调谐式光谱检测芯片及其应用
    21.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119714530A

    公开(公告)日:2025-03-28

    申请号:CN202411879672.4

    申请日:2024-12-18

    Applicant: 暨南大学

    Inventor: 陈沁 文龙 卢昱瑶

    Abstract: 本申请公开了一种调谐式光谱检测芯片及其应用。该芯片包括载体和间隔设置在其表面的多个光谱检测单元;载体可绕旋转轴旋转,以改变入射光的入射角度,入射光的偏振方向垂直于旋转轴;各光谱检测单元包括沿光传输方向依次设置的一维光栅结构和探测器,一维光栅结构所在平面与旋转轴平行,当入射角度在设定范围内时多个光谱检测单元采样的波长范围互不相同。本申请通过在单一芯片上级联多个光谱检测单元,可以在有限调谐效率下实现超大波长范围的集成光谱检测芯片,并且通过将其中的一个光谱检测单元设置为去啋单元,并将其共振波长与其他光谱检测单元的工作波长隔离,可以利用其进行更有效的去噪信号处理,实现高精度抗干扰的光谱检测。

    功能层图形化方法及其应用
    22.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119447028A

    公开(公告)日:2025-02-14

    申请号:CN202411564911.7

    申请日:2024-11-04

    Applicant: 暨南大学

    Inventor: 文龙 陈沁 龚云扬

    Abstract: 本发明公开了一种功能层图形化方法及其应用。所述方法包括:在基底表面形成图形化的光刻胶层,且光刻胶层设置有隔离槽,隔离槽不连续地包围目标图形并具有多个径向延伸的桥联结构,桥联结构连接处于隔离槽内外侧的光刻胶层;沉积形成功能层;对光刻胶层进行剥离处理,使光刻胶层以及附着于光刻胶层表面的部分功能层脱离基底,保留具有目标图形的另一部分功能层。本发明利用不连续的隔离槽对图形化区域进行周向包围,阻隔了在功能层沉积过程中产生的应力,还避免了完全包围开槽导致的槽内膜层漂移的现象,可以在图形化光刻胶上实现无裂纹、无起皱、无漂移现象的功能层沉积以及图形化。

    一种便携式光学气体传感器

    公开(公告)号:CN111060466B

    公开(公告)日:2023-01-13

    申请号:CN201911395821.9

    申请日:2019-12-30

    Inventor: 陈沁 文龙 梁丽

    Abstract: 本发明公开的一种便携式光学气体传感器,包括第一衬底和功能单元,所述功能单元至少包括第二衬底和依次制备在第二衬底上的热阻材料层、电绝缘介质层、光吸收层,以及设置在热阻材料层上的电极;所述光吸收层形成光栅,具有不同的吸收波长;所述电极与光吸收层隔离;本发明采用光吸收层和热阻材料结合的器件架构,使得在低成本和易与驱动电路集成的硅材料衬底上能通过光热电的效应实现具有波长选择性的红外探测,即获得大工作波长范围的单片集成的气体传感器检测能力,且能进行气体浓度检测和光谱检测,适用范围广。

    一种光学传感器
    25.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110346326B

    公开(公告)日:2022-11-11

    申请号:CN201910495464.7

    申请日:2019-06-10

    Applicant: 暨南大学

    Inventor: 文龙 陈沁

    Abstract: 本发明公开了一种光学传感器,包括:自下而上的衬底,导电反射层,绝缘介质层和纳米结构层;所述纳米结构层为金属性质材料,并被制备为光栅结构;所述导电反射层、纳米结构层和介质层一起形成类似平板电容结构,且支持电磁场局域的共振吸收模式;导电反射层和纳米结构层间具有电连接。本发明利用表面介质环境敏感的光学共振吸收结构在形成电容结构时能够产生感应电势的特性,直接以电信号输出的方式工作,传感的工作波长范围不再受限于传统半导体材料的能带限制,实现大工作波长范围。

    基于调谐机制的微型光谱仪及光谱检测方法

    公开(公告)号:CN115144073A

    公开(公告)日:2022-10-04

    申请号:CN202110340851.0

    申请日:2021-03-30

    Applicant: 暨南大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于调谐机制的微型光谱仪及光谱检测方法。所述微型光谱仪包括光栅结构,其至少用于反射、透射或吸收被测光中选定波长的光线,从而产生至少一个共振峰;可调折射率结构,由折射率可调材料构成,可供被测光透过而入射到光栅结构上,以及通过调节折射率使光栅结构产生的共振峰发生移动;检测结构,其至少用于吸收被光栅结构反射或透射的所述选定波长的光线并产生电信号,或者,至少用于接收光栅结构在吸收所述选定波长的光线后产生的热载流子并产生电信号。本发明采用折射率可调材料层覆盖金属光栅来调谐光谱响应,结合压缩感知算法可以实现仅依赖单个或少量光探测器解析出高精度的原始光谱。

    窄带透射滤波器及片上光谱分析与成像系统

    公开(公告)号:CN111141385B

    公开(公告)日:2022-05-24

    申请号:CN202010002528.8

    申请日:2020-01-02

    Applicant: 暨南大学

    Inventor: 陈沁 文龙 南向红

    Abstract: 本发明公开了一种窄带透射滤波器及片上光谱分析与成像系统,所述滤波器包括基底,基底表面先形成光栅结构,然后沉积金属/类金属膜,或基底表面先沉积金属/类金属膜,然后形成光栅结构,通过改变基底材料、金属/类金属材料和光栅结构来调节带通中心波长;所述系统包括滤波器阵列和探测器阵列,滤波器阵列由多个不同带通中心波长的滤波器单元构成,每个滤波器单元采用上述的窄带透射滤波器,滤波器阵列的滤波器单元和探测器阵列的探测器单元一一对应组合。本发明的滤波器具有大的工作波长带宽和窄的通带,并且不同中心波长的滤波器可以一次图形化加工获得,通过与探测器阵列形成片上光谱分析与成像系统,大幅提高系统性能,并降低了系统复杂性。

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