-
公开(公告)号：CN114774854B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202210459956.2
申请日：2016-02-05
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: C23C14/04 , C23C14/24 , C23F1/02 , C21D1/26 , C21D1/74 , C21D8/02 , C22C38/08 , H10K71/16 , H10K59/10
Abstract: 本发明提供金属板以及蒸镀掩模的制造方法，其能够在第1面上稳定地设置宽度窄的抗蚀剂图案。金属板的制造方法具备准备由包含镍的铁合金构成的板材的准备工序。利用X射线光电子分光法实施了由板材得到的金属板的第1面的组成分析，在将作为结果得到的镍氧化物的峰面积值与镍氢氧化物的峰面积值之和设为A1、将铁氧化物的峰面积值与铁氢氧化物的峰面积值之和设为A2的情况下，A1/A2为0.4以下。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106460150B
公开(公告)日：2020-01-10
申请号：CN201680001423.2
申请日：2016-02-05
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供一种金属板，其能够在第1面上稳定地设置宽度窄的抗蚀剂图案。金属板的制造方法具备准备由包含镍的铁合金构成的板材的准备工序。利用X射线光电子分光法实施了由板材得到的金属板的第1面的组成分析，在将作为结果得到的镍氧化物的峰面积值与镍氢氧化物的峰面积值之和设为A1、将铁氧化物的峰面积值与铁氢氧化物的峰面积值之和设为A2的情况下，A1/A2为0.4以下。
-
公开(公告)号：CN114774854A
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202210459956.2
申请日：2016-02-05
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供金属板以及蒸镀掩模的制造方法，其能够在第1面上稳定地设置宽度窄的抗蚀剂图案。金属板的制造方法具备准备由包含镍的铁合金构成的板材的准备工序。利用X射线光电子分光法实施了由板材得到的金属板的第1面的组成分析，在将作为结果得到的镍氧化物的峰面积值与镍氢氧化物的峰面积值之和设为A1、将铁氧化物的峰面积值与铁氢氧化物的峰面积值之和设为A2的情况下，A1/A2为0.4以下。
-
公开(公告)号：CN106460150A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201680001423.2
申请日：2016-02-05
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供一种金属板，其能够在第1面上稳定地设置宽度窄的抗蚀剂图案。金属板的制造方法具备准备由包含镍的铁合金构成的板材的准备工序。利用X射线光电子分光法实施了由板材得到的金属板的第1面的组成分析，在将作为结果得到的镍氧化物的峰面积值与镍氢氧化物的峰面积值之和设为A1、将铁氧化物的峰面积值与铁氢氧化物的峰面积值之和设为A2的情况下，A1/A2为0.4以下。
-
公开(公告)号：CN110965020B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN201911293513.5
申请日：2016-02-05
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: C23C14/04 , C23F1/02 , G01N23/2273 , H01L51/50 , H05B33/10
Abstract: 本发明提供金属板的筛选方法以及蒸镀掩模的制造方法，其能够在第1面上稳定地设置宽度窄的抗蚀剂图案。金属板的制造方法具备准备由包含镍的铁合金构成的板材的准备工序。利用X射线光电子分光法实施了由板材得到的金属板的第1面的组成分析，在将作为结果得到的镍氧化物的峰面积值与镍氢氧化物的峰面积值之和设为A1、将铁氧化物的峰面积值与铁氢氧化物的峰面积值之和设为A2的情况下，A1/A2为0.4以下。
-
公开(公告)号：CN110965020A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201911293513.5
申请日：2016-02-05
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: C23C14/04 , C23F1/02 , G01N23/2273 , H01L51/50 , H05B33/10
Abstract: 本发明提供金属板的筛选方法以及蒸镀掩模的制造方法，其能够在第1面上稳定地设置宽度窄的抗蚀剂图案。金属板的制造方法具备准备由包含镍的铁合金构成的板材的准备工序。利用X射线光电子分光法实施了由板材得到的金属板的第1面的组成分析，在将作为结果得到的镍氧化物的峰面积值与镍氢氧化物的峰面积值之和设为A1、将铁氧化物的峰面积值与铁氢氧化物的峰面积值之和设为A2的情况下，A1/A2为0.4以下。
-
-
-
-
-
Search Results
6
records
(took 0.03 seconds)
