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公开(公告)号：CN101850883A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN201010145538.3
申请日：2010-03-29
Applicant: 株式会社IHI
Abstract: 本发明提供一种行进车系统。行进车系统具备实施基板的保管或规定的处理的基板处理装置、使基板在收容在基板盒(1)中的状态下沿上下方向升降的升降部(10)、将基板盒(1)朝向基板处理装置水平移动的水平移动部(8a、8b)、将基板盒(1)沿着朝向基板处理装置设置的轨道输送的无人行进台车(AG)、和在轨道(L)的上方保持并保管基板盒(1)的基板盒保管部(BF1)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101643151A
公开(公告)日：2010-02-10
申请号：CN200910164106.4
申请日：2009-08-04
Applicant: 株式会社IHI
Abstract: 本发明提供一种浮起运送装置，通过流体使对象物浮起并进行运送，其具有：多个浮起装置，分别具有上表面、在所述上表面开口的用于喷出所述流体的喷出孔、对所述流体施压并通过流路向所述喷出孔供给的流体供给装置；与各所述流路连通的连通路；检测所述连通路内的压力的传感器；用于运送所述对象物的运送装置；根据所述传感器的输出来判定压力异常的控制装置。
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公开(公告)号：CN101850883B
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201010145538.3
申请日：2010-03-29
Applicant: 株式会社IHI
Abstract: 本发明提供一种行进车系统。行进车系统具备实施基板的保管或规定的处理的基板处理装置、使基板在收容在基板盒(1)中的状态下沿上下方向升降的升降部(10)、将基板盒(1)朝向基板处理装置水平移动的水平移动部(8a、8b)、将基板盒(1)沿着朝向基板处理装置设置的轨道输送的无人行进台车(AG)、和在轨道(L)的上方保持并保管基板盒(1)的基板盒保管部(BF1)。
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公开(公告)号：CN101643151B
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN200910164106.4
申请日：2009-08-04
Applicant: 株式会社IHI
Abstract: 本发明提供一种浮起运送装置，通过流体使对象物浮起并进行运送，其具有：多个浮起装置，分别具有上表面、在所述上表面开口的用于喷出所述流体的喷出孔、对所述流体施压并通过流路向所述喷出孔供给的流体供给装置；与各所述流路连通的连通路；检测所述连通路内的压力的传感器；用于运送所述对象物的运送装置；根据所述传感器的输出来判定压力异常的控制装置。
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