公开(公告)号：CN107063127A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201611059428.9

申请日：2016-11-25

Applicant: 欧姆龙株式会社

Inventor： 森野久康 ,  高岛润 ,  的场贤一 ,  早川雅之 ,  藤原直树 ,  丸川真理子

IPC: G01B11/245 ,  G01J3/10 ,  G01J3/02 ,  G01J3/28

Abstract: 本发明提供一种光学测量装置，通过提高光的利用效率，能够实现更高采样率。光学测量装置具有：光源，其产生具有多个波长成分的照射光；光学系统，其对来自光源的照射光产生轴向色差，并且接收来自至少一部分配置在光轴的延长线上的测量对象物的反射光；分光器，其将在光学系统接收的反射光分离为各个波长成分的光；检测器，其中与分光器的分光方向对应地一维配置有多个受光元件。导光部和受光部构成为，在从光学系统向多个纤芯所包含的第一纤芯提供第一波长的第一光时，多个受光元件中入射该第一光的受光元件，与从光学系统向多个纤芯所包含的第二纤芯提供第一波长的第二光时，多个受光元件中入射该第二光的受光元件的至少一部分共用。

公开(公告)号：CN1841030B

公开(公告)日：2011-01-12

申请号：CN200610068280.5

申请日：2006-03-27

Applicant: 欧姆龙株式会社 ,  国立大学法人北海道大学

Inventor： 冈部浩史 ,  的场贤一 ,  冈和彦

IPC: G01J3/447

CPC classification number: G01J4/04 ,  G01J3/447

Abstract: 本发明提供一种分光偏振测定法。在该沟槽分光偏振测定法中，有效消除了表示试样分光偏振特性的参数的测量误差，该误差是由于延迟器基于试样状态的各种延迟变化而引起的。关注的焦点是通过稳定透射过延迟器的光的入射方向可保持延迟器的延迟恒定；相对于该试样，该延迟器设置在光源这一侧，从而可有效消除与测量误差相关的影响，例如由于试样引起的光线方向变化。