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公开(公告)号：CN101815662A
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200880109907.4
申请日：2008-09-11
Applicant: 株式会社IHI
IPC: B65G51/03 , B65G49/06 , B65G49/07 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67784 , B65G49/065 , B65G2249/02
Abstract: 本发明的用于利用流体使对象物悬浮地进行输送的悬浮输送装置，具备：分别具备上部体和腿部并沿第一方向以及第二方向排列的多个悬浮装置，该上部体具备上面并具备喷出上述流体在上述对象物和上述上面之间产生压力的喷出孔，该腿部为供给上述流体而与上述喷出孔连通且与上述上部体的下部连接并且为确保容许上述喷出来的流体逃散的通道而具有比上述上部体狭窄的外形；将上述流体向上述腿部供给的流体供给装置；以及用于输送对象物的输送装置。
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公开(公告)号：CN101643152A
公开(公告)日：2010-02-10
申请号：CN200910164107.9
申请日：2009-08-04
Applicant: 株式会社IHI
CPC classification number: H01L21/67784 , B65G49/065 , B65G2249/02
Abstract: 本发明提供一种浮起运送装置(1)，在充分确保浮起性能的同时运送大型化的基板(W)的情况下，能够高效地确保基板(W)的平坦度，能够避免基板(W)的端部和浮起单元(37)等之间的干涉。在浮起运送装置(1)中，将基板W向运送方向运送的运送单元(11)设置在支承框(3)上，并且多个浮起单元(37)沿着运送方向以及运送宽度方向设置在支承框(3)上。各浮起单元(37)具有：在上表面形成有喷出空气的喷嘴(41)的浮起单元主体(39)；设置在浮起单元主体(39)的下表面中央的、内部与浮起单元主体的内部连通的浮起单元脚(43)。在此，浮起单元脚的运送方向的最大外形尺寸比浮起单元主体的运送方向的最大外形尺寸小。
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公开(公告)号：CN108974943B
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN201810924904.1
申请日：2013-02-26
Applicant: 株式会社IHI
IPC: B65G49/06 , B65G51/03 , G02F1/13 , H01L21/677
Abstract: 通过防止基板前端的挠曲，从而防止基板与搬运装置碰撞。通过气体使对象物浮起并向第一方向搬运的搬运装置具备：浮起部，通过喷出上述气体对上述对象物加压而使上述对象物浮起；搬运部，具备沿上述第一方向延伸的无接头的带和能够从上述带突出而与上述对象物接触的多个突起，向上述第一方向驱动上述对象物；吸引部，对上述对象物施加负压而使上述对象物与上述搬运部接触；以及变形机构，包含于上述浮起部或上述搬运部，使上述对象物在其宽度方向中央挠曲。
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公开(公告)号：CN109922946A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201780068748.7
申请日：2017-10-20
Applicant: 株式会社IHI
Abstract: 本发明的预浸片材制造装置(1)具备：检测出预浸布原料布匹(P1)上先前的第一预浸布截片(P2)与后续的第一预浸布截片(P2)之间的间隙(S)的间隙检测装置(10)；隔着预浸布原料布匹(P1)，将先前的第一预浸布截片(P2)的后端缘(b)与后续的第一预浸布截片(P2)的前端缘(f)之间予以熔接的熔接装置(11)；以及在熔接装置(11)的下游侧，将先前的第一预浸布截片(P2)推压成平面状的推压装置(40)。
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公开(公告)号：CN106255578B
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201580022660.2
申请日：2015-09-17
Applicant: 株式会社IHI
Abstract: 本发明的切模装置(1)由切模本体(2)及盖体(3)所构成。切模本体(2)在基底板(4)的表面具备切刀(5)，在切刀(5)的外侧区域，以切刀(5)的从基底板(4)表面至刀尖(5a)的突出高度以上的高度尺寸来设置刀片外侧弹性构件(6)，而在切刀(5)的内侧区域，以比切刀(5)的从基底板(4)表面至刀尖(5a)的突出高度更小的高度尺寸来设置刀片内侧弹性构件(7)。在切模本体(2)的上侧装设薄片状工件(W)，且在其上侧配置盖体(3)，在此状态下，朝向上下方向按压，借由切刀(5)对薄片状工件(W)进行模切，以形成工件切断片(X)。在借由切刀(5)对该薄片状工件(W)进行模切时，借由薄片状工件(W)容易进入切刀(5)的内侧并与刀尖(5a)接触，以防止薄片状工件(W)的位置偏移。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106255578A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201580022660.2
申请日：2015-09-17
Applicant: 株式会社IHI
Abstract: 本发明的切模装置(1)由切模本体(2)及盖体(3)所构成。切模本体(2)在基底板(4)的表面具备切刀(5)，在切刀(5)的外侧区域，以切刀(5)的从基底板(4)表面至刀尖(5a)的突出高度以上的高度尺寸来设置刀片外侧弹性构件(6)，而在切刀(5)的内侧区域，以比切刀(5)的从基底板来设置刀片内侧弹性构件(7)。在切模本体(2)的上侧装设薄片状工件(W)，且在其上侧配置盖体(3)，在此状态下，朝向上下方向按压，借由切刀(5)对薄片状工件(W)进行模切，以形成工件切断片(X)。在借由切刀(5)对该薄片状工件(W)进行模切时，借由薄片状工件(W)容易进入切刀(5)的内侧并与刀尖(5a)接触，以防止薄片状工件(W)的位置偏移。(4)表面至刀尖(5a)的突出高度更小的高度尺寸
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公开(公告)号：CN105899342A
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201580003823.2
申请日：2015-04-01
Applicant: 株式会社IHI
IPC: B29B11/16 , B29C70/06 , B29C70/10 , B29K105/10
CPC classification number: C08J5/24 , B29C70/202 , B29C70/545 , B29C2793/0027 , B29C2793/0081
Abstract: 本发明提供一种将预浸裁切片材于预浸胚材(P1)上接合的预浸片材制造装置(1)。此装置具备：主搬送路径(3)；检测前后的预浸裁切片材(P2、P2)间的间隙的间隙检测部(10、19)；以及通过预浸胚材而将前后的预浸裁切片材间予以熔接的熔接部。间隙检测部具有:将先行进的预浸裁切片材的后端部予以按压的下游侧按压部；将后续的预浸裁切片材的前端部予以按压的上游侧按压部；以及，检测所述预浸裁切片材间的间隙的间隙检测感测器。上游侧按压部构成为：将后续的预浸裁切片材的前端部引导至上游侧按压部的下侧的同时，限制前端部的浮起。
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公开(公告)号：CN104245546A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201380020061.8
申请日：2013-02-26
Applicant: 株式会社IHI
IPC: B65G49/06 , H01L21/677
CPC classification number: B65G49/065 , B65G2249/045 , H01L21/67706 , H01L21/67784
Abstract: 一种搬运装置，其用于通过气体使对象物悬浮并将该对象物向第一方向搬运，上述搬运装置具备：悬浮部，其通过喷出上述气体对上述对象物加压而使上述对象物悬浮；搬运部，其具备皮带及多个辊中至少一方，该皮带为沿上述第一方向延伸的环形，具备能够与上述对象物接触的多个突起，该辊能够向上述第一方向旋转，沿上述第一方向排列，该搬运部构成为与上述对象物接触并向上述第一方向驱动；罩，其覆盖上述搬运部，并仅使上述多个突起或上述多个辊各自的上端突出；以及吸引部，其使上述罩内处于负压而使上述对象物与上述搬运部接触。
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公开(公告)号：CN103619528A
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201280031417.3
申请日：2012-06-25
Applicant: 株式会社IHI
IPC: B23K26/38 , B23K26/14 , B23K26/402 , B23K26/70 , C03B33/033 , C03B33/09
CPC classification number: C03B33/091 , B23K26/127 , B23K26/146 , B23K26/147 , B23K26/1476 , B23K26/40 , B23K2103/50 , C03B33/03
Abstract: 切断如玻璃一样的脆性构件的装置具备：构成为使激光通过第一空间照射上述构件上的第一区域的激光振荡器；构成为向与上述第一区域不同的第二区域喷射冷却介质的冷却喷嘴；挡板，其配置为相对于上述构件具有空隙且设置成不包围上述第一空间的状态，以使来自上述第二区域的飞沫以及雾沫的流动从上述第一空间偏离的方式定向；以及构成为向上述空隙喷射气体的气体喷嘴。
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公开(公告)号：CN101850883B
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201010145538.3
申请日：2010-03-29
Applicant: 株式会社IHI
Abstract: 本发明提供一种行进车系统。行进车系统具备实施基板的保管或规定的处理的基板处理装置、使基板在收容在基板盒(1)中的状态下沿上下方向升降的升降部(10)、将基板盒(1)朝向基板处理装置水平移动的水平移动部(8a、8b)、将基板盒(1)沿着朝向基板处理装置设置的轨道输送的无人行进台车(AG)、和在轨道(L)的上方保持并保管基板盒(1)的基板盒保管部(BF1)。
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