双面真空成膜方法及利用该方法获得的层积体

    公开(公告)号:CN102899630B

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201210268890.5

    申请日:2012-07-30

    CPC classification number: C23C14/562 Y10T428/31678

    Abstract: 本发明提供双面真空成膜方法及利用该方法获得的层积体,该成膜方法能够通过利用简单的装置结构适当地实施加热处理等,有效地制造在双面实施了真空成膜的层积体。卷成卷筒状的长基体的第一面作为被成膜面,沿从第一辊室朝向第二辊室的第一方向从第一辊室输出卷筒状的长基体,使沿第一方向输出的基体脱气,在第二成膜室在基体第一面将第二膜材料成膜,在第二辊室将使第二膜材料成膜的基体卷绕成卷筒状,沿从第二辊室朝第一辊室的第二方向从第二辊室输出,在第一成膜室在第二膜材料上将第一膜材料成膜,在第一辊室将在第二膜材料上层积第一膜材料的基体卷绕成卷筒状,将与第一辊室卷绕的基体的第一面相反侧的第二面作为被成膜面,重复上述全部处理。

    双面真空成膜方法及利用该方法获得的层积体

    公开(公告)号:CN102899628B

    公开(公告)日:2016-05-25

    申请号:CN201210266812.1

    申请日:2012-07-30

    CPC classification number: C23C14/562 Y10T428/31678

    Abstract: 提供双面真空成膜方法及利用该方法获得的层积体,通过利用简单的装置结构适当地实施加热处理等,有效地制造在双面实施了真空成膜的层积体。将卷成卷筒状的长基体沿从第一辊室朝向第二辊室的第一方向从第一辊室输出,对输出的基体脱气,在第一成膜室,在第一面将第一膜材料成膜,将第一膜材料成膜的基体沿从第二辊室朝向第一辊室的第二方向向第二成膜室引导,在第二成膜室,在沿第二方向引导过程中的基体的、与第一面相反一侧的第二面上将第二膜材料成膜,在设置于第一辊室与第二辊室之间的第三辊室,将在第一面使第一膜材料成膜且在第二面使第二膜材料成膜的基体卷绕成卷筒状,沿第一方向从第一辊室输出在第三辊室卷绕的基体,重复上述全部处理。

    导电性层叠薄膜的制造方法

    公开(公告)号:CN102751043B

    公开(公告)日:2014-12-10

    申请号:CN201210118791.9

    申请日:2012-04-20

    CPC classification number: G02F1/13338

    Abstract: 提供导电性层叠薄膜的制造方法,在透明薄膜基材上依次形成透明导电层和导电性金属层的导电性层叠薄膜的制造中抑制导电性金属层成膜时发生皱褶。其包括边输送以聚酯系树脂为构成材料的长条透明薄膜基材上形成有透明导电层的长条透明导电性薄膜边在透明导电性薄膜的形成透明导电层面侧连续地将导电性金属层成膜的金属层成膜工序。该工序在1Pa以下的减压环境下进行。通过施加输送张力连续输送长条透明导电性薄膜,在未形成透明导电层面侧与成膜辊表面接触的状态下在形成透明导电层面侧连续堆积该导电性金属层。该成膜辊的表面温度优选110~200℃。成膜部位的与薄膜基材长度方向垂直的面的单位面积输送张力优选0.6~1.8N/mm2。

    导电性层叠薄膜的制造方法

    公开(公告)号:CN102751043A

    公开(公告)日:2012-10-24

    申请号:CN201210118791.9

    申请日:2012-04-20

    CPC classification number: G02F1/13338

    Abstract: 提供导电性层叠薄膜的制造方法,在透明薄膜基材上依次形成透明导电层和导电性金属层的导电性层叠薄膜的制造中抑制导电性金属层成膜时发生皱褶。其包括边输送以聚酯系树脂为构成材料的长条透明薄膜基材上形成有透明导电层的长条透明导电性薄膜边在透明导电性薄膜的形成透明导电层面侧连续地将导电性金属层成膜的金属层成膜工序。该工序在1Pa以下的减压环境下进行。通过施加输送张力连续输送长条透明导电性薄膜,在未形成透明导电层面侧与成膜辊表面接触的状态下在形成透明导电层面侧连续堆积该导电性金属层。该成膜辊的表面温度优选110~200℃。成膜部位的与薄膜基材长度方向垂直的面的单位面积输送张力优选0.6~1.8N/mm2。

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