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公开(公告)号：CN1805276A
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：CN200610000593.7
申请日：2006-01-11
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/132 , H03H3/02 , H03H9/02133 , H03H9/173 , H03H2003/021
Abstract: 压电薄膜谐振器以及使用该压电薄膜谐振器的滤波器。压电薄膜谐振器包括形成在器件基板上的膜叠层，所述膜叠层包括下电极、设置在器件基板和下电极上的压电膜、以及设置在压电膜上的上电极。上电极和下电极具有从上电极隔着压电膜与下电极交叠处的隔膜延伸的电极引出部分，上电极和下电极的电极引出部分中的至少一个的宽度比该隔膜的宽度窄。
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公开(公告)号：CN1610254A
公开(公告)日：2005-04-27
申请号：CN200410087742.9
申请日：2004-10-20
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/174 , H03H9/02133 , H03H9/132 , H03H9/564 , H03H9/568
Abstract: 压电薄膜谐振器以及使用其的滤波器。压电薄膜谐振器包括：基板；设置在基板上的下电极；设置在下电极上的压电膜；以及设置在压电膜上的上电极。上电极隔着压电膜与下电极相交叠的区域具有椭圆形状，且满足1＜a/b＜1.9的条件，其中a为该椭圆形状的主轴，b为其副轴。
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公开(公告)号：CN1592100A
公开(公告)日：2005-03-09
申请号：CN200410057295.2
申请日：2004-08-27
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/174 , H03H3/02 , H03H9/02133 , H03H9/131 , H03H9/132 , H03H9/562 , H03H9/564 , H03H9/568 , H03H2003/023
Abstract: 膜体声学谐振器及其制造方法。一种膜体声学谐振器包括：形成在一基板的主表面上的一压电薄膜；以及一下电极和一上电极，其被布置得夹着所述压电薄膜。在该膜体声学谐振器中，所述压电薄膜由氮化铝制成，并且所述上电极和所述下电极中的至少一个包含一钌或钌合金层。
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公开(公告)号：CN101785183A
公开(公告)日：2010-07-21
申请号：CN200780100338.2
申请日：2007-11-21
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
CPC classification number: H03H9/132 , H03H9/174 , H03H9/588 , H03H9/605 , H03H2003/0428
Abstract: 本发明提供低损耗高性能的滤波器、使用该滤波器的双工器及使用该双工器的通信机。该滤波器具有：串联臂压电薄膜谐振器，其配置在串联臂上；以及并联臂压电薄膜谐振器，其配置在并联臂上，串联臂压电薄膜谐振器和并联臂压电薄膜谐振器分别具有基板(21)、形成于基板(21)上的下部电极(22)、形成于下部电极(22)上的压电膜(23)、和形成于压电膜(23)上的上部电极(24)。串联臂压电薄膜谐振器的谐振部(29)的长轴的长度(A)相对于短轴长度(B)的比(A/B)高于并联臂压电薄膜谐振器中的比。
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公开(公告)号：CN101741343A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200910168371.X
申请日：2009-08-31
Applicant: 富士通株式会社 , 富士通媒体部品株式会社
Abstract: 本发明涉及谐振器、滤波器、以及电子装置。该谐振器包括：基板；下电极；压电薄膜，设置在所述下电极上；以及上电极，设置在所述压电薄膜上。所述下电极包括设置在所述基板上的第一薄膜、以及设置在第一薄膜上并且比重大于第一薄膜的比重的第二薄膜。所述压电薄膜设置在第二薄膜上。所述上电极包括设置在所述压电薄膜上的第三薄膜、以及设置在第三薄膜上的第四薄膜，第三薄膜的比重大于第四薄膜的比重。第三薄膜比第二薄膜厚。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101689845A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200880023285.3
申请日：2008-03-05
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/174 , H03H9/02015 , H03H9/02118 , H03H9/02157 , H03H9/13 , H03H9/132 , H03H9/175 , H03H9/568 , H03H2003/0428
Abstract: 压电薄膜共振元件(1)具有共振部，该共振部具有椭圆的平面形状，由在下表面电极(3)和上表面电极(5)这两个电极之间夹入压电膜(4)的层叠构造而形成，其中，下表面电极(3)在外周上具有以25°到55°的范围内的规定角度(例如大约30°)倾斜的倾斜部(3a)，上表面电极(5)具有椭圆的平面形状。在上表面电极(5)的面对下表面电极(3)的倾斜部(3a)的位置的一部分上设置附加膜(8)，由此使得共振部的下表面电极(3)的倾斜部(3a)的层叠厚度中的一部分的层叠厚度H C 大于共振部的下表面电极(3)的倾斜部(3a)靠内侧部分的层叠厚度H A 。
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公开(公告)号：CN101674062A
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200910139800.0
申请日：2009-06-30
Applicant: 富士通株式会社
Abstract: 本发明公开了滤波器、双工器和通信装置。一种滤波器包括多个压电薄膜谐振器，压电薄膜谐振器是通过将压电膜夹在布置在基板上的下电极以及上电极之间而形成的。每个压电薄膜谐振器具有上电极和下电极彼此交叠而形成的电极区域，电极区域的轮廓包括曲线。在多个压电薄膜谐振器中，在相邻压电薄膜谐振器的相对电极区域中的压电薄膜谐振器被成形为具有彼此互补的轮廓。利用该滤波器，由压电薄膜谐振器的横向模式的不希望的波引起的影响可以被抑制。因此，可以在不牺牲具有空心结构的电极的机械强度的情况下实现小型化。
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公开(公告)号：CN100594675C
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200510105173.0
申请日：2005-09-28
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC: H03H9/54
CPC classification number: H03H9/564 , H03H7/18 , H03H7/46 , H03H9/0571 , H03H9/706
Abstract: 本发明提供了具有改进特性的紧凑双工器。双工器包括：第一和第二滤波器，包括按梯型形式布置的多个膜体声学谐振器；第一和第二集成无源器件，置于公共端子与第一和第二滤波器之间；以及基板，第一和第二滤波器以及第一和第二集成无源器件安装在其上。该基板包括用于实现连接在第一和第二滤波器与地之间的电感的导电图案。第一和第二集成无源器件包括连接到第一和第二滤波器的电感器。
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公开(公告)号：CN101645699A
公开(公告)日：2010-02-10
申请号：CN200910165386.0
申请日：2009-08-07
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/174 , H03H9/02118 , H03H9/13 , H03H9/132 , H03H9/568 , H03H2003/0435
Abstract: 本发明提供一种压电薄膜谐振器、使用压电薄膜谐振器的滤波器和复用器。压电薄膜谐振器包括：衬底、形成于衬底上的下电极、形成于下电极上的压电薄膜和形成于压电薄膜上的上电极，下电极和上电极隔着压电薄膜彼此相对从而形成相对区域，相对区域包括位于所述相对区域的边界处的空间。所述空间从所述相对区域的内侧延伸到外侧，并形成于压电薄膜中或形成于压电薄膜上。
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公开(公告)号：CN100542022C
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：CN200510063776.9
申请日：2005-03-31
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H3/04 , H03H9/02094 , H03H9/02149 , H03H9/174 , H03H9/564 , H03H9/568 , H03H2003/023 , H03H2003/0428
Abstract: 谐振器、滤波器以及谐振器的制造。该谐振器包括：设置在基板主表面上的压电薄膜；设置在压电薄膜的第一表面上的第一电极膜；设置在压电薄膜第二表面上的第二电极膜；设置在所述第一电极膜和所述第二电极膜其中之一上的频率调整膜；所述频率调整膜包括膜叠层，该膜叠层包括设置在第一电极膜和第二电极膜其中之一上的第一调整膜，以及设置在第一调整膜上的第二调整膜。第一调整膜用于Δf调整，第二调整膜用于校正滤波器制造工艺中生成的频率偏移。由此，可以准确地控制其中连接有多个谐振器的滤波器的中心频率。
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