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公开(公告)号:CN102437229A
公开(公告)日:2012-05-02
申请号:CN201110386056.1
申请日:2011-11-29
Applicant: 吉林大学
IPC: H01L31/108 , H01L31/0224 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明具体涉及一种以透明导电玻璃为衬底,以ZrxTi1-xO2固溶体纳米线阵列为基体,以Ag或Au为金属电极的肖特基结构光伏型半导体紫外光电探测器及其制备方法。首先采用低温极性界面水解法制备不同配比的ZrxTi1-xO2固溶体纳米线阵列,以Ag浆或者Au浆在纳米线阵列上制作电极,经过烘干后即可得到工艺简单、低成本、高性能的肖特基结构紫外探测器。通过调整ZrxTi1-xO2固溶体内部元素的不同配比,可以改变基体材料的紫外吸收边,进而制作出响应峰值在250nm到380nm紫外波段范围内可调的紫外探测器。
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公开(公告)号:CN101881785A
公开(公告)日:2010-11-10
申请号:CN201010205116.0
申请日:2010-06-22
Applicant: 吉林大学
IPC: G01P15/125 , B81B3/00 , B81C1/00
Abstract: 本发明属于微机电系统领域,涉及一种四折叠梁变面积差分电容结构微加速度传感器及其制备方法。由可动质量块、成对的弹簧折叠梁、插指状下电极和微加速度传感器外框组成;在外部载荷的作用方向上,可动质量块的前端和后端通过弹簧折叠梁连接在加速度传感器外框上,可动质量块、弹簧折叠梁、加速度传感器外框为一体结构;在可动质量块的下表面制作有上电极,上电极与插指状下电极间具有一定的空隙,从而组成平板差分电容,上电极通过加速度传感器外框与插指状下电极键合在一起。本发明所述的传感器结构,明显地解决了变间隙结构存在的非线性问题,利于后续检测电路的制作,同时使振动模态更好的分离,提高了器件的抗干扰能力并增加传感器的灵敏度。
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公开(公告)号:CN101666907A
公开(公告)日:2010-03-10
申请号:CN200910067600.9
申请日:2009-09-29
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明提供了一种基于SOI光波导和F-P腔的静电梳状电极驱动的可调谐光滤波器及其制备方法。利用梳状电极带动两个对称的DBR移动,通过调整F-P腔的等效腔长实现可调谐滤波功能。该结构的可调谐滤波器具有调谐范围宽、调谐精度高、调谐速度快、结构紧凑新颖、便于和其它光学、电学元件集成的优点。采用两个DBR同时移动的对称调谐方式,可以增加波长调谐范围。充分利用(110)硅片的结晶学特征,通过感应耦合等离子体刻蚀工艺和各向异性湿法腐蚀工艺相结合的方法,制作DBR和F-P腔,DBR和F-P的表面为硅晶体的{111}面,使DBR镜面垂直且表面光滑,增加DBR的反射率,提高滤波器的性能。
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公开(公告)号:CN115274906B
公开(公告)日:2025-03-07
申请号:CN202210903894.X
申请日:2022-07-29
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种基于无定形态In掺杂Ga2O3纳米材料的紫外光电探测器及其制备方法,属于紫外光电探测技术领域。由石英衬底、无定形态In掺杂Ga2O3纳米材料光敏感层和Au金属叉指电极组成。首先将石英衬底清洗干净并干燥,然后在去离子水中加入九水合硝酸镓、四水合硝酸铟、聚氧乙烯月桂醚和柠檬酸,得到In掺杂的Ga2O3前驱体溶液;再在石英衬底上旋涂前驱体溶液,经烘干、衬底冷却、烧结后得到无定形态In掺杂Ga2O3纳米材料光敏感层;最后经过光刻、磁控溅射,在光敏感层上得到Au金属叉指电极;从而制备出工艺简单易行、工序少、成本低廉、对紫外光有较高响应的基于无定形态In掺杂Ga2O3纳米材料的紫外光电探测器。
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公开(公告)号:CN114858869A
公开(公告)日:2022-08-05
申请号:CN202210469510.8
申请日:2022-04-28
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 一种基于{0001}晶面纳米片组装的富硫空位ZnIn2S4纳米花敏感材料的三乙胺气体传感器及其制备方法,属于气体传感器技术领域。由从下至上的Al2O3衬底、Pd金属叉指电极和涂覆在Pd金属叉指电极上的基于{0001}晶面纳米片组装的富硫空位ZnIn2S4纳米敏感材料层组成。本发明通过改变合成条件来合成了ZnIn2S4纳米花敏感材料,通过S缺陷工程控制生长出的ZnIn2S4纳米花是由暴露高能{0001}面的纳米片自组装而成的,表面具有大量的可作为传感反应活性位点的S空位,因此对三乙胺气体具有良好的检测性能。同时本发明采用的工艺简单、制得的器件体积小、适于大批量生产,因而具有重要的应用价值。
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公开(公告)号:CN114551733A
公开(公告)日:2022-05-27
申请号:CN202210155201.3
申请日:2022-02-21
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种基于酪胺盐酸盐的3D/2D锡铅钙钛矿太阳能电池及其制备方法,属于锡铅钙钛矿太阳能电池技术领域。本发明利用一种新型的具有抗氧化性的酪胺(盐酸盐)作为有机阳离子配体,通过前驱液体掺杂和表面后处理两种方式引入到锡铅钙钛矿中,酪胺盐酸盐的引入能够有效钝化钙钛矿薄膜表面和内部的缺陷,同时在3D钙钛矿表面形成少量2D层状钙钛矿相,这种3D/2D异质结构能够有效阻止水氧侵入,提高薄膜的抗氧化能力,抑制Sn2+氧化,提高器件在空气中的储藏稳定性。同时由于酪胺盐酸盐的引入抑制了光照下的卤素偏析,钙钛矿薄膜的光稳定性得到改善,最终制备出了高效稳定的锡铅钙钛矿太阳能电池。
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公开(公告)号:CN113054114A
公开(公告)日:2021-06-29
申请号:CN202110273335.0
申请日:2021-03-15
Applicant: 吉林大学
Abstract: 一种基于D‑A型有机小分子掺杂ZnO电子传输层的太阳能电池及其制备方法,属于有机太阳能电池技术领域。电池结构为玻璃/ITO或PET/ITO衬底,低温制备的TPTS掺杂ZnO电子传输层,PBDB‑T‑2F:IT‑4F活性层,氧化钼层和Ag电极,入射光从玻璃/ITO或PET/ITO衬底方向入射。在本发明中我们利用TPTS掺杂来抑制ZnO中的缺陷态和载流子复合,提高ZnO的电子传输和抽取能力,进而改善以ZnO作为电子传输层的聚合物太阳能电池的光伏性能。通过对纯ZnO电子传输层以及TPTS掺杂ZnO电子传输层(TPTS占比1wt%)进行缺陷荧光测试和霍尔效应测试来检验发明所述方法的有效性。
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公开(公告)号:CN112858399A
公开(公告)日:2021-05-28
申请号:CN202110000520.2
申请日:2021-01-04
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 一种基于CoWO4纳米粒子修饰的Fe2O3复合材料的乙酸乙酯气体传感器及其制备方法,属于气体传感器技术领域。由带有Pd金属叉指电极的Al2O3衬底、在Pd金属叉指电极和Al2O3衬底上采用涂覆技术制备的CoWo4纳米粒子修饰的Fe2O3复合材料敏感层组成。当CoWo4纳米粒子修饰在Fe2O3八面体材料上时,由于纳米尺寸的CoWo4纳米粒子具有很强的乙酸乙酯催化氧化能力,因此有利于提高气敏材料的气敏响应。本发明所述传感器具有较低的检测下限,同时本发明具有工艺简单、制得的乙酸乙酯气体传感器体积小、适于大批量生产的特点,因而具有重要的应用价值。
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公开(公告)号:CN110988053B
公开(公告)日:2021-03-30
申请号:CN201911402903.1
申请日:2019-12-31
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 一种基于PdO纳米粒子修饰的ZnO/ZnCo2O4复合材料的甲醛气体传感器的制备方法,属于气体传感器技术领域。由带有Pd金属插指电极的Al2O3衬底、在Pd金属插指电极和Al2O3衬底上采用涂覆技术制备的PdO纳米粒子修饰的ZnO/ZnCo2O4复合材料敏感层组成。当PdO纳米粒子修饰在ZnO/ZnCo2O4微球材料上时,由于纳米尺寸的PdO纳米粒子具有很强的甲醛催化氧化能力,因此有利于提高气敏材料的气敏响应。本发明所述传感器具有较低的检测下限,同时本发明具有工艺简单、制得的甲醛气体传感器体积小、适于大批量生产的特点,因而具有重要的应用价值。
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公开(公告)号:CN110068599B
公开(公告)日:2021-03-30
申请号:CN201910467273.X
申请日:2019-05-31
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N27/26
Abstract: 一种基于CoFe2O4/Co3O4双壳结构立方体材料的甲醛气体传感器及其制备方法,属于气体传感器技术领域。该传感器从下至上依次由Al2O3衬底、Pd金属叉指电极、在带有Pd金属叉指电极的Al2O3衬底上采用涂覆技术制备的CoFe2O4/Co3O4双壳结构立方体材料组成。当CoFe2O4修饰到Co3O4中空结构立方体上时,由于晶格失配可以引起晶格缺陷,这些晶格缺陷可以产生氧空位,从而有利于提高气敏材料的气敏响应。本发明工艺简单、制得的传感器体积小、适于大批量生产,具有重要的应用价值。本发明具有制备方法简单、成本低廉、响应恢复速度快、检测下限低的特点,有望大规模生产。
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