一种离子注入机用高性能低温泵

    公开(公告)号:CN211623639U

    公开(公告)日:2020-10-02

    申请号:CN201922061965.2

    申请日:2019-11-24

    Abstract: 本实用新型公开了一种离子注入机用高性能低温泵,包括壳体、制冷机、辐射冷屏、障板,还包括被所述辐射冷屏和所述障板包围的吸附阵和转接板,所述吸附阵包括冷头帽、传热板和低温板,所述低温板表面设有吸附材料,所述冷头帽固定安装于所述传热板的上端且正对低温泵的吸气口,所述二级冷却台通过所述传热板的侧壁开口伸入所述传热板内腔并与所述转接板安装连接,所述转接板同时与所述冷头帽安装连接。上述结构的离子注入机用高性能低温泵有效地提高了整个低温泵的吸附速度和吸附容量,具有结构简易、安装方便的特点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    一种氦气压缩机系统
    22.
    实用新型

    公开(公告)号:CN217584943U

    公开(公告)日:2022-10-14

    申请号:CN202220504685.3

    申请日:2022-03-07

    Abstract: 本实用新型公开了一种氦气压缩机系统,包括压缩泵、换热器、滤油器、吸附器以及平衡罐,所述压缩泵的冷冻油出口和氦气出口分别与换热器的两个入口连通,换热器的气路出口与滤油器连通,换热器的油路出口通过常开电磁阀与压缩泵通过油路连通,滤油器与吸附器通过气路连通,吸附器与进气连接管通过气路连通,进气连接管、低温泵、回气连接管、平衡罐及压缩泵顺次通过气路连通,平衡罐与压缩泵之间的气路与滤油器通过油路连通,吸附器与滤油器之间的气路以及平衡罐与压缩泵之间的气路通过第一中间气路连通且第一中间气路上设置常闭电磁阀;本实用新型的优点在于:有效降低系统振幅,避免对整机寿命及可靠性造成不利影响。

    一种液氮辅助降温的大冷量制冷机

    公开(公告)号:CN215983417U

    公开(公告)日:2022-03-08

    申请号:CN202121778427.6

    申请日:2021-07-30

    Abstract: 本实用新型公开了一种液氮辅助降温的大冷量制冷机,包括压缩机、管道、配气腔、液氮储罐、预冷腔,所述压缩机通过管道与配气腔相连通,所述配气腔的内腔安装有阀组,所述阀组通过管道与液氮储罐相连通,所述阀组通过管道与预冷腔相连通,所述预冷腔的下端通过管道贯通连接有膨胀腔,在输入功率不变的前提下,通过引入液氮,对制冷工质先进行辅助降温,使得进入到膨胀腔的气体温度降低,可以提高制冷量效率,提升有效制冷量,并且通过一个配气阀门,同时控制氦气和液氮进入及排出,有效的提供了工作效率,同时能够有效降低液氮的消耗量,有效的提高了装置的实用性。

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