用于基板处理腔室的基板支撑件

    公开(公告)号:CN308962345S

    公开(公告)日:2024-11-22

    申请号:CN202330664597.X

    申请日:2022-07-11

    Abstract: 1.本外观设计产品的名称:用于基板处理腔室的基板支撑件。
    2.本外观设计产品的用途:本外观设计产品用作用于基板处理腔室的支撑件,例如在微电子器件和薄膜制造中使用的用于基板处理腔室的支撑件。
    3.本外观设计产品的设计要点:在于形状。
    4.最能表明设计要点的图片或照片:立体图。
    5.其他需要说明的情形其他说明:视图中的虚线代表不要求保护的环境,并且不构成所要求保护的设计的部分。

    基板支撑件的上部
    24.
    外观设计

    公开(公告)号:CN308638578S

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN202230438294.1

    申请日:2022-07-11

    Abstract: 1.本外观设计产品的名称:基板支撑件的上部。
    2.本外观设计产品的用途:用于基板处理腔室的支撑件,例如在微电子器件和薄膜制造中使用的用于基板处理腔室的支撑件。
    3.本外观设计产品的设计要点:在于形状。
    4.最能表明设计要点的图片或照片:立体图。
    5.其他需要说明的情形其他说明:视图中的虚线代表不要求保护的环境,并且不构成所要求保护的设计的部分。

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