一种同腔制造氧化锌、氧化钛或氧化镍量子点的方法及设备

    公开(公告)号:CN111826636B

    公开(公告)日:2022-12-13

    申请号:CN202010851739.9

    申请日:2020-08-21

    Abstract: 本发明实施例公开了一种同腔制造氧化锌、氧化钛和氧化镍量子点的方法及设备,涉及新能源技术领域,便于量子点的产业化和大规模应用。本发明包括:将样品基底放入反应腔体内,启动真空系统对反应腔体抽真空;向反应腔体输入‑OH有机物气体作为‑OH等离子气体源;启动激光加工头扫描样品基底的表面;启动激光加工头再次对样品基底的表面进行扫描;向反应腔体输入驱体气体,并启动激光加工头扫描样品基底的表面进行加热;向反应腔体输入O源前驱体,启动激光加工头加热样品基底的表面,使表面吸附的源前驱体与输入的O源前驱体发生化学反应,生成量子点阵列。本发明适用于制造氧化锌、氧化钛和氧化镍量子点。

    一种同腔制造氧化锌、氧化钛和氧化镍量子点的方法及设备

    公开(公告)号:CN111826636A

    公开(公告)日:2020-10-27

    申请号:CN202010851739.9

    申请日:2020-08-21

    Abstract: 本发明实施例公开了一种同腔制造氧化锌、氧化钛和氧化镍量子点的方法及设备,涉及新能源技术领域,便于量子点的产业化和大规模应用。本发明包括:将样品基底放入反应腔体内,启动真空系统对反应腔体抽真空;向反应腔体输入-OH有机物气体作为-OH等离子气体源;启动激光加工头扫描样品基底的表面;启动激光加工头再次对样品基底的表面进行扫描;向反应腔体输入驱体气体,并启动激光加工头扫描样品基底的表面进行加热;向反应腔体输入O源前驱体,启动激光加工头加热样品基底的表面,使表面吸附的源前驱体与输入的O源前驱体发生化学反应,生成量子点阵列。本发明适用于制造氧化锌、氧化钛和氧化镍量子点。

    一种模块化多电平变换器故障容错控制方法

    公开(公告)号:CN111585461A

    公开(公告)日:2020-08-25

    申请号:CN202010528830.7

    申请日:2020-06-10

    Abstract: 本发明公开了一种模块化多电平变换器故障容错控制方法,包括以下步骤:步骤一:仅以系统的交流电流为优化对象,通过模型预测控制优化交流电流输出特性;步骤二:以系统的环流为主优化对象,以系统的交流电流为辅优化对象,通过模型预测控制进行多目标优化,使系统输出特性最优;步骤三:进行子模块电容电压平衡控制。本发明大大减少了计算量;在正常工作状态和子模块不对称故障运行状态下都可正常工作,并具有良好的输出性能和环流抑制效果,且动态性能良好。

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