公开(公告)号：CN213714231U

公开(公告)日：2021-07-16

申请号：CN202023275536.4

申请日：2020-12-29

Applicant: 华侨大学

Inventor： 余卿 ,  张一 ,  肖泽帧 ,  程方 ,  王寅 ,  尚文键 ,  张雅丽 ,  邹景武 ,  王翀 ,  董声超 ,  陈涛

IPC: G01B11/25

Abstract: 本实用新型涉及一种并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除系统，该系统包括并行彩色共聚焦测量系统和能对测量数据进行误差补偿的数据处理系统。并行彩色共聚焦测量系统包括复色光源、准直透镜、色散管镜、数字微镜器件、分光模块、载物模块和彩色相机。复色光源发出的单束光依次透过准直透镜和色散管镜到达数字微镜器件中，反馈出光点阵列通过分光模块照射在载物模块，被载物模块反射后的光点阵列再次透过分光模块进入彩色相机中，通过彩色相机传输到数据处理系统。本实用新型通过对光轴外的光色散数据的分析补偿，可以消除由于轴外光色散引起的系统误差，解决并行彩色共聚焦系统轴外光色散优化问题，提高测量精度。

公开(公告)号：CN208520339U

公开(公告)日：2019-02-19

申请号：CN201821271334.2

申请日：2018-08-08

Applicant: 华侨大学

Inventor： 余卿 ,  张昆 ,  张一 ,  崔长彩 ,  程方 ,  周瑞兰 ,  邹景武

IPC: G01B11/24

Abstract: 本实用新型提供了一种无需轴向扫描的表面三维形貌检测装置，包括具有多种波长特性的复色光源、控制及数据处理系统；复色光源与被测件之间依次设置有输入光纤、针孔、准直镜、色散物镜、分光镜、物方聚焦透镜；还包括一光谱仪，所述分光镜与光谱仪之间依次设置有像方聚焦透镜、调焦小孔、输出光纤；所述光谱仪连接所述输出光纤，所述光谱仪连接所述控制及数据处理系统；还包括一扫描系统，所述扫描系统包括步进电机、驱动器、X轴导轨、Y轴导轨、二维移动台；所述待测件置于所述二维移动台上。应用本技术方案可实现扫描物体三维形貌不需要进行轴向扫描，装置调试使用方便，缩短了测量时间。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN213956278U

公开(公告)日：2021-08-13

申请号：CN202120202250.9

申请日：2021-01-25

Applicant: 华侨大学

Inventor： 余卿 ,  尚文键 ,  张雅丽 ,  程方 ,  张一 ,  王翀 ,  董声超 ,  肖泽祯

IPC: G01B11/25 ,  G01B9/04

Abstract: 本实用新型涉及一种斜照明式的彩色共聚焦测量系统，包括光源模块、色散镜头模块、运动载物模块、反射镜头模块和采集计算模块。光源模块射出复色光束通过色散镜头模块，色散成不同波长的多个光束，再聚焦至运动载物模块上的被测物，移动运动载物模块以进行被测物表面各位置图像信息采集，光纤再反射至反射镜头模块又180度反射回来，射向采集计算模块。采集计算模块采集被测物表面反射的聚焦光斑的波长和颜色信息，通过波长信息计算出被测物表面的相对轴向高度数据，将采样点信息的轴向高度与对应的水平位置坐标信息进行三维点云建模生成表面形貌图像。本测量系统和检测方法适用于在几何空间受限时，检测样品表面形貌。