一种MEMS气体传感器和CMOS芯片一体式封装结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN117368271A

    公开(公告)日:2024-01-09

    申请号:CN202311129383.8

    申请日:2023-09-04

    Abstract: 本发明公开了一种MEMS气体传感器和CMOS芯片一体式封装结构,MEMS气体传感器倒装在CMOS芯片上,在一体式封装结构内部设有隔热空腔,气体进入隔热空腔吸附在MEMS气体传感器的气体传感材料上,使得气体传感材料发生电阻变化从而实现对气体类型和浓度的检测;MEMS气体传感器的气体传感材料面向CMOS芯片,且背对隔热空腔的气体入口处。该一体式封装结构为晶圆级芯片尺度(WLCSP)封装,更加集成化、小型化和低成本化,并且降低了气体传感材料的灰尘累积,增加了气体检测的灵敏度。本发明还公开了该一体式封装结构的制备方法。

    一种应用电絮凝技术的异位气提式循环水净化养殖方法

    公开(公告)号:CN114835351B

    公开(公告)日:2023-08-11

    申请号:CN202210646641.9

    申请日:2022-06-08

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种应用电絮凝技术的异位气提式循环水净化养殖方法,包括养殖池、电絮凝装置、净水集污装置、气提装置和智能显示控制装置。电絮凝装置连接养殖池排水口,净水集污装置包括下部集污室、上部生物过滤室和设置在中间的微滤网,集污室侧壁与电絮凝装置相连,底部设置排污管及排污控制阀;气提装置包括与生物过滤室上部相连的U型气提管、设于气提管上部的气提出水管,以及连接空气泵后置于气提管底部的曝气头;智能显示控制装置分别与在线浊度检测仪、流量阀、电絮凝装置的电源及流水控制阀相连。本发明可使养殖水体中的细微悬浮颗粒物凝聚成体积较大的絮团,从而强化系统颗粒物集污去除效果,可实现低成本、低耗高效循环水体及净水集污效果。

    一种采用应力控制获得空腔结构的薄膜体声波器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN115498974A

    公开(公告)日:2022-12-20

    申请号:CN202211096224.8

    申请日:2022-09-06

    Abstract: 本发明公开了采用应力控制获得空腔结构的薄膜体声波器件的制备方法,包括在衬底上形成自然氧化层,在自然氧化层上设定有效区域,在有效区域内分别形成压电种子层和牺牲层,压电种子层上形成第一电极,牺牲层的高度不低于压电种子层和第一电极的高度和,去除有效区域以外的自然氧化层以暴露衬底;在暴露的衬底,牺牲层和第一电极的表面上沉积具有内应力的压电薄膜,在压电薄膜上沉积第二电极,金属pad层与第一电极和第二电极相连,通过牺牲层释放孔去除有效区域内的牺牲层和自然氧化层形成空腔。该方法能够有效解决传统工艺中牺牲层移除困难的问题,制备方法简单、高效,本发明还公开了一种空腔薄膜体声波器件。

    一种单晶FBAR压电薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN114362704A

    公开(公告)日:2022-04-15

    申请号:CN202111442142.X

    申请日:2021-11-30

    Abstract: 本发明公开了一种空腔薄膜体声波谐振器,包括第一衬底、键合层、不透明介质层、压电振荡堆和金属pad层;其中,第一衬底上形成键合层,键合层上形成不透明介质层,不透明介质层上形成压电振荡堆,不透明介质层与压电振荡堆之间具有空腔,金属pad层与压电振荡堆相连。该谐振器表面粗糙度较低,同时该薄膜各区域厚度能够被较为方便和准确的测量。本发明还公开了一种空腔薄膜体声波谐振器的制备方法,该制备方法节省制备工序,简单、高效。

    一种超声空化技术提升移动床生物膜去除氨氮效率的装置及方法

    公开(公告)号:CN113336317A

    公开(公告)日:2021-09-03

    申请号:CN202110748684.3

    申请日:2021-07-02

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种超声空化技术提升移动床生物膜去除氨氮效率的装置及方法,该方法将超声空化技术应用在移动床生物膜的硝化反应中,显著增大了生物膜的通透性,加速了生物膜内部与废水中溶解氧与氨氮的交换,显著提升了移动床生物膜去除氨氮的效率,此外超声空化效应产生的高温高压使水中游离的羟基自由基增多,进一步对硝化反应产生促进作用。本发明利用超声波的空化作用显著提升了移动床生物膜技术去除氨氮的效率,具有节约能源,使用方便,适用性强的特点。

    一种飞机机翼叠层材料装配制孔的方法

    公开(公告)号:CN103894796B

    公开(公告)日:2016-03-09

    申请号:CN201410114155.8

    申请日:2014-03-25

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种飞机机翼叠层材料装配制孔的方法,包括以下步骤:1)提取制孔信息,规划运动路径和加工参数;2)进行表面轮廓扫描测量,并根据扫描参数进行参数修正;3)进行描点;4)对于非疲劳区,制孔至终孔并完成锪窝,对于疲劳区,制孔至初孔尺寸,不作锪窝;5)对骨架上的初孔进行冷挤压;6)冷挤压后,将初孔扩至终孔并锪窝。本发明制孔时刀具在材料分界面0.2mm~0.3mm处进行加工参数切换,这样的设置能够在叠层结构上加工出高质量的孔;对非疲劳区不需要冷挤压的孔,一次加工到位,提高了加工效率,对疲劳区的孔先加工至初尺寸,然后进行冷挤压,这样既能提高孔的疲劳强度,又能克服因复位误差造成铰削余量不均问题。

    一种叠层材料螺旋铣孔专用刀具

    公开(公告)号:CN103894662B

    公开(公告)日:2016-02-10

    申请号:CN201410113824.X

    申请日:2014-03-25

    Applicant: 浙江大学

    Inventor: 刘刚 周兰 柯映林

    Abstract: 本发明公开了一种叠层材料螺旋铣孔专用刀具,包括依次连接的切削头、颈部和刀杆,切削头端部设有四个刀齿,颈部四个侧刃,其中一对刀齿为第一刀齿,另一对刀齿为第二刀齿,每个刀齿均包括依次连接的内切削刃、中切削刃以及外切削刃,所有内切削刃处在同一平面上,第一刀齿和第二刀齿构成分布式多点阵的布局结构。本发明通过两种刀齿,实现分布式多点阵的布局设计,这样的结构对叠层材料所存在的物性相异性较大界面完成高效稳定变速切削,同时降低侧刃切削比例,确保制孔质量,进而提高刀具整体寿命。

    一种复合材料螺旋铣锪窝专用刀具

    公开(公告)号:CN102941373A

    公开(公告)日:2013-02-27

    申请号:CN201210396891.8

    申请日:2012-10-18

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种复合材料螺旋铣锪窝专用刀具,刀具由一体成型的刀杆及切削部分组成,切削部分的最大外径与刀杆的直径相同,其中切削部分包括三个结构相同的刀齿,刀齿之间开有螺旋槽,并等间距分布;刀具前端切削刃形成刀具顶角为Φ=100~120°,切削刃都采用有刃带的双重后刀面形式,并在切削刃双重后刀面的刃带上具有一组锯齿状的切削齿;本发明可以有效延长刀具的使用寿命,增加切削部分的强度,增大散热面积,提高埋头窝的表面光洁度。

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