件，振动发声组件包括固定于底座的第一振膜和第二振膜、以及固定于第一振膜以驱动第一振膜和所述第二振膜振动发声的驱动器；其中，第二振膜叠设在第一振膜上，并且，第二振膜与第一振膜的刚度不同。本发明的扬声器架构实现了将驱动结构和位移结构的深度解耦，驱动器只负责产生面内应力，自身不发生面外翘曲，使扬声器的振动极大程度的摆脱驱动器自身性能的影响，很容易获得全频段高水平的声压输出。另外，本发明的扬声器中第一振膜和第二振膜可以任意选择刚度搭配材料，在同样的驱动力下可以优化出最大翘曲位移方案，使扬声器性能收益最大化。
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公开(公告)号：CN113639736A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202110907582.1
申请日：2021-08-09
申请人： 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 , 瑞声声学科技(深圳)有限公司
IPC分类号： G01C19/5656
摘要： 本发明提供了一种微机械陀螺仪，包括基底、固定于基底的至少两个检测结构、以及连接相邻检测结构的耦合梁，每一检测结构包括固定于基底的锚点、悬置于基底上并与锚点连接的圆环形振动结构、多个面内换能器以及多个面外换能器，面内换能器绕圆环形振动结构的中心分布在圆环形振动结构的外侧，面外换能器绕圆环形振动结构的中心分布于圆环形振动结构下方或上方，该检测结构工作在结构面内的3θ体振动驱动模态以及工作在结构面外的第2阶弯曲体振动检测模态，两个体振动模态可相互互换。本发明的微机械陀螺仪可以提高检测灵敏度。
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公开(公告)号：CN113490120A
公开(公告)日：2021-10-08
申请号：CN202110765955.6
申请日：2021-07-07
申请人： 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 , 瑞声声学科技(深圳)有限公司
摘要： 本发明提供了一种MEMS扬声器，包括：衬底，衬底设有固定部和贯穿固定部的空腔；驱动器，驱动器覆盖空腔并固定于固定部，驱动器具有交替叠设的电极层和压电层，驱动器包括自衬底延伸的主体部以及与主体部连接的自由端，自由端相对于主体部具有更大的运动自由度，驱动器的表面设置有柔性膜，柔性膜沿驱动器的振动方向封闭空腔驱动器的表面设置有柔性膜，柔性膜连接多个自由端并沿驱动器的振动方向封闭空腔。该MEMS扬声器的自由端可以调整驱动器的整体刚度，从而提高了MEMS扬声器的最大声压输出。
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公开(公告)号：CN113324519A
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202110476481.3
申请日：2021-04-29
申请人： 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 , 瑞声声学科技(深圳)有限公司
摘要： 本发明提供了一种基于体振动的翻转倾斜检测结构，包括固定基底；锚点结构，锚点结构叠设于固定基底并与固定基底连接；振动结构，振动结构呈环状，振动结构与锚点结构形成机械耦合，并与固定基底间隔；面内换能器，沿该检测结构的中心圆周分布在最外侧，每个面内换能器均与固定基底连接，且相邻两个面内换能器之间间隔设置；面外换能器，沿该检测结构的中心圆周分布于振动结构与固定基底之间，每个面外换能器均与固定基底连接，且与振动结构间隔设置，相邻两个面外换能器之间间隔设置；该检测结构工作在结构面内的3θ体振动驱动模态以及工作在结构面外的第2阶弯曲体振动检测模态，两个体振动模态可相互互换。本发明能够提高检测结构的灵敏度。
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公开(公告)号：CN215581695U
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202121452074.0
申请日：2021-06-28
申请人： 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 , 瑞声声学科技(深圳)有限公司
摘要： 本实用新型提供了一种MEMS声传感器MEMS声传感器，其包括具有腔体的基底以及固定在基底上的若干结构层，每一所述结构层包括固定于所述基底的固定端以及自所述固定端延伸至悬置于所述腔体上方的悬置端，所述悬置端与所述基底间隔和/或相邻所述悬置端间隔形成狭缝，所述MEMS声传感器还包括设于所述悬置端上的压电功能层以及完全覆盖所述狭缝的柔性连接件，所述柔性连接件的杨氏模量小于所述结构层的杨氏模量。与相关技术相比，本实用新型的MEMS声传感器声学性能好。
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公开(公告)号：CN215187375U
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN202120923668.9
申请日：2021-04-29
申请人： 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 , 瑞声声学科技(深圳)有限公司
IPC分类号： H04R19/02
摘要： 本实用新型提供了一种MEMS扬声器，MEMS扬声器包括衬底，衬底设有固定部和贯穿固定部的空腔；驱动器，驱动器覆盖空腔并固定于固定部，驱动器具有交替叠设的电极层和压电层，电极层至少包括依次间隔设置的第一电极层、第二电极层以及第三电极层；压电层至少包括夹设在第一电极层与第二电极层之间的第一压电层和夹设在第二电极层与第三电极层之间的第二压电层；压电层设有第一分割部。该MEMS扬声器的第一分割部可以调整驱动器的整体刚度，降低了驱动器在振动时产生的自限制效应，从而提高了MEMS扬声器的最大声压输出。
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公开(公告)号：CN217693709U
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN202221548281.0
申请日：2022-06-20
申请人： 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 , 瑞声声学科技(深圳)有限公司
摘要： 本实用新型提供一种MEMS扬声器，其包括围成空腔且两端开口的基底、由基底的一端向空腔延伸并至少部分悬置于空腔上方的悬臂梁、固定于悬臂梁远离空腔一侧的压电驱动器以及设置于压电驱动器远离空腔一侧的聚合物层；悬臂梁与包括固定于基底的第一段、由第一段向空腔延伸并悬置于空腔上方的第二段以及由第二段向远离第一段的方向延伸的第三段，压电驱动器仅固定于第三段，第三段远离第二段的一端悬空；聚合物层完全覆盖悬臂梁、压电驱动器以及空腔并贴合于悬臂梁和压电驱动器，聚合物层、悬臂梁以及压电驱动器共同形成用于振动发声的压电复合振动膜结构。与相关技术相比，采用本实用新型的MEMS扬声器的中高频段的声压级高。
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公开(公告)号：CN216159892U
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202121855691.5
申请日：2021-08-09
申请人： 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 , 瑞声声学科技(深圳)有限公司
IPC分类号： G01C19/56
摘要： 本实用新型提供了一种微机械陀螺仪，包括基底、锚点、6个振动结构、面内换能器、以及面外换能器，基底上具有中心点，6个振动结构绕中心点均匀分布，每一振动结构包含N个质量块，微机械陀螺仪还包括设置于相邻两个质量块之间的第一耦合梁，以使多个质量块运动关联。微机械陀螺仪工作在两个振动模态中，两个体振动模态包括工作在第一模态下的驱动模态，以及工作在第二模态下的检测模态，两个振动模态可相互互换。每一振动结构中各质量块的振动模态均相同，在第一模态下，相邻两个所述振动结构的运动方向沿径向相反；在第二模态下，振动结构沿垂直于基底的方向运动。本实用新型的微机械陀螺仪可以提高芯片面积的使用率，从而提高检测灵敏度。
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