金属板、金属板的制造方法、掩模、掩模装置以及掩模的制造方法

    公开(公告)号:CN118814165A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202410461801.1

    申请日:2024-04-17

    Abstract: 本发明提供金属板、金属板的制造方法、掩模、掩模装置以及掩模的制造方法。用于制造掩模的金属板的表面可以具有第1反射率、第2反射率、第3反射率以及第4反射率。第1反射率是具有第1出射角度的第1反射光的反射率。第3反射率是具有第3出射角度的第1反射光的反射率。第1出射角度是第1反射光显示出最大强度的出射角度。第3出射角度是相对于第1出射角度相差第1偏差角度的量的出射角度。第2反射率是具有第2出射角度的第2反射光的反射率。第4反射率是具有第4出射角度的第2反射光的反射率。第2出射角度是第2反射光显示出最大强度的出射角度。第4出射角度是相对于第2出射角度相差第2偏差角度的量的出射角度。第3反射率与第1反射率的比率即第1比率可以为0.40以下。第4反射率与第2反射率的比率即第2比率可以为0.40以下。

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