基于调谐机制的微型光谱仪及光谱检测方法

    公开(公告)号:CN115144073B

    公开(公告)日:2025-03-14

    申请号:CN202110340851.0

    申请日:2021-03-30

    Applicant: 暨南大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于调谐机制的微型光谱仪及光谱检测方法。所述微型光谱仪包括光栅结构,其至少用于反射、透射或吸收被测光中选定波长的光线,从而产生至少一个共振峰;可调折射率结构,由折射率可调材料构成,可供被测光透过而入射到光栅结构上,以及通过调节折射率使光栅结构产生的共振峰发生移动;检测结构,其至少用于吸收被光栅结构反射或透射的所述选定波长的光线并产生电信号,或者,至少用于接收光栅结构在吸收所述选定波长的光线后产生的热载流子并产生电信号。本发明采用折射率可调材料层覆盖金属光栅来调谐光谱响应,结合压缩感知算法可以实现仅依赖单个或少量光探测器解析出高精度的原始光谱。

    一种便携式光学气体传感器

    公开(公告)号:CN111060466A

    公开(公告)日:2020-04-24

    申请号:CN201911395821.9

    申请日:2019-12-30

    Applicant: 暨南大学

    Inventor: 陈沁 文龙 梁丽

    Abstract: 本发明公开的一种便携式光学气体传感器,包括第一衬底和功能单元,所述功能单元至少包括第二衬底和依次制备在第二衬底上的热阻材料层、电绝缘介质层、光吸收层,以及设置在热阻材料层上的电极;所述光吸收层形成光栅,具有不同的吸收波长;所述电极与光吸收层隔离;本发明采用光吸收层和热阻材料结合的器件架构,使得在低成本和易与驱动电路集成的硅材料衬底上能通过光热电的效应实现具有波长选择性的红外探测,即获得大工作波长范围的单片集成的气体传感器检测能力,且能进行气体浓度检测和光谱检测,适用范围广。

    一种便携式光学气体传感器

    公开(公告)号:CN111060466B

    公开(公告)日:2023-01-13

    申请号:CN201911395821.9

    申请日:2019-12-30

    Inventor: 陈沁 文龙 梁丽

    Abstract: 本发明公开的一种便携式光学气体传感器,包括第一衬底和功能单元,所述功能单元至少包括第二衬底和依次制备在第二衬底上的热阻材料层、电绝缘介质层、光吸收层,以及设置在热阻材料层上的电极;所述光吸收层形成光栅,具有不同的吸收波长;所述电极与光吸收层隔离;本发明采用光吸收层和热阻材料结合的器件架构,使得在低成本和易与驱动电路集成的硅材料衬底上能通过光热电的效应实现具有波长选择性的红外探测,即获得大工作波长范围的单片集成的气体传感器检测能力,且能进行气体浓度检测和光谱检测,适用范围广。

    基于调谐机制的微型光谱仪及光谱检测方法

    公开(公告)号:CN115144073A

    公开(公告)日:2022-10-04

    申请号:CN202110340851.0

    申请日:2021-03-30

    Applicant: 暨南大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于调谐机制的微型光谱仪及光谱检测方法。所述微型光谱仪包括光栅结构,其至少用于反射、透射或吸收被测光中选定波长的光线,从而产生至少一个共振峰;可调折射率结构,由折射率可调材料构成,可供被测光透过而入射到光栅结构上,以及通过调节折射率使光栅结构产生的共振峰发生移动;检测结构,其至少用于吸收被光栅结构反射或透射的所述选定波长的光线并产生电信号,或者,至少用于接收光栅结构在吸收所述选定波长的光线后产生的热载流子并产生电信号。本发明采用折射率可调材料层覆盖金属光栅来调谐光谱响应,结合压缩感知算法可以实现仅依赖单个或少量光探测器解析出高精度的原始光谱。

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