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公开(公告)号：CN101043017A
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：CN200710089473.3
申请日：2007-03-23
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L21/683
CPC classification number: H01L21/6831
Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，其能够以良好地特性同时得到晶片的热均匀性和绝缘部件的绝缘性。静电吸盘(1)具有在保持晶片(W)的保持面附近埋设了电极(12)的陶瓷基材(11)。在该陶瓷基材(11)的背面侧设有与电极(12)连接的端子(13)；晶片(W)的温度调节部件(14)；该端子(13)以及温度调节部件(14)的绝缘部件(15)。该绝缘部件(15)在与陶瓷基材(11)相接的端部具有凸缘部(15a)，由高导热性陶瓷构成。
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