真空成膜方法及真空成膜装置

    公开(公告)号:CN103060763B

    公开(公告)日:2015-01-07

    申请号:CN201210402473.5

    申请日:2012-10-19

    Abstract: 本发明提供一种紧凑且使用方便、初期成本和运行成本均低廉的真空成膜装置及真空成膜方法。在成膜室(2)内设置工件支架(10)和磁控管电极(15)。在磁控管电极(15)设置第一靶材料(16),且与之重叠地设置第二靶材料(17)。第二靶材料(17、17)能够采用覆盖第一靶材料(16)的位置和敞开的位置这两个位置。向工件支架(10)与第一、二靶材料(16、17)之间能够选择地施加直流电压和高频电压。

    成膜方法
    22.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102994955A

    公开(公告)日:2013-03-27

    申请号:CN201210337176.7

    申请日:2012-09-12

    Inventor: 西田正三

    CPC classification number: C23C14/34 C23C14/50 H01J37/20 H01J2237/2007

    Abstract: 本发明提供一种不论成膜用工件的形状、构造如何一旦搬入成膜室就能够直接进入成膜动作的成膜方法。注塑成型成膜用工件(W)时,将辅助部件(1、2)和成膜用工件(W)成型为一体,其中辅助部件在将该成膜用工件搬入成膜室(11)内而安置在成膜台(12)上时将成膜用工件保持为其成膜面或成膜部(A’、B’、C’)和靶材料(14)相对的规定姿势,将其搬入成膜室进行成膜。

    在内表面上具有薄膜的中空成型品的形成方法与装置

    公开(公告)号:CN101879769B

    公开(公告)日:2012-10-03

    申请号:CN201010206728.1

    申请日:2006-09-28

    Inventor: 西田正三

    Abstract: 本发明的方法采用固定模和可滑动的活动模,所述固定模具有淀积凹槽,在淀积凹槽内部配备有诸如靶电极之类的淀积元件。执行一次成型,以形成在其开口周围具有接合部分的本体部分和盖部件。在用淀积凹槽紧密覆盖后,对留在垂直滑动模中的本体部分进行淀积。接下来,将留在模中的淀积过的本体部分和盖部件对齐并合模,注射熔融金属以使接合部分一体化。

    设有流动路径切换块的注射装置

    公开(公告)号:CN108698288A

    公开(公告)日:2018-10-23

    申请号:CN201780012591.6

    申请日:2017-02-01

    Abstract: 提供构造简单且成本低的包括流动路径切换机构的注射设备。注射设备(1)包括:用于熔融树脂的塑化装置(2);用于测量树脂的量并注射树脂的第一和第二柱塞注射装置(4,5);注射部分(8);和将塑化装置、第一和第二柱塞注射装置及注射部分连接在一起的流动路径切换块(7)。在流动路径切换块(7)中设置第一至第四连接流动路径(23a,23b,23c,23d)和流动路径切换阀(21)。塑化装置(2)、第一柱塞注射装置(4)、注射部分(8)和第二柱塞注射装置(5)分别连接到第一至第四连接流动路径(23a,23b,23c,23d)。当流动路径切换阀(21)切换到第一位置时,第一和第二连接流动路径(23a,23b)彼此连通,并且第三和第四连接流动路径(23c,23d)彼此连通,而当流动路径切换阀(21)切换到第二位置时,第一和第四连接流动路径(23a,23d)彼此连通,并且第二和第三连接流动路径(23b,23c)彼此连通。

    具有薄膜的成形品的制造方法及制造装置

    公开(公告)号:CN103057135B

    公开(公告)日:2016-01-20

    申请号:CN201210401157.6

    申请日:2012-10-19

    Inventor: 西田正三

    Abstract: 本发明提供一种使注射成形机和成膜装置以高运转率工作并廉价地制造高均质的具有薄膜的成形品的制造方法及制造装置。利用第一搬送装置(14)将由注射成形机(4)成形的成形品(1)搬送至临时载物台(12)。反复进行注射成形工序,在临时载物台(12)上集中相当于多次注射成形工序的成形品(1)。第二搬送装置(15)将集中于临时载物台(12)上的全部成形品(1)一起搬送至成膜装置(5)。在成膜装置(5)中对成形品(1)进行成膜,利用第三搬送装置(16)向外部搬送成形品(1)。在成膜工序的实施期间继续实施注射成形工序。

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