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公开(公告)号:CN119511512A
公开(公告)日:2025-02-25
申请号:CN202411724954.7
申请日:2024-11-28
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明涉及光学仪器技术领域,本发明公开了一种可见‑紫外双波长投影物镜及光学系统,包括从所述投影物镜的物面到像面沿其光轴方向依次设置的具有正光焦度的第一镜组、具有负光焦度的第二镜组、具有正光焦度的第三镜组和具有正光焦度的第四镜组;所述投影物镜还包括孔径光阑,所述孔径光阑位于所述第三镜组中相邻的两个透镜之间;通过四个镜组的排列及正负光焦度的合理搭配,实现了对色差的有效校正,光学系统成像质量优良,能够适配高功率大线宽的深紫外波段光源。
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公开(公告)号:CN118915312B
公开(公告)日:2025-02-07
申请号:CN202411412769.4
申请日:2024-10-11
Applicant: 季华实验室
IPC: G02B27/00
Abstract: 本发明公开了一种激光球差校正方法及装置,涉及光学技术领域。激光球差校正方法应用于光学组件,所述光学组件包括相对平行设置的第一衍射元件以及第二衍射元件;所述激光球差校正方法包括:获取所述第一衍射元件的第一转动角度以及所述第二衍射元件的第二转动角度;根据所述第一转动角度以及所述第二转动角度计算转动角度差值;根据所述转动角度差值计算所述光学组件的总透过率;根据所述总透过率计算球差补偿系数,以对激光的球差进行校正。本发明技术方案仅需两片衍射光学元件即可实现球差的调节,激光球差校正方法结构简单,易于集成。能够实现大范围的连续球差校正或高精度球差校正。降低设备成本,提高设备的兼容性。
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公开(公告)号:CN118989603B
公开(公告)日:2025-01-21
申请号:CN202411465690.8
申请日:2024-10-21
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明涉及激光修复技术领域,尤其涉及多工件台用激光修复方法、装置、设备及存储介质,所述方法包括:获取标定图像数据并进行坐标提取处理,基于所提取的特征坐标信息完成工位与摄像装置之间的坐标标定,得到检测判定位姿矩阵、修复位姿矩阵和复检位姿矩阵;当摄像装置的检测视野倍率小于预设的倍率阈值时,基于所获取的待检测图像数据以及检测判定位姿矩阵确定第一待修复位置,而后基于第一待修复位置和修复位姿矩阵确认第一待作业位置,以进行缺陷面板的激光修复,最后,基于所获取的第一复检图像数据、第一待修复位置以及复检位姿矩阵,对缺陷面板进行复检;本申请公开的方法,可实现缺陷面板的自动检测修复和复检,有效提高整体修复效率。
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公开(公告)号:CN119291899A
公开(公告)日:2025-01-10
申请号:CN202411724960.2
申请日:2024-11-28
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明涉及光学仪器技术领域,本发明公开了一种可见‑紫外双波长显微物镜及光学系统,包括从所述显微物镜的物面到像面沿其光轴方向依次设置的具有正光焦度的第一镜组和具有负光焦度的第二镜组;所述第二镜组包括具有负光焦度的前组、具有正光焦度的中组和具有正光焦度的后组;所述显微物镜还包括孔径光阑,所述孔径光阑位于所述中组内相邻的两个透镜之间;本发明的显微物镜通过正负光焦度的合理搭配,有效减少了宽光谱光源下的色差影响,保持了较高的数值孔径和大视场特性,能够适应宽光谱的紫外激光波长。
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公开(公告)号:CN118752063B
公开(公告)日:2024-11-26
申请号:CN202411229303.0
申请日:2024-09-03
Applicant: 季华实验室
IPC: B23K26/062 , B23K26/06 , B23K26/082 , G02B26/10
Abstract: 本申请涉及OLED激光修复技术领域,具体而言,涉及一种基于激光扫描的面板修复装置和系统,用于对OLED面板上的缺陷进行修复,包括依照激光光路依次设置的多波长激光光源、线激光整形镜头、多面体扫描器、扫描场镜和光斑投影组件。本申请的基于激光扫描的面板修复装置能解决现有用于大尺寸OLED面板修复的激光扫描方法无法兼具修复效率高、光斑尺寸可调范围大、光学系统简单、装配调试要求低、扫描精度高和扫描效率高的效果的问题,从而能达到修复效率高、光斑尺寸可调范围大、光学系统简单、装配调试要求低、扫描精度高和扫描效率高的效果。
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公开(公告)号:CN118989603A
公开(公告)日:2024-11-22
申请号:CN202411465690.8
申请日:2024-10-21
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明涉及激光修复技术领域,尤其涉及多工件台用激光修复方法、装置、设备及存储介质,所述方法包括:获取标定图像数据并进行坐标提取处理,基于所提取的特征坐标信息完成工位与摄像装置之间的坐标标定,得到检测判定位姿矩阵、修复位姿矩阵和复检位姿矩阵;当摄像装置的检测视野倍率小于预设的倍率阈值时,基于所获取的待检测图像数据以及检测判定位姿矩阵确定第一待修复位置,而后基于第一待修复位置和修复位姿矩阵确认第一待作业位置,以进行缺陷面板的激光修复,最后,基于所获取的第一复检图像数据、第一待修复位置以及复检位姿矩阵,对缺陷面板进行复检;本申请公开的方法,可实现缺陷面板的自动检测修复和复检,有效提高整体修复效率。
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公开(公告)号:CN118752063A
公开(公告)日:2024-10-11
申请号:CN202411229303.0
申请日:2024-09-03
Applicant: 季华实验室
IPC: B23K26/062 , B23K26/06 , B23K26/082 , G02B26/10
Abstract: 本申请涉及OLED激光修复技术领域,具体而言,涉及一种基于激光扫描的面板修复装置和系统,用于对OLED面板上的缺陷进行修复,包括依照激光光路依次设置的多波长激光光源、线激光整形镜头、多面体扫描器、扫描场镜和光斑投影组件。本申请的基于激光扫描的面板修复装置能解决现有用于大尺寸OLED面板修复的激光扫描方法无法兼具修复效率高、光斑尺寸可调范围大、光学系统简单、装配调试要求低、扫描精度高和扫描效率高的效果的问题,从而能达到修复效率高、光斑尺寸可调范围大、光学系统简单、装配调试要求低、扫描精度高和扫描效率高的效果。
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公开(公告)号:CN117131884A
公开(公告)日:2023-11-28
申请号:CN202311401007.X
申请日:2023-10-26
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请属于半导体物料传输领域,公开了一种OHT天车高精度自动定位系统、控制方法及相关设备,沿轨道延伸方向等间隔设置第一RFID标签,用以对OHT天车进行实时定位,由于RFID标签具有较大的读写距离,一方面第一RFID标签的铺设的密集程度较小,从而能够降低铺设成本,另一方面不易出现误读、漏读等问题,运行稳定性高;在停靠位置上游设置用于指示OHT天车进行减速的第二RFID标签,并在该第二RFID标签和停靠位置之间设置检知片来触发所述光电传感器以提示OHT天车向前行进预设距离后停止,协同第二RFID标签和光电传感器进行停车控制,能够实现OHT天车的超高精度定位,提高重复停止定位精度。
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公开(公告)号:CN116960040A
公开(公告)日:2023-10-27
申请号:CN202311194823.8
申请日:2023-09-15
Applicant: 季华实验室
IPC: H01L21/677
Abstract: 本申请属于控制空中运输车技术领域,公开了一种空中运输车控制方法、系统、电子设备及存储介质,该方法包括:获取空中运输车所接收的搬送任务的任务信息,根据任务信息中的目的地与空中运输车的距离,确定空中运输车的第一速度阈值,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车进入速度运行模式后进行加速,并在加速至第一速度阈值后以第一速度阈值匀速运行,当检测到预停止标签时,以S型速度曲线方程为依据,控制空中运输车执行预停止标签对应的停车操作,以使空中运输车停在目的地,通过空中运输车控制系统和S型速度曲线方程,对空中运输车进行控制,提高了空中运输车的运输效率。
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