一种高温微压压力传感器及其制作方法、测量系统

    公开(公告)号:CN109738109A

    公开(公告)日:2019-05-10

    申请号:CN201910095101.4

    申请日:2019-01-31

    Abstract: 本发明公开一种高温微压压力传感器,包括传感器芯片、左侧补偿电路、右侧补偿电路、供电电极对、信号检测引出电极对、底部支撑层及外围封装;传感器芯片包括由下至上依次叠置的硅底层、二氧化硅绝缘层、碳化硅顶层,以及最上层的腔体密封层;底部支撑层位于传感器芯片底部,且中间设有通气孔;外围封装包括不锈钢底部和塑料外壳,二者结合,将传感器芯片罩设起来。此种结构在基于MEMS技术的基础上,显著地提高了高温环境下传感器测量的灵敏度、线性度与准确性,能够在高温微压条件下对0-1kPa范围内气压实现高精度测量。本发明还公开一种高温微压压力传感器的制作方法及测量系统。

    一种气溶胶颗粒采集装置

    公开(公告)号:CN105954070A

    公开(公告)日:2016-09-21

    申请号:CN201610276502.6

    申请日:2016-04-29

    Abstract: 本申请提供一种气溶胶颗粒采集装置,由气溶胶颗粒物粒径切割头和气溶胶颗粒物稀释装置组成,气溶胶颗粒物粒径切割头包括气体入口通道、切割腔和马达传动装置,气溶胶颗粒物稀释装置包括气体质量流量控制装置和稀释空腔;气溶胶颗粒物采集效率高、维护使用成本低、环境适应能力强、便于大量生产,可满足气溶胶颗粒物测量领域的高精度测量需求,商业价值高。

    一种微型光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN103528735B

    公开(公告)日:2015-11-18

    申请号:CN201310524956.7

    申请日:2013-10-31

    Abstract: 本发明公开了一种新型的微型光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法。该传感器能够有效避免传统光纤法布里-珀罗传感器的压力敏感膜受压后,产生非平面移动,造成较大光能损失的缺陷,能够得到更高的测量精度。本发明提供的微型光纤法布里-珀罗压力传感器,包括通过静电键合工艺连接的单晶硅膜和硼硅酸盐光纤,所述单晶硅膜具有凸台,所述硼硅酸盐光纤具有凹腔,单晶硅膜具有凸台的一面和硼硅酸盐光纤的凹腔相对形成法布里-珀罗腔,所述凸台顶端形成反射面。本传感器使得敏感膜在受压变形过程中,光纤法布里-珀罗腔的两个反射面始终保持平行,大大提高了测量精度。

    硅纳米传感阵列巨压阻系数测量系统及四点弯曲施力装置

    公开(公告)号:CN104090165A

    公开(公告)日:2014-10-08

    申请号:CN201410214287.8

    申请日:2014-05-21

    Abstract: 本发明是关于一种硅纳米传感阵列巨压阻系数测量系统及四点弯曲施力装置,该系统由四点弯曲施力装置、微小阻值检测装置和微小应变检测装置三部分构成。其中四点弯曲施力装置给硅纳米线传感阵列芯片施加均匀轴向应力(应变),该装置包括船型底座、底座滑轨槽、镜像放置的等高L型夹具、镜像放置的等高L型载荷支撑平台、螺母、垫片、螺纹连杆、顶部连杆、若干质量的砝码、托盘以及加载压头。通过间距可调的加载压头上的连杆往托盘上添加砝码对硅纳米线施加压力,通过微小阻值检测装置测出受压后桥路两端输出电压。本发明装置制作简单、体积小、成本低廉、功耗低,由于利用阵列式多点平均测量技术,因而它具有更高精度和更好的稳定性。

    一种微型光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN103528735A

    公开(公告)日:2014-01-22

    申请号:CN201310524956.7

    申请日:2013-10-31

    Abstract: 本发明公开了一种新型的微型光纤法布里-珀罗压力传感器及其制作方法。该传感器能够有效避免传统光纤法布里-珀罗传感器的压力敏感膜受压后,产生非平面移动,造成较大光能损失的缺陷,能够得到更高的测量精度。本发明提供的微型光纤法布里-珀罗压力传感器,包括通过静电键合工艺连接的单晶硅膜和硼硅酸盐光纤,所述单晶硅膜具有凸台,所述硼硅酸盐光纤具有凹腔,单晶硅膜具有凸台的一面和硼硅酸盐光纤的凹腔相对形成法布里-珀罗腔,所述凸台顶端形成反射面。本传感器使得敏感膜在受压变形过程中,光纤法布里-珀罗腔的两个反射面始终保持平行,大大提高了测量精度。

    一种气溶胶颗粒采集装置
    28.
    实用新型

    公开(公告)号:CN205607711U

    公开(公告)日:2016-09-28

    申请号:CN201620377837.2

    申请日:2016-04-29

    Abstract: 本申请提供一种气溶胶颗粒采集装置,由气溶胶颗粒物粒径切割头和气溶胶颗粒物稀释装置组成,气溶胶颗粒物粒径切割头包括气体入口通道、切割腔和马达传动装置,气溶胶颗粒物稀释装置包括气体质量流量控制装置和稀释空腔;气溶胶颗粒物采集效率高、维护使用成本低、环境适应能力强、便于大量生产,可满足气溶胶颗粒物测量领域的高精度测量需求,商业价值高。

    抑制硅纳米线巨压阻传感器灵敏度热漂移和噪声的装置

    公开(公告)号:CN203824695U

    公开(公告)日:2014-09-10

    申请号:CN201420137268.5

    申请日:2014-03-26

    Abstract: 本实用新型公开了抑制硅纳米线巨压阻传感器灵敏度热漂移和噪声的装置,包括温度传感器、直流电源以及依次连接的基准电压源、带有温漂补偿的惠斯通电桥电路、信号调理电路、控制电路;所述带有温漂补偿的惠斯通电桥电路包括硅纳米线巨压阻传感阵列电阻、高精密电阻、温敏电阻;所述信号调理电路包括依次连接的前置放大端、第一低通滤波器、中间级放大器、第二低通滤波器;所述控制电路包括LDO线性电源、依次相连的模数转换器、数字隔离器、单片机、LCD液晶屏,所述LDO线性电源为单片机供电;所述温度传感器与控制电路中的单片机相连。本实用新型可以显著减小了热漂移和噪声对检测结果的影响,达到高精度稳定测量的效果。

    一种硬盘IDE接口转USB接口电路

    公开(公告)号:CN203117970U

    公开(公告)日:2013-08-07

    申请号:CN201220709948.0

    申请日:2012-12-20

    Abstract: 本实用新型公开了一种硬盘IDE接口转USB接口电路。该电路包括分别与USB/IDE端口桥接控制模块连接的IDE接口模块、USB接口模块、串行EEPROM存储器模块、电压转换模块。本电路能够实现移动硬盘与计算机通过USB数据线成功识别并传输数据的功能。克服现有技术中移动硬盘的数据传输不支持热插拔的缺陷。

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