公开(公告)号：CN110442987B

公开(公告)日：2022-05-10

申请号：CN201910736917.0

申请日：2019-08-10

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 宗文俊 ,  吴立强 ,  崔志鹏 ,  吴兵

IPC: G06F30/17 ,  G06F30/20

Abstract: 一种单晶金刚石圆锥压头轴线方向及研磨角度选择方法，属于高精度纳米压痕压头制造技术领域。根据典型晶面微观抗剪切强度确定其易磨度因子，通过加权叠加计算得到一般晶面晶向的易磨度因子；基于坐标变换方法计算某一般晶面晶向的易磨度因子；对锥面一圈沿不同研磨方向的易磨度因子进行计算；对特定半锥角、以不同晶向为轴线的单晶金刚石圆锥压头，计算沿不同研磨方向的锥面的易磨度因子标准差以选择轴线方向；对特定轴线为方向、特定半锥角单晶金刚石圆锥压头，计算锥面沿不同研磨方向的易磨度因子标准差以选择压头的研磨角度。通过优选能够明显减弱单晶金刚石晶体各向异性特征对压头研磨精度的不利影响。

公开(公告)号：CN114101766A

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202111566927.8

申请日：2021-12-20

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 宗文俊 ,  崔志鹏 ,  吴立强 ,  李国

IPC: B23C5/00 ,  G06F17/10 ,  B23Q15/00

Abstract: 一种超精密机床线性轴侧向回程误差的补偿方法，属于超精密加工技术领域，具体方案包括以下步骤：建立球刀铣削表面侧向回程误差e的计算式；使用方形螺旋轨迹球刀铣削加工XY平面，判断误差方向；使用光栅式轨迹球刀铣削加工XY平面，获得X轴沿Z方向的侧向回程误差值exz、Y轴沿Z方向的侧向回程误差值eyz；同理获得Z轴沿X方向的侧向回程误差值ezx、Y轴沿X方向的侧向回程误差值eyx，其中将步骤二和步骤三中的轴标X替换为Z，Z替换为X，Y不变化；利用步骤三和步骤四中得到的侧向回程误差值，通过处理加工程序进行侧向回程误差补偿。利用本发明补偿后的铣削表面质量可提高1～2倍，表面粗糙度值可降低为未补偿表面的40％～60％。

公开(公告)号：CN110434754B

公开(公告)日：2021-03-02

申请号：CN201910736918.5

申请日：2019-08-10

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 宗文俊 ,  吴立强 ,  吴兵 ,  崔志鹏

IPC: B24B37/005 ,  B24B37/025 ,  B24B49/12 ,  B24B57/04 ,  B24B53/017

Abstract: 一种高精度单晶金刚石圆锥压头的机械研磨工艺，属于高精度纳米压痕压头制造技术领域。单晶金刚石晶体毛坯切开将切割面磨平制为单晶金刚石晶体；将单晶金刚石晶体焊接在压头柄端部，得到单晶金刚石压头；将单晶金刚石压头尖部磨圆制为单晶金刚石圆锥压头；圆锥面的粗加工；铸铁研磨盘的精密修整与金刚石研磨膏涂敷；金刚石刀具研磨机机床性能状态的稳定；圆锥面的第一次精加工；球头表面的第一次精加工；调整夹具回转轴线位置与摆轴回转中心重合；圆锥面的第二次精加工；球头表面的第二次精加工；利用原子力显微镜进行检测，判断是否加工合格。操作简单，成本低，能够得到高精度的单晶金刚石圆锥压头。

公开(公告)号：CN107796338B

公开(公告)日：2020-06-19

申请号：CN201710945584.3

申请日：2017-09-30

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 宗文俊 ,  崔志鹏 ,  牛春岩 ,  孙涛

IPC: G01B11/30

Abstract: 一种金刚石刀具圆弧波纹度的在位检测装置。本发明涉及一种金刚石刀具圆弧波纹度的在位检测装置。进给台(1)上设置二维精密运动平台(5)，二维精密运动平台(5)上设置磁性表座(6)，磁性表座(6)的横向支杆上设置C_LVDT夹具(7)，C_LVDT夹具(7)的上表面设置水平珠(8)，C_LVDT夹具(7)的前端设置C_LVDT(9)，进给台(1)所连接L形支架(10)的竖向底端，L形支架(10)的横向支杆底设置磁性表座(6)的竖向支杆，L形支架(10)的横向支杆上设置CCD体视显微镜(11)，C_LVDT(9)配合金刚石刀具(4)使用。本发明用于金刚石刀具圆弧波纹度的在位检测。