一种可见光-中红外宽波段透明导电薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN115747739B

    公开(公告)日:2024-06-04

    申请号:CN202211438098.X

    申请日:2022-11-16

    Abstract: 一种可见光‑中红外宽波段透明导电薄膜的制备方法,涉及一种红外透明导电薄膜的制备方法。本发明是要解决现有的红外光学材料无法兼容高红外透射率和高电导率的技术问题。本发明利用磁控溅射共溅射技术结合硫化处理的方式制备了可见光至中红外宽波段P型透明导电LaCuOS薄膜,制备工艺简单。本发明的LaCuOS薄膜的载流子浓度均在1019cm‑3以上,电导率均在30S/cm以上;镀有LaCuOS薄膜的蓝宝石可见光透过率高于60%,中红外透过率也可达约为50%,实现了P型透明半导体材料可见光‑中红外宽波段透过与电学性能的兼容。

    用于半球形曲面内表面均匀镀膜的原子层沉积装置

    公开(公告)号:CN117802480A

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN202410093201.4

    申请日:2024-01-23

    Abstract: 用于半球形曲面内表面均匀镀膜的原子层沉积装置,本发明是为了解决现有镀膜技术存在的曲面光学窗口内表面镀膜均匀性和稳定性不佳的问题。本发明原子层沉积装置中的气体通道件竖直固定在舱体底座上,在抽气板上表面的圆周方向上设置有围沿,围沿、凸沿以及盖板围成气腔,抽气板固定在气体通道件的上表面,在盖板的上表面固定设置有中空球壳,样品支架套设在气体通道件的外部,半球形样品放置在样品支架的环形平台上,舱体安装在舱体底座上,舱体套设在样品支架的外部,舱盖盖设在舱体的顶部,舱盖的下表面设置有半球形加热器。本发明通过设计原子层沉积装置的舱体结构,以实现对半球形曲面内表面的均匀镀膜,获得了更加均匀稳定的流场分布。

    一种兼具超宽带微波吸收与散射的光学透明漫反射吸波体

    公开(公告)号:CN114447623B

    公开(公告)日:2023-02-24

    申请号:CN202210181426.6

    申请日:2022-02-25

    Abstract: 一种兼具超宽带微波吸收与散射的光学透明漫反射吸波体,它涉及一种光学透明漫反射吸波体。本发明要解决现有漫反射吸波体组成单元吸收带宽窄并且吸收频段重合低的问题。光学透明漫反射吸波体自上而下依次由上层图形化导电膜层、第一透明基体、第一介质层、中层图形化导电膜层、第二透明基体、第二介质层、底部低阻抗导电膜层及第三透明基体组成;所述的上层图形化导电膜层由N×M个阻抗膜单元组成;所述的N×M个阻抗膜单元由第一吸收单元和第二吸收单元组成。本发明用于兼具超宽带微波吸收与散射的光学透明漫反射吸波体。

    用于制备图案化金属氧化物薄膜的材料和方法

    公开(公告)号:CN115094374A

    公开(公告)日:2022-09-23

    申请号:CN202210723539.4

    申请日:2022-06-23

    Abstract: 用于制备图案化金属氧化物薄膜的材料和方法,本发明的目的是为了解决现有图案化技术制备薄膜的灵活性较差,难以直接改变图案的问题。本发明用于制备图案化金属氧化物薄膜的材料包括透光基体、光敏层、金属氧化物薄膜和粘合层,在透光基体表面涂覆形成光敏层,金属氧化物薄膜镀覆在光敏层上,粘合层涂覆在金属氧化物薄膜上,光敏层采用光分解材料。本发明光敏层在被激光进行辐射后,可光解或热解为气态物质,金属氧化物薄膜被气态物质推动向镀膜基底转移,在镀膜基底上形成图案化金属氧化物薄膜。本发明简便快捷的沉积图案化的金属氧化物薄膜材料到待转移区域,无需使用昂贵的光刻机设备和环境危险的化工药品。

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