一种基于硅基底的二维薄膜悬浮质量块的加速度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN118376807A

    公开(公告)日:2024-07-23

    申请号:CN202410443606.6

    申请日:2024-04-13

    Inventor: 范绪阁 丁洁 高强

    Abstract: 本发明公开了一种基于硅基底的二维材料薄膜悬浮苯并环丁烯(BCB)质量块的加速度传感器,其传感机理基于二维材料的压阻效应与谐振效应。二维材料薄膜悬浮BCB质量块的压阻式加速度传感器结构包括二维材料薄膜(作为加速度敏感薄膜)、BCB质量块、沉积的金属电极层、SiO2绝缘层、Si衬底层。二维材料薄膜悬浮BCB质量块的谐振式加速度传感器结构包括二维材料薄膜(作为加速度敏感薄膜)、BCB质量块、SiO2绝缘层、Si衬底层。本发明还公开了该二维材料薄膜悬浮BCB质量块的加速度传感器的制备方法。本发明公开的压阻式与谐振式加速度传感器及其制备方法,具有更高的生产率、更高的良率、更简单的制备工艺、更高的灵敏度和更高的精度,器件的性能得到大幅度的提高。

    一种基于二维薄膜的加速度传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN117805436A

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN202311729727.9

    申请日:2023-12-15

    Inventor: 范绪阁 丁洁 高强

    Abstract: 一种基于二维薄膜的加速度传感器,由二维薄膜与硅MEMS基底进行集成,同时二维薄膜悬浮Si/SiO2质量块,该器件由两层晶圆键合而成,上层晶圆设置有空腔,空腔上方设置有以硅支撑框架支撑的二维敏感薄膜,二维敏感薄膜下方悬浮Si/SiO2质量块,下层晶圆设置有与上层晶圆的空腔相通的通孔空腔,在加速度的作用下Si/SiO2质量块导致二维敏感薄膜发生形变;发生形变的二维敏感薄膜能够将加速度信号转换至其他可检测信号;如通过检测谐振频率的变化或通过电极将二维敏感薄膜与电路进行连接,构成压阻式加速度传感器。在保证性能良好的前提下,进一步缩小MEMS加速度传感器芯片的尺寸。

    基于体验质量的多媒体业务资源分配方法

    公开(公告)号:CN103702425B

    公开(公告)日:2017-01-04

    申请号:CN201310713351.2

    申请日:2013-12-20

    Abstract: 本发明公开了一种基于体验质量的多媒体业务资源分配方法,属于通信技术领域。在视频用户与速率突发用户(BE用户)同时存在的场景下,通过传输速率缩放降低BE用户的传输速率以降低BE用户的突发请求频率,从而保证视频用户信道的稳定性,提高视频用户体验的方法。并且在降低BE用户的传输速率时候考虑到BE用户之间体验的差别,采用等效速率缩放(Equivalent Rate Scaling,ERS),使在不降低视频用户性能增益的条件下,提升BE用户的公平性。

    干扰三角晶格中多业务迭代资源分配方法

    公开(公告)号:CN104506291A

    公开(公告)日:2015-04-08

    申请号:CN201410826382.3

    申请日:2014-12-25

    CPC classification number: H04L5/003 H04L27/2601 H04W72/0426

    Abstract: 本发明涉及一种干扰三角晶格中多业务迭代资源分配方法,属于无线通信技术领域;包括以下步骤:1.建立干扰三角晶格模型;2.初始化系统参数,并利用步骤1所述干扰三角晶格模型模拟基站位置;3.根据用户i的传输速率Ri计算该用户的MOSi值;4.建立优化模型并对优化模型采用迭代算法求解,然后按照求解结果进行资源分配。与传统基站模型相比,本发明方法所提的干扰三角晶格结构更贴近于实际基站的分布状况,因此能够更加真实地模拟实际情况中的基站位置,从而模拟更加真实的路径衰落、信达增益等信息,在此结构上利用上述的迭代资源分配方法进行资源的合理分配,能更加符合实际需求。

    失重法在线分析用耐氧化小型灼烧炉

    公开(公告)号:CN110132012B

    公开(公告)日:2020-12-08

    申请号:CN201910283917.X

    申请日:2019-04-10

    Abstract: 本发明提供一种失重法在线分析用耐氧化小型灼烧炉,通过采用变压器降低供电电压同时增大电热丝截面,并将电热丝置于密闭空间,由此能够延缓灼烧炉因高温氧化侵蚀而导致的电热丝损坏,提高灼烧炉的使用寿命。具体包括炉体、炉门、电热丝和热电偶;炉体包括耐火外壳和套装在耐火外壳内部的耐火内壳;炉体一端开口,一端封闭,在其开口端设置炉门;耐火内壳的内部区域为炉膛灼烧区;在耐火内壳外圆周炉膛灼烧区对应的部分缠绕电热丝;耐火外壳的内圆周面和耐火内壳的外圆周面之间的环形空间为密封空间;电热丝位于密封空间内;电热丝的接电引线通过变压器与外部电源相连;变压器用于将外部电源降压至设定值;热电偶用于实时监测炉膛灼烧区的温度。

    一种精确定位的旋转升降式悬臂坩埚移送机构

    公开(公告)号:CN110790188B

    公开(公告)日:2020-09-11

    申请号:CN201911089423.4

    申请日:2019-11-08

    Abstract: 本发明提供一种精确定位的旋转升降式悬臂坩埚移送机构,能够将坩埚移送至各检测工位并精确取、放置于坩埚托盘,减少因传动间隙导致的定位误差。该坩埚移送机构将旋臂主轴分为上半轴和下半轴,其中上半轴由空心轴和与空心轴配套的芯轴组合而成。芯轴外表面与空心轴内表面紧密动配合,使当空心轴做旋转运动时能够带动芯轴同步转动,当空心轴沿做升降运动时,芯轴不动,使空心轴相对芯轴做升降运动。芯轴的上端伸出空心轴后通过联轴器与所述编码器相连,由此通过悬臂的旋转与升降组合运动,实现精确的移送和取、放置坩埚动作,使因定位偏差导致的碰撞以及由此而引发的机械损坏、电机烧毁等次生故障概率大为减少,提高了整个检测仪器的可靠性。

    一种精确定位的旋转升降式悬臂坩埚移送机构

    公开(公告)号:CN110790188A

    公开(公告)日:2020-02-14

    申请号:CN201911089423.4

    申请日:2019-11-08

    Abstract: 本发明提供一种精确定位的旋转升降式悬臂坩埚移送机构,能够将坩埚移送至各检测工位并精确取、放置于坩埚托盘,减少因传动间隙导致的定位误差。该坩埚移送机构将旋臂主轴分为上半轴和下半轴,其中上半轴由空心轴和与空心轴配套的芯轴组合而成。芯轴外表面与空心轴内表面紧密动配合,使当空心轴做旋转运动时能够带动芯轴同步转动,当空心轴沿做升降运动时,芯轴不动,使空心轴相对芯轴做升降运动。芯轴的上端伸出空心轴后通过联轴器与所述编码器相连,由此通过悬臂的旋转与升降组合运动,实现精确的移送和取、放置坩埚动作,使因定位偏差导致的碰撞以及由此而引发的机械损坏、电机烧毁等次生故障概率大为减少,提高了整个检测仪器的可靠性。

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