公开(公告)号：CN114249292B

公开(公告)日：2025-03-14

申请号：CN202111436494.4

申请日：2021-11-29

Applicant: 江苏大学

Inventor： 刘军林 ,  吕全江 ,  侯海港 ,  刘桂武 ,  乔冠军

IPC: B81B7/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明属于红外光源领域，特别是涉及一种MEMS红外光源及其制造方法。所述MEMS红外光源在发热电极层和支撑材料背部(位于衬底空腔区域)引入对红外辐射具有高反射率的反射层，从而将发热电极层经由支撑薄膜向衬底空腔部分辐射的红外辐射能量反射回去，并通过发热电极层向上方辐射，加强能够被红外传感器利用的红外辐射能量，大幅提升MEMS红外光源的光电转换效率并降低加热功耗；同时引入超薄(厚度不大于1微米)红外发射层，在保证MEMS红外光源具有高的红外发射能力的同时，大幅降低发热电极层热质量，提升MEMS红外光源的调制频率并进一步降低加热功耗。

公开(公告)号：CN114249292A

公开(公告)日：2022-03-29

申请号：CN202111436494.4

申请日：2021-11-29

Applicant: 江苏大学

Inventor： 刘军林 ,  吕全江 ,  侯海港 ,  刘桂武 ,  乔冠军

IPC: B81B7/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明属于红外光源领域，特别是涉及一种MEMS红外光源及其制造方法。所述MEMS红外光源在发热电极层和支撑材料背部(位于衬底空腔区域)引入对红外辐射具有高反射率的反射层，从而将发热电极层经由支撑薄膜向衬底空腔部分辐射的红外辐射能量反射回去，并通过发热电极层向上方辐射，加强能够被红外传感器利用的红外辐射能量，大幅提升MEMS红外光源的光电转换效率并降低加热功耗；同时引入超薄(厚度不大于1微米)红外发射层，在保证MEMS红外光源具有高的红外发射能力的同时，大幅降低发热电极层热质量，提升MEMS红外光源的调制频率并进一步降低加热功耗。

公开(公告)号：CN106990466B

公开(公告)日：2020-01-24

申请号：CN201710272067.4

申请日：2017-04-24

Applicant: 江苏大学

Inventor： 乔冠军 ,  李媛媛 ,  侯海港 ,  刘桂武 ,  王明松 ,  邵海成

IPC: G02B5/28

Abstract: 本发明涉及一种红外滤光片生产技术，具体涉及一种CO2气体检测用2.78μm窄带滤光片及其制备方法。基底材料选用单晶Si；高折射率材料选用Ge，折射率n＝4.16422；低折射率材料选用SiO。在基板两个表面上分别沉积主膜系和干涉截止膜系，所述窄带滤光片峰值透过率可达90％以上，极大的提高信噪比，很好的抑制其他气体的干扰，提高仪器探测精度和效能。同时，与传统的CO2气体检测用4260nm窄带滤光片相比，2780nm窄带滤光片中心波长较小，膜层仅有46层，且膜层总厚度仅有19.6μm，能够有效的降低CO2气体检测用滤光片的制备成本。

公开(公告)号：CN106054300B

公开(公告)日：2018-06-26

申请号：CN201610592825.6

申请日：2016-07-25

Applicant: 江苏大学

Inventor： 乔冠军 ,  侯海港 ,  邵海成 ,  刘桂武 ,  王明松

IPC: G02B5/28 ,  G01N21/35

Abstract: 本发明涉及红外滤光片，具体涉及一种CO2气体检测用双通道红外滤光片及其制备方法。基底材料选用单晶Si，折射率n＝3.42881；高折射率材料选用Ge，折射率n＝4.16422；低折射率材料选用SiO，折射率n＝1.81312；在基板两个表面上分别沉积不同中心波长的膜系。本发明提供的4260nm和2780nm双通道红外滤光片，两个峰值透过率均达90％以上，极大的提高信噪比，很好的抑制其他气体的干扰，提高仪器探测精度和效率。