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公开(公告)号:CN111719141A
公开(公告)日:2020-09-29
申请号:CN202010554568.3
申请日:2020-06-17
Applicant: 季华实验室
IPC: C23C16/458
Abstract: 旋转承载盘结构及承载盘,涉及化学气相沉积技术领域,旋转承载盘结构,应用于化学气相沉积工艺,包括旋转轴、用于承载衬底的承载盘,旋转轴与承载盘中心连接,以驱动承载盘旋转,旋转轴包括轴体、隔热件,隔热件设在轴体与承载盘之间,以隔开轴体与承载盘,使轴体与承载盘不接触。承载盘,应用于化学气相沉积工艺,用于承载衬底,用于给所述承载盘加热的热源位于所述承载盘下方,所述承载盘的底面为非平面,以使承载盘底面不同区域与热源的距离不同。
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公开(公告)号:CN115124004B
公开(公告)日:2023-06-06
申请号:CN202210893433.9
申请日:2022-07-27
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明公开了一种高效制备超净高纯硫酸连续生产装置,包括依次连接的固体料投放装置、搅拌罐、结晶釜、阴离子交换柱、阳离子交换柱、过滤器、浓缩器、固体料转移装置、真空干燥器、加热分解器、降膜分离器、除雾器、高纯硫酸吸收塔、超滤装置、真空洁净包装系;通过采用上述生产设备,可以以工业级硫酸氢钠为原料,制备出符合SEMI‑C8或SEMI‑C12标准的硫酸,并且产量高,产品质量稳定,以此来克服发烟硫酸和液体三氧化硫原料在使用时存在安全隐患、不环保、进料数量不能精确控制等问题。
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公开(公告)号:CN111089988B
公开(公告)日:2023-01-31
申请号:CN201911379941.X
申请日:2019-12-27
Applicant: 季华实验室
IPC: G01Q60/56
Abstract: 本发明公开了一种高均匀性磁性探针及其制备方法,检测硅基探针针尖先端的曲率半径,筛选出曲率半径在规格要求以内的探针;将筛选合格的硅基探针悬臂水平放置,使针尖基体外侧面沿竖直向上,溅射沉积钝化层;将硅基探针悬臂竖直放置,使针尖基体外侧面沿水平方向,溅射沉积磁性感应层;将硅基探针悬臂与竖直方向成30º夹角进行放置,使针尖基体内侧面沿水平方向,溅射沉积磁性屏蔽层;通过采用本技术方案制得的磁性探针的成本低、工艺简单、可重复性好,具备高均匀性的磁感应信号强度,能充分保证定量分析结果的准确性,适用于工业生产用大批量连续的磁力显微镜检测。
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公开(公告)号:CN115124004A
公开(公告)日:2022-09-30
申请号:CN202210893433.9
申请日:2022-07-27
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明公开了一种高效制备超净高纯硫酸连续生产装置及生产方法,其中,所述生产装置包括依次连接的固体料投放装置、搅拌罐、结晶釜、阴离子交换柱、阳离子交换柱、过滤器、浓缩器、固体料转移装置、真空干燥器、加热分解器、降膜分离器、除雾器、高纯硫酸吸收塔、超滤装置、真空洁净包装系;通过采用上述生产设备,可以以工业级硫酸氢钠为原料,制备出符合SEMI‑C8或SEMI‑C12标准的硫酸,并且产量高,产品质量稳定,以此来克服发烟硫酸和液体三氧化硫原料在使用时存在安全隐患、不环保、进料数量不能精确控制等问题。
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公开(公告)号:CN114130045A
公开(公告)日:2022-03-04
申请号:CN202111526817.9
申请日:2021-12-13
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明公开一种超净高纯电子化学品的蒸发浓缩装置及其应用,其中的蒸发浓缩装置包括外壳体、内壳体、真空抽气设备以及加热组件;所述外壳体的内腔为一级真空腔体,所述内壳体的内腔为二级真空腔体,所述一级真空腔体和二级真空腔体分别与所述真空抽气设备连接;所述内壳体设置在所述一级真空腔体中,所述外壳体和内壳体的顶部处设有用于密封一级真空腔体和二级真空腔体的顶部开口的顶盖密封组件,所述顶盖密封组件可拆卸设置在所述外壳体和内壳体顶部,所述加热组件的发热端作用在所述内壳体上;所述二级真空腔体中设有用于固定装有样品的烧杯的固定架。本发明实现对超净高纯电子化学品的蒸发浓缩,且快速高效,维护成本低。
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公开(公告)号:CN111940252A
公开(公告)日:2020-11-17
申请号:CN202010751469.4
申请日:2020-07-30
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明公开了一种基于真空环境下回收粉末装置,包括可通过气体但粉末不能通过的粉末收集罐,所述粉末收集罐的气体入口与真空腔体连通,粉末收集罐的气体出口与抽真空装置连通:抽真空装置启动,使真空腔体内形成真空环境,对真空腔体内的芯片进行粉末喷涂,真空腔体内多余的粉末由于压力差被吸入到粉末收集罐内实现收集;本基于真空环境下回收粉末装置的结构简易,能在保持真空环境的同时对粉末尤其是荧光粉等纳米级粉末实现过滤回收;粉末收集罐内设置硫化过滤板,可以实现对纳米级粉末的有效过滤回收;本回收粉末装置无需其他外力,只需要真空泵抽真空时形成的压力差就可以把粉末带到粉末收集罐内,提高工作效率,节省能源。
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公开(公告)号:CN111793822A
公开(公告)日:2020-10-20
申请号:CN202010751492.3
申请日:2020-07-30
Applicant: 季华实验室
IPC: C30B25/12
Abstract: 本发明公开了一种行星式MOCVD旋转装置,通过驱动第一旋转齿轮带动外延片载板旋转,运用齿轮式机械运动代替气流摩擦驱动外延片载板,因第一旋转齿轮本身具有一定的重量,所以驱动气流需要达到一定量时才能驱动第一旋转齿轮实现转动,而设备反应室内气流场和热场的变化对驱动气流的气流量的影响相对于驱动第一旋转齿轮转动的气流量来说较少,可以忽略,从而解决气浮传动因气流不稳定进而影响外延片载板的旋转不稳定的问题,保证提高外延片载板的旋转稳定性;第一旋转齿轮的结构相对于复杂的气流导向槽结构简单易加工,极大地降低了设备的加工成本;通过稳定的行星托盘旋转和外延载板自旋转,外延片的温度均匀性能得到更好的保证。
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公开(公告)号:CN111221412A
公开(公告)日:2020-06-02
申请号:CN201911379933.5
申请日:2019-12-27
Applicant: 季华实验室
IPC: G06F3/01 , G06F3/0481 , G06K9/00
Abstract: 本发明提供了一种基于眼睛控制的光标定位方法及装置。其中方法包括步骤:A.采集用户看向屏幕四个角时,其中一个眼睛的图像,并识别其瞳孔位置;B.建立瞳孔位置与屏幕上位置的映射关系;C.采集所述眼睛的当前图像,并识别其瞳孔位置;D.根据所述映射关系计算用户视线落在屏幕上的位置;E.把计算结果发送至被控主机,以便被控主机控制屏幕在相应的位置显示光标。装置包括瞳孔位置采集模块、映射模块、计算模块和通信模块。该方法及装置可实现通过眼睛来控制光标的位置,方便手部无法正常工作的人控制计算机。
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