公开(公告)号：CN214923387U

公开(公告)日：2021-11-30

申请号：CN202120717085.0

申请日：2021-04-08

Applicant: 华侨大学

Inventor： 罗求发 ,  陆静 ,  徐西鹏 ,  薛志萍 ,  姜峰 ,  温海浪

IPC: B24B37/10 ,  B24B37/30 ,  B24B49/00 ,  B24B49/16 ,  H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  F16N15/04

Abstract: 本实用新型公开了磨料与晶圆衬底摩擦化学反应的实现装置，包括主轴模块、液池模块及装夹模块；该主轴模块包括主轴、转接盘、供晶圆衬底固设其上的样品台和加热器；该液池模块包括液池、盖板、固定环及进液管，该液池包括设有安装通孔的池底、池内壳、池外壳和设有样品口的池盖；该装夹模块包括加载装置、样品夹杆和硬质磨料压头。它具有如下优点：通过硬质磨料压头与晶圆衬底的划擦实验，还原加工过程中划擦速度、载荷、温度和润滑状态，进而研究硬质磨粒与晶圆之间的界面作用关系，有助于揭示硬质磨料与晶圆衬底界面摩擦化学反应的作用机制，在半导体晶圆衬底的高效超精密加工领域具有良好的应用前景，且装置简单、操作方便。

公开(公告)号：CN218478816U

公开(公告)日：2023-02-14

申请号：CN202222168934.9

申请日：2022-08-17

Applicant: 华侨大学

Inventor： 陆静 ,  薛志萍 ,  黄辉 ,  徐西鹏

IPC: C25D17/00 ,  C25D7/06 ,  C25D5/54 ,  C25D9/04 ,  C01B32/28 ,  C01B32/168

Abstract: 本实用新型公开了一种长线碳纳米管纤维与金刚石复合材料制备装置，包括一电泳共沉积组件、一烘干组件和一复合组件。本实用新型零部件较少，基本无易损件，操作过程简单可控，自动化程度高，使用寿命长，运转可靠。用本实用新型可以在较短的时间内实现复合材料的连续制备，且制备过程快速高效，所得复合物中碳纳米管纤维与金刚石之间为化学键合，键合牢固。

公开(公告)号：CN216160368U

公开(公告)日：2022-04-01

申请号：CN202121776226.2

申请日：2021-07-30

Applicant: 华侨大学

Inventor： 吴跃勤 ,  陆静 ,  徐西鹏 ,  薛志萍 ,  罗求发 ,  廉腾宇

IPC: G01N3/40 ,  G01N3/46 ,  G01N3/02

Abstract: 本实用新型公开了压划针尖吸附活性磨粒的装置，包括微机装置，该微机装置包括悬臂梁和分别固设在悬臂梁两端的第一容器及第二容器，该微机装置的悬臂梁中部固设有旋转轴，该旋转轴能转动连接在升降座上。它具有如下优点：结构简单。