公开(公告)号：CN111332833B

公开(公告)日：2023-03-24

申请号：CN201911058998.X

申请日：2019-11-01

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 南孝 ,  木村吉希

IPC: B65H5/08 ,  B65H29/02 ,  B65H43/00 ,  H01L21/677

Abstract: 本发明提供一种运送系统以及运送控制方法，能够以简单的构成高精度地进行支承基板的手的位置的校准。运送系统(2)包括：手(30)，支承作为运送对象的工件(W)；臂(40)，使手(30)移动；扫描控制部(113)，通过臂(40)使手(30)沿与边(33a)和边(33b)交叉的扫描方向移动，以使被固定于手(30)的彼此不平行的边(33a)和边(33b)通过工件(W)的运送路径中的已知的基准位置(RP)；以及位置检测部(114)，基于当扫描控制部(113)使手(30)移动时边(33a)到达基准位置(RP)的定时以及边(33b)到达基准位置(RP)的定时来检测在与扫描方向交叉的方向上的手(30)的位置偏移。

公开(公告)号：CN102779771B

公开(公告)日：2016-06-08

申请号：CN201210062021.7

申请日：2012-03-09

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 木村吉希

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67265

Abstract: 本发明提供了一种机器人系统。该机器人系统包括：机器人手，其用于搬运沿着竖直方向以多个层次收纳在收纳单元中的基板；位置检测单元，其用于检测收纳在所述收纳单元内的所述基板的收纳位置；净空计算单元，其用于基于所述位置检测单元检测出的所述基板的收纳位置来计算相邻基板之间的净空；以及进入允许/禁止确定单元，其用于基于所述净空计算单元计算出的净空来确定允许还是禁止所述机器人手进入所述基板之间的空间。

公开(公告)号：CN103227133A

公开(公告)日：2013-07-31

申请号：CN201310020746.4

申请日：2013-01-21

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 进大介 ,  木村吉希

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/677 ,  B25J9/02 ,  B25J9/042 ,  G05B2219/39082 ,  G05B2219/45032 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67772 ,  Y10S901/40 ,  Y10T29/53365 ,  Y10T29/5337 ,  Y10T29/53435

Abstract: 本发明提供一种传送系统。根据一个实施方式的传送系统包括传送室、机器人、轨迹生成器、确定单元以及输出单元。所述传送室具有以预定距离限定的专用区。所述机器人具有臂单元，该臂单元装备有传送薄板状工件的机器人手并且在水平方向上操作。所述机器人安装在所述传送室中，使得所述臂单元的最小旋回区与所述专用区的一部分重叠。所述传送系统生成所述机器人手的轨迹，然后基于所生成的轨迹确定所述臂单元的一部分是否包括在所述专用区中，并输出预定信号。

公开(公告)号：CN103227132A

公开(公告)日：2013-07-31

申请号：CN201210574403.8

申请日：2012-12-26

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 古市昌稔 ,  木村吉希 ,  松尾智弘 ,  草间义裕

IPC: H01L21/677

CPC classification number: B25J9/042 ,  B25J9/1664 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67766 ,  Y10S901/02 ,  Y10S901/15

Abstract: 本发明提供一种传送系统。根据一个实施方式的传送系统包括机器人和控制器。所述控制器包括切换单元。所述机器人包括臂单元和底座单元，所述臂单元由以可旋转的方式彼此连接的手和多个臂形成。后端侧的臂以可围绕旋转轴旋转的方式连接至所述底座单元，并且所述手以可旋转的方式连接至前端侧的臂。所述切换单元切换圆柱坐标控制和直角坐标控制，所述圆柱坐标控制用于控制所述臂单元，以使得所述手的轨迹与从所述旋转轴放射出的线中的任何一条线重叠，并且所述直角坐标控制用于控制所述臂单元，以使得所述手的轨迹在预定的时刻与这些线都不重叠。

公开(公告)号：CN103213133A

公开(公告)日：2013-07-24

申请号：CN201210495060.6

申请日：2012-11-28

Applicant: 株式会社安川电机

Inventor： 木村吉希

IPC: B25J13/08 ,  H01L21/677

CPC classification number: B25J13/02 ,  B25J9/1612 ,  Y10S414/136 ,  Y10S414/141 ,  Y10S901/02 ,  Y10S901/09 ,  Y10S901/14 ,  Y10S901/19 ,  Y10S901/31

Abstract: 本发明涉及一种机器人系统，该机器人系统包括：机器人，该机器人包括手和臂，所述手包括夹持薄板状工件的夹持机构，所述臂用于使所述手移动；以及机器人控制设备，该机器人控制设备控制所述机器人。当所述机器人控制设备通过控制所述机器人而使所述机器人在预定的工件搬运位置处搬运所述工件时，所述机器人控制设备在所述手到达所述工件搬运位置之后使所述手退回的同时，通过操作所述夹持机构来执行所述工件的存在与否确认。