-
公开(公告)号：CN102707580B
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：CN201210172953.7
申请日：2012-05-30
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种用于浸没式光刻机的气密封和气液分离回收装置。在浸没式光刻机中的投影物镜组和硅片之间装有气密封和气液分离回收装置；气密封和气液分离回收装置包括密封和注液回收装置、气液分离片组和液体回收片组，密封和注液回收装置由浸没单元前端盖和浸没单元后端盖组成。本发明用来完成浸没式光刻系统中缝隙流场的密封和注液回收功能，实现缝隙流场连续稳定的更新。缝隙流场边缘使用气密封结构防止液体泄漏，采用气液分离回收结构实现气体和液体的分离和分别回收，避免了气液两相流的产生，从而避免了气液两相流同时回收时引起的管路振动问题。无论硅片往哪个方向运动，气液分离回收结构都能够动态的调节装置内液面的高度。
-
公开(公告)号：CN102590134A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201210052344.8
申请日：2012-03-01
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/35
Abstract: 本发明公开了一种虫草菌粉亮氨酸含量快速检测方法，包括：取虫草菌粉，分别采集波长1213nm、1417nm、1475nm、1536nm、1697nm、1741nm、1782nm、1845nm、1922nm、2010nm、2059nm、2115nm和2205nm光波所对应的虫草菌粉的反射率；将各反射率转化为相应的吸光度；将各吸光度代入多元线性回归方程，计算得到虫草菌粉中亮氨酸的含量。本发明通过少数特征波长进行多元线性回归分析，实现了虫草菌粉中亮氨酸含量的快速、无损、准确检测，大大减少了操作步骤，缩短了检测时间，减少了环境污染，降低了检测成本。
-
公开(公告)号：CN101735461A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN201010040017.1
申请日：2010-01-18
Applicant: 浙江大学
IPC: C08G79/02
Abstract: 本发明公开了一种利用稀土催化剂制备磷酸酯聚合物的方法，包括：稀土催化剂存在下，在氩气气氛中将五元环磷酸酯单体进行开环均聚反应或将五元环磷酸酯单体与环酯单体或者环碳酸酯单体进行开环共聚反应，制得磷酸酯聚合物；所述稀土催化剂为稀土金属的卤化物LnX3、稀土金属的烷氧基配合物Ln(OR4)3或稀土金属的芳氧基配合物Ln(OAr)3；其中，稀土金属Ln选自镧系金属、钪或钇；X为卤素原子；R4选自C3～C8的烷基；Ar选自苯基或者C1～C4的烷基取代的苯基。该反应条件温和，效率高，催化剂残留易除去，所得的聚合产物分子量高，有优良的生物相容性和可降解性，并具备良好的物理机械性能，具有广阔的生物医用前景。
-
公开(公告)号：CN116699947A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310652690.8
申请日：2023-06-02
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种光刻设备检测系统及其检测方法，上密封件从浸没控制单元上方完全遮蔽其中心通孔，下密封件从浸没控制单元下方完全遮蔽其中心通孔，共同合围形成中心流室；下密封件中设下采样流道，下采样流道两端分别与中心通孔和洁净度检测器相连。对组装好的浸没控制单元及其附属流路进行浸液流路的洁净度检测，在检测过程中，封闭浸没控制单元中心通孔的上下两端，避免其内部容纳的浸液与环境气体接触，从而准确地检测浸液的洁净度，以评价浸没控制单元及其附属流路的洁净度质量。
-
公开(公告)号：CN104597720B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201510020186.1
申请日：2015-01-15
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种在浸没式光刻机中的投影物镜组和硅片，投影物镜组和硅片之间安装有气液隔离装置。气液隔离装置从下至上依次包括浸没单元表面块、浸没单元下端盖、浸没单元主体和浸没单元上端盖，用螺钉连成一体。本发明第一层为水平回收，通过水平回收结构回收大量液体，实现流场的快速更新，同时保证镜头区液面维持一定高度，液面不至于超过浸没单元，发生溢流，气体也不会因此随水平注液带入浸没流场，形成不完整填充。第二层为垂直回收，通过沿圆周均匀分布的垂直小孔群结构，对缝隙流场的气液边界进行了初步束缚；采用亲水、疏水结构相配合的工作的方式，利用液体在亲、疏水交界处的张力特性加强对气液边界的束缚，达到理想密封的效果。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104597720A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201510020186.1
申请日：2015-01-15
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种在浸没式光刻机中的投影物镜组和硅片，投影物镜组和硅片之间安装有气液隔离装置。气液隔离装置从下至上依次包括浸没单元表面块、浸没单元下端盖、浸没单元主体和浸没单元上端盖，用螺钉连成一体。本发明第一层为水平回收，通过水平回收结构回收大量液体，实现流场的快速更新，同时保证镜头区液面维持一定高度，液面不至于超过浸没单元，发生溢流，气体也不会因此随水平注液带入浸没流场，形成不完整填充。第二层为垂直回收，通过沿圆周均匀分布的垂直小孔群结构，对缝隙流场的气液边界进行了初步束缚；采用亲水、疏水结构相配合的工作的方式，利用液体在亲、疏水交界处的张力特性加强对气液边界的束缚，达到理想密封的效果。
-
公开(公告)号：CN103176368B
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201310070625.0
申请日：2013-03-06
Applicant: 浙江大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种用于浸没式光刻机的气密封和气液减振回收装置。在浸没式光刻机中的投影物镜组和硅片之间装有气密封和气液减振回收装置；气密封和气液分离回收装置包括密封和注液回收装置、多孔介质；密封和注液回收装置由浸没单元上端盖、浸没单元中间体、浸没单元下端盖和浸没单元下端盖配件组成。本发明用来完成浸没式光刻系统中缝隙流场的密封和注液回收功能，实现缝隙流场连续稳定的更新。缝隙流场边缘使用气密封结构防止液体泄漏，采用气液减振回收结构实现气体和液体的回收，在低速情况下,避免了气液两相流的产生，在高速情况下,减弱了气液两相流带来的振动。无论硅片往哪个方向运动，缓冲腔结构使缝隙流场具有自适应调节功能。
-
公开(公告)号：CN102707580A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201210172953.7
申请日：2012-05-30
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种用于浸没式光刻机的气密封和气液分离回收装置。在浸没式光刻机中的投影物镜组和硅片之间装有气密封和气液分离回收装置；气密封和气液分离回收装置包括密封和注液回收装置、气液分离片组和液体回收片组，密封和注液回收装置由浸没单元前端盖和浸没单元后端盖组成。本发明用来完成浸没式光刻系统中缝隙流场的密封和注液回收功能，实现缝隙流场连续稳定的更新。缝隙流场边缘使用气密封结构防止液体泄漏，采用气液分离回收结构实现气体和液体的分离和分别回收，避免了气液两相流的产生，从而避免了气液两相流同时回收时引起的管路振动问题。无论硅片往哪个方向运动，气液分离回收结构都能够动态的调节装置内液面的高度。
-
公开(公告)号：CN102608059A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210051992.1
申请日：2012-03-01
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种虫草菌粉精氨酸含量快速检测方法，包括：取虫草菌粉，分别采集波长1086nm、1401nm、1457nm、1561nm、1575nm、1597nm、1641nm、1701nm、1722nm、1748nm、1889nm、1948nm、1979nm、1997nm、2064nm、2077nm、2193nm和2199nm光波所对应的虫草菌粉的反射率；将各反射率转化为相应的吸光度；将各吸光度代入多元线性回归方程，计算得到虫草菌粉中精氨酸的含量。本发明通过少数特征波长进行多元线性回归分析，实现了虫草菌粉中精氨酸含量的快速、无损、准确检测，大大减少了操作步骤，缩短了检测时间，减少了环境污染，降低了检测成本。
-
公开(公告)号：CN102608058A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210051776.7
申请日：2012-03-01
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种虫草菌粉苏氨酸含量快速检测方法，包括：取虫草菌粉，分别采集波长1204nm、1215nm、1476nm、1537nm、1693nm、1717nm、1738nm、1922nm、1962nm、2058nm、2099nm和2205nm光波所对应的虫草菌粉的反射率；将各反射率转化为相应的吸光度；将各吸光度代入多元线性回归方程，计算得到虫草菌粉中苏氨酸的含量。本发明通过少数特征波长进行多元线性回归分析，实现了虫草菌粉中苏氨酸含量的快速、无损、准确检测，大大减少了操作步骤，缩短了检测时间，减少了环境污染，降低了检测成本。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
42
records
(took 0.027 seconds)
