一种基于多次键合工艺的薄膜体声波谐振器的制备方法

    公开(公告)号:CN115001426B

    公开(公告)日:2024-05-17

    申请号:CN202210447543.2

    申请日:2022-04-26

    Abstract: 本发明公开了一种基于多次键合工艺的薄膜体声波谐振器的制备方法,包括采用第一次晶圆键合方法制备第一压电薄膜结构,去除第一衬底,并在压电薄膜层表面沉积第二电极,在第二电极表面沉积牺牲层得到第二压电薄膜结构;对第二压电薄膜结构采用第二次晶圆键合方法得到第三压电薄膜结构;减薄第二衬底,在减薄的第二衬底上开窗口至保护层表面得到第一窗口,通过第二窗口在第一电极上沉积金属pad层,通过第三窗口在第二电极上沉积金属pad层,将腐蚀液加入第四窗口腐蚀牺牲层形成空腔,得到最终薄膜体声波谐振器。该方法能够避免制备过程中压电薄膜的崩裂,提升产品良率以及性能。

    一种超声空化技术提升移动床生物膜去除氨氮效率的装置及方法

    公开(公告)号:CN113336317B

    公开(公告)日:2022-09-20

    申请号:CN202110748684.3

    申请日:2021-07-02

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种超声空化技术提升移动床生物膜去除氨氮效率的装置及方法,该方法将超声空化技术应用在移动床生物膜的硝化反应中,显著增大了生物膜的通透性,加速了生物膜内部与废水中溶解氧与氨氮的交换,显著提升了移动床生物膜去除氨氮的效率,此外超声空化效应产生的高温高压使水中游离的羟基自由基增多,进一步对硝化反应产生促进作用。本发明利用超声波的空化作用显著提升了移动床生物膜技术去除氨氮的效率,具有节约能源,使用方便,适用性强的特点。

    一种基于多次键合工艺的薄膜体声波谐振器的制备方法

    公开(公告)号:CN115001426A

    公开(公告)日:2022-09-02

    申请号:CN202210447543.2

    申请日:2022-04-26

    Abstract: 本发明公开了一种基于多次键合工艺的薄膜体声波谐振器的制备方法,包括采用第一次晶圆键合方法制备第一压电薄膜结构,去除第一衬底,并在压电薄膜层表面沉积第二电极,在第二电极表面沉积牺牲层得到第二压电薄膜结构;对第二压电薄膜结构采用第二次晶圆键合方法得到第三压电薄膜结构;减薄第二衬底,在减薄的第二衬底上开窗口至保护层表面得到第一窗口,通过第二窗口在第一电极上沉积金属pad层,通过第三窗口在第二电极上沉积金属pad层,将腐蚀液加入第四窗口腐蚀牺牲层形成空腔,得到最终薄膜体声波谐振器。该方法能够避免制备过程中压电薄膜的崩裂,提升产品良率以及性能。

    一种基于转动剪切形式微小气泡的充氧增氧装置

    公开(公告)号:CN114342868A

    公开(公告)日:2022-04-15

    申请号:CN202210064715.8

    申请日:2022-01-18

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明提供一种基于转动剪切形式微小气泡的充氧增氧装置,包括电动机、气体输送结构、绕轴旋转式充气头;所述绕轴旋转式充气头的表面设置有气孔;所述气体输送结构连接于绕轴旋转式充气头,用于将气体输送至绕轴旋转式充气头内部;所述电动机通过刚性结构连接于绕轴旋转式充气头,用于带动绕轴旋转式充气头旋转。采用了上述技术方案后,电动机带动不同的充气装置旋转形成剪切力,剪切力作用在产生的气泡上,气泡受力作用会被快速排出增氧装置,将微小气泡输送到养殖水体中。这种增氧方式提高了气液接触面积,使曝气更加均匀,提高曝气效果,从而保证氧气的利用率。

    一种低能耗高效原位气提式循环水净化养殖系统

    公开(公告)号:CN113519438A

    公开(公告)日:2021-10-22

    申请号:CN202110870533.5

    申请日:2021-07-30

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明公开了一种低能耗高效原位气提式循环水净化养殖系统,该系统包括养殖池、设于养殖池内的生物过滤器以及设于养殖池底部的集污排污装置;所述的生物过滤器内设有填料、曝气头和气提装置;所述曝气头位于生物过滤器底部,其另一端连接有空气泵;所述气提装置包括设于生物过滤器内的气提管以及设于气提管上部的气提出水管,且气提出水管的高度高于养殖池水面。本发明系统兼具气提曝气增氧并带动水体循环流动、环形涡流沉淀集污去除、生物过滤水体净化等综合功能。该系统结构紧凑、占地面积小、可以连续稳定运行,解决了低成本、低耗高效去除污染物净化水质并循环水体的问题,也解决了固体废弃物回收的问题,同时提高了养殖池的空间利用率。

    一种分路固体废弃物分离养殖池

    公开(公告)号:CN107182884B

    公开(公告)日:2018-04-17

    申请号:CN201710390338.6

    申请日:2017-05-27

    Applicant: 浙江大学

    Abstract: 本发明涉及一种分路固体废弃物分离养殖池。本发明的特点在于养殖池粪便分离器由上下两路进行排污,排污立管与横管连接,构成养殖池上部排污通道;底部排污室与横管连接,构成养殖池下部排污通道,分路排污管道可以在增大排污管吸力的同时,又可以避免漂浮于水面上层的粪便继续漂浮于排污立管内。同时,本发明可以根据实际养殖过程中水体的高度和表面的粪便分布情况,旋转调整立管套筒的位置,以使排污口的高度适中,达到最佳的粪便和泡沫的分离效果。本发明结构简单新颖,能高效地将养殖池内残饵粪便排出,有效地解决因残饵粪便沉积造成氨氮积累及有害病菌滋生,最终导致养殖水体水质恶化的问题。

    一种池塘循环水系统高效粪便分离装置

    公开(公告)号:CN106719275A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201611221370.3

    申请日:2016-12-26

    Applicant: 浙江大学

    CPC classification number: A01K63/04

    Abstract: 本发明涉及一种池塘循环水系统高效粪便分离装置,该装置通过锥形集污池、导流槽口的设计,有效提高了旋流效果,使固体废弃物最终将沉积于集污池内,另一方面,插管与排污管道构成了连通器,可以控制集污池的粪便能否流入排污池。本发明结构简单,能高效地将养殖槽内残饵粪便排出,有效地解决因残饵粪便沉积造成氨氮积累及有害病菌滋生,进而影响养殖对象正常生长,甚至致其死亡的问题。

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