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公开(公告)号：CN110446976B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN201880015154.4
申请日：2018-02-27
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 提供一种感光性树脂组合物，其用于双波长曝光，且赋予优异的曝光灵敏度、密合性和分辨率。一种感光性树脂组合物，其为用于以中心波长低于390nm的第1活性光、和中心波长390nm以上的第2活性光进行曝光而得到树脂固化物的感光性树脂组合物，前述感光性树脂组合物包含：(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属双键的化合物；和，(C)光聚合引发剂，前述感光性树脂组合物对前述第1活性光和前述第2活性光这两者具有感光性，前述(C)光聚合引发剂包含蒽和/或蒽衍生物。
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公开(公告)号：CN112352197A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN201980041589.0
申请日：2019-06-11
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 本发明提供一种用于在曝光后进行加热，然后进行显影而得到树脂固化物的感光性树脂组合物。上述感光性树脂组合物以其总固体成分质量作为基准，包含以下的成分：(A)10质量％～90质量％的碱溶性高分子、(B)5质量％～70质量％的具有烯属不饱和双键的化合物、以及(C)0.01质量％～20质量％的光聚合引发剂。上述碱溶性高分子(A)的无机性值(I值)为720以下；或者，上述碱溶性高分子(A)的溶解度参数(sp值)为21.45MPa1/2以下；或者，上述感光性树脂组合物包含以上述感光性树脂组合物中的总固体成分质量为基准计为3质量％以上的碱溶性高分子(A‑1)，所述碱溶性高分子(A‑1)包含52质量％以上的源自作为单体成分的苯乙烯和/或苯乙烯衍生物的结构单元。
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公开(公告)号：CN110446976A
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201880015154.4
申请日：2018-02-27
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 提供一种感光性树脂组合物，其用于双波长曝光，且赋予优异的曝光灵敏度、密合性和分辨率。一种感光性树脂组合物，其为用于以中心波长低于390nm的第1活性光、和中心波长390nm以上的第2活性光进行曝光而得到树脂固化物的感光性树脂组合物，前述感光性树脂组合物包含：(A)碱溶性高分子；(B)具有烯属双键的化合物；和，(C)光聚合引发剂，前述感光性树脂组合物对前述第1活性光和前述第2活性光这两者具有感光性，前述(C)光聚合引发剂包含蒽和/或蒽衍生物。
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公开(公告)号：CN106462068A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580025748.X
申请日：2015-05-21
Applicant: 旭化成株式会社
Abstract: 一种感光性树脂组合物，其特征在于，其含有：(A)碱溶性高分子：40～80质量％、(B)光聚合引发剂：0.1～20质量％、以及(C)具有烯属双键的化合物：5～50质量％，在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的厚度25μm的感光性树脂层，在将曝光时的焦点的位置从基板表面沿该基板的厚度方向向基板内侧移动200μm的条件下进行曝光和显影而得到的抗蚀图案的抗蚀层下摆宽度为0.01μm～3.5μm，而且，前述感光性树脂组合物用于直接成像曝光。
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公开(公告)号：CN105793778A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201480064426.1
申请日：2014-12-26
Applicant: 旭化成株式会社
Inventor： 松田隆之
Abstract: 一种感光性树脂组合物，其含有(A)碱可溶性高分子、(B)具有烯属不饱和双键的化合物和(C)光聚合引发剂，在将包含该感光性树脂组合物的感光性树脂层形成于基板表面上且进行曝光以及显影而得到的抵抗剂图案中，对该基板表面对准焦点位置进行该曝光时的图案分辨率a、与对从该基板表面在该基板的厚度方向上偏移300μm的位置对准焦点位置进行该曝光时的图案分辨率b之差不足15μm。
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