公开(公告)号：CN104210046B

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201410446835.X

申请日：2012-06-18

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 古池润 ,  山口布士人 ,  前田雅俊 ,  有久慎司

IPC: B29C33/38 ,  B29C33/40 ,  B29C33/42 ,  G03F7/00

CPC classification number: H01L33/58 ,  B29C33/3842 ,  B29C33/40 ,  B29C33/424 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  H01L21/469 ,  H01L33/005 ,  H01L33/20 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2933/0083 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明的目的在于为了在被处理体上形成高纵横比的微细图案，提供可容易地形成残留膜薄或无残留膜的微细图案的微细图案形成用积层体及微细图案形成用积层体的制造方法。本发明的微细图案形成用积层体(1)是用于在被处理体(200)上介由第1掩模层(103)形成微细图案(220)的微细图案形成用积层体(1)，其特征在于，具备在表面上具有凹凸结构(101a)的模具(101)和在凹凸结构(101a)上设置的第2掩模层(102)，第2掩模层(102)的距离(lcc)及凹凸结构(101a)的高度(h)满足下述式(1)，且距离(lcv)和高度(h)满足下述式(2)。式(1)0

公开(公告)号：CN106256015A

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：CN201580022071.4

申请日：2015-04-06

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 古池润 ,  梁昭渊 ,  前川知文

IPC: H01L21/027 ,  B32B3/28 ,  B32B33/00

CPC classification number: B32B3/28 ,  B32B33/00 ,  H01L21/027

Abstract: 本发明提供将缺陷少的凹凸结构转印赋予被处理体的功能转印体。功能转印体(14)具备表面具有凹凸结构(11)的载体(10)、设置于凹凸结构(11)上的至少1层以上的功能层(12)和设置于功能层(12)的与载体(10)相反的表面上的保护层(13)。功能层(12)包含树脂，并且，保护层(13)的与功能层(12)相接的表面的均方根高度(Rq)，与凹凸结构(11)的凸部(11b)顶部位置至功能层t)为1.41以下。(12)与保护层(13)的界面的距离(t)的比例(Rq/

公开(公告)号：CN103249562A

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：CN201180059183.9

申请日：2011-12-08

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 古池润 ,  伊藤隆一 ,  山口布士人

IPC: B32B27/30 ,  B29C59/02 ,  B32B3/00 ,  H01L21/027 ,  B29K33/04 ,  B29L9/00

CPC classification number: G02B1/14 ,  C23C18/1216 ,  C23C18/122 ,  C23C18/1233 ,  C23C18/1245 ,  G02B1/10 ,  G02B1/105 ,  H01L31/02366 ,  Y02E10/50 ,  Y10T428/24537

Abstract: 本发明可以提供大面积并且高生产率地形成耐环境性、耐气候性、长期稳定性优异的微细凹凸结构的微细结构积层体以及使用该微细结构积层体制作微细结构积层体的方法，同时提供可以高生产率并大面积化地制造微细结构体的方法。本发明的微细结构积层体，其特征在于，具有基材，与所述基材的一个主要表面上设置的表面上具有微细凹凸结构的树脂层，与所述树脂层的所述微细凹凸结构上设置的包含具有与所述树脂层的所述微细凹凸结构对应形状的微细凹凸结构的溶胶凝胶材料的无机层，所述树脂层的所述固化物层侧区域中氟浓度(Es)高于所述树脂层中的平均氟浓度(Eb)。

公开(公告)号：CN103154143A

公开(公告)日：2013-06-12

申请号：CN201280003308.0

申请日：2012-06-18

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 古池润

IPC: C08L83/04 ,  C08K5/057 ,  C08K5/5415 ,  C08K5/55

CPC classification number: C09D143/04 ,  C08G77/56 ,  C08G77/58 ,  C08L83/04 ,  C08L83/14 ,  C09D183/06 ,  C09D185/04 ,  G02B5/1809 ,  G02B2207/107 ,  G03F7/0002 ,  H01L31/02168 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/02363 ,  H01L31/02366 ,  Y02E10/50

Abstract: 本发明提供一种可经由良好的转印工序，制作由可调节折射率的无机物构成的微细凹凸结构的微细凹凸结构转印用无机组合物。本发明的组合物含有硅酮化合物和至少2种金属醇盐，金属醇盐是具有金属品种M1(其中，M1是从由Ti、Zr、Zn、Sn、B、In及Al构成的群组中选出的至少1种金属元素)的金属醇盐和具有金属品种Si的金属醇盐。此外，在组合物中，具有金属品种M1的金属醇盐的摩尔浓度CM1与具有金属品种Si的金属醇盐的摩尔浓度CSi之间的比满足下述式(1)：0.2≤CM1/CSi≤24 (1)。