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公开(公告)号：CN119767752A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411344225.9
申请日：2024-09-25
Applicant: 株式会社日本显示器
Abstract: 本发明涉及半导体装置及其制造方法。提供抑制光劣化的半导体装置。半导体装置包含：栅电极；栅电极上的栅极绝缘层；栅极绝缘层上的具有多晶结构的氧化物半导体层；氧化物半导体层上的源电极及漏电极；和覆盖源电极及漏电极、且与氧化物半导体层相接的层间绝缘层，S值为1.5V/dec以上2.5V/dec以下。氧化物半导体层包含：与源电极及漏电极中的一者重叠的第1区域；和与层间绝缘层相接的第2区域，第1区域的膜厚与第2区域的膜厚之差可以为5nm以下。
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公开(公告)号：CN118891736A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202380027827.9
申请日：2023-03-14
Applicant: 株式会社日本显示器
IPC: H01L29/786 , G09F9/30 , H01L21/28 , H01L21/336 , H01L29/423 , H01L29/49 , H10K50/00
Abstract: 半导体装置(10)具有：设置在绝缘表面之上的氧化物半导体层(140)；设置在氧化物半导体层之上的栅极绝缘层(150)；和隔着栅极绝缘层而设置在氧化物半导体层之上的栅电极(160)，栅电极从栅极绝缘层侧起依次具有含钛层(162)及导电层(164)，栅极绝缘层包括与栅电极重叠的第一区域(152)和与栅电极不重叠的第二区域(154)，含钛层的厚度(T3)为第一区域中的厚度(T1)的50％以下。
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公开(公告)号：CN118872072A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202380021202.1
申请日：2023-03-13
Applicant: 株式会社日本显示器
IPC: H01L29/786 , G09F9/30 , H10K50/00
Abstract: 半导体装置，其包含：绝缘表面之上的氧化金属层；氧化金属层之上的氧化物半导体层；和氧化物半导体层之上的绝缘层，其中，绝缘层包含与氧化物半导体层重叠的第1区域，第1区域的第1铝浓度为1×1017atoms/cm3以上。第1区域可以为从位于氧化物半导体层的相反侧的绝缘层的表面起50nm以下的区域。
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公开(公告)号：CN117712178A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202311123409.8
申请日：2023-09-01
Applicant: 株式会社日本显示器
IPC: H01L29/786 , H01L29/06 , H01L29/24 , H01L27/12
Abstract: 本发明涉及半导体器件。本发明实现高迁移率且可靠性高的半导体器件。半导体器件具备：基板；以铝为主成分的金属氧化物层，其设置在所述基板之上；氧化物半导体层，其设置在所述金属氧化物层之上；栅电极，其与所述氧化物半导体层对置；和所述氧化物半导体层与栅电极之间的栅极绝缘层。所述金属氧化物层的厚度为1nm以上4nm以下。所述金属氧化物层的厚度也可以是1nm以上3nm以下。
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公开(公告)号：CN117596978A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202310951276.7
申请日：2023-07-31
Applicant: 株式会社日本显示器
IPC: H10K59/65 , H10K59/121 , H10K59/123 , H10K59/131
Abstract: 本发明提供将氧化物半导体作为配线材料使用的显示装置。该显示装置包括：显示面板，其包括具有多个像素的显示部；和配置在所述显示部的背面侧的传感器元件，所述显示部具有在俯视时与所述传感器元件重叠的第一区域和所述第一区域以外的第二区域，所述多个像素各自具有半导体器件，其包括由具有多晶构造的氧化物半导体构成的沟道部和导电部，所述第一区域中的所述多个像素各自通过由与所述导电部同一层构成的第一信号线连接，所述第二区域中的所述多个像素各自通过由与所述导电部连接的金属层构成的第二信号线连接。
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公开(公告)号：CN114467184A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202080065097.8
申请日：2020-09-16
Applicant: 株式会社日本显示器
IPC: H01L29/786
Abstract: 本发明的课题为在使用了氧化物半导体TFT的半导体装置中防止由金属电极夺取氧化物半导体膜的氧而导致的TFT的特性变动。为了解决该课题，本发明采取如下结构。半导体装置的特征在于，具有TFT，该TFT在栅极电极(104)之上形成有栅极绝缘膜(105)，在上述栅极绝缘膜(105)之上形成有氧化物半导体膜(106)，上述氧化物半导体膜(106)具有沟道区域(1061)、漏极区域(1063)、源极区域(1064)，俯视下，在上述栅极电极的上表面，在与上述氧化物半导体膜(106)的上述沟道区域(1061)相对的部分，形成有金属氮化膜(10)，上述栅极电极(104)的上表面的一部分不存在上述金属氮化膜(10)。
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公开(公告)号：CN119789525A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202411351120.6
申请日：2024-09-26
Applicant: 株式会社日本显示器
Abstract: 本发明涉及半导体装置。提供抑制光劣化的半导体装置。半导体装置包含：遮光层；具有第1界面且与遮光层相接的第1硅氮化物绝缘层；具有第2界面且与第1硅氮化物绝缘层相接的第1硅氧化物绝缘层；第1硅氧化物绝缘层上的氧化物半导体层；氧化物半导体层上的第2硅氧化物绝缘层；第2硅氧化物绝缘层上的栅电极；和栅电极上的第2硅氮化物绝缘层，在俯视观察下，氧化物半导体层的沟道区域的整体与遮光层重叠，第1硅氧化物绝缘层与第2硅氧化物绝缘层相接，第1硅氮化物绝缘层的膜厚t满足下述条件：波长450nm的光相对第2界面的法线方向以60度入射至第1硅氮化物绝缘层时，在第1界面被反射的光与在第2界面被反射的光相互减弱。
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公开(公告)号：CN119767770A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411242184.2
申请日：2024-09-05
Applicant: 株式会社日本显示器
IPC: H10D64/27 , H10K59/121
Abstract: 本发明涉及半导体装置及显示装置。课题在于抑制特性劣化并且改善包含氧化物半导体的半导体装置的可靠性。半导体装置包含：绝缘表面之上的具有多晶结构的氧化物半导体层；前述氧化物半导体层之上的第1栅极绝缘层；前述第1栅极绝缘层之上的中间层；前述中间层之上的第2栅极绝缘层；和前述第2栅极绝缘层之上的栅极布线，前述氧化物半导体层具有沟道区域及导电区域，前述第1栅极绝缘层与前述沟道区域及前述导电区域重叠，前述中间层及前述第2栅极绝缘层与前述沟道区域重叠并且与前述导电区域不重叠，前述导电区域的薄层电阻为1000Ω/sq.以下。
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公开(公告)号：CN119767750A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411240269.7
申请日：2024-09-05
Applicant: 株式会社日本显示器
Abstract: 本发明涉及半导体装置及显示装置。课题在于改善包含氧化物半导体的半导体装置的可靠性。半导体装置包含：第1绝缘层；前述第1绝缘层之上的具有多晶结构的氧化物半导体层；前述氧化物半导体层之上的栅极绝缘层；前述栅极绝缘层之上的缓冲层；前述缓冲层之上的栅极布线；和前述栅极布线之上的第2绝缘层，前述氧化物半导体层具有朝向第1方向排列的第1区域、第2区域及第3区域，前述第2区域的电阻率比前述第1区域的电阻率高、比前述第3区域的电阻率低，前述第3区域的薄层电阻为1000Ω/sq.以下。
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公开(公告)号：CN119767738A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411368509.1
申请日：2024-09-27
Applicant: 株式会社日本显示器
Abstract: 本发明涉及半导体装置。提供迁移率及可靠性高的半导体装置。半导体装置具有：氧化物半导体层；与前述氧化物半导体层对置的第1栅电极；前述氧化物半导体层与前述第1栅电极之间的第1栅极绝缘层；设置在俯视观察下与前述氧化物半导体层重叠的区域、并与前述氧化物半导体层电连接的电极；和前述氧化物半导体层与前述电极之间的金属氮化物层，前述氧化物半导体层是多晶的，前述氧化物半导体层在40℃的温度时的包含磷酸作为主成分的蚀刻液中的蚀刻速率小于3nm/min。
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