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公开(公告)号：CN102052989B
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：CN201010548819.3
申请日：2010-11-18
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01L9/12
Abstract: 本发明公开了一种用于无线无源测量的电容压力传感器，由周边固支的弹性振动膜片组成电容器，通过调整圆形电极与振动膜片半径之比、设置绝缘凸点等手段，使振动膜片处于大应变状态，最大电容与初始电容之比尽可能大，从而使电容达到大相对变化量、高Q值的目的。本发明的高Q值和大相对电容变化量的电容压力传感器与声表面波变送器连接后，可以实现对压力的高精度无线无源测量，该传感器可用于汽车轮胎压力监测领域。
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公开(公告)号：CN115754839A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202211474696.2
申请日：2022-11-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01R33/02
Abstract: 本发明公开了一种基于声波驱动铁磁共振作用的矢量磁传感器，包括处理部件和两组叉指换能部件，每组叉指换能部件均包括输入叉指换能器和输出叉指换能器，每组叉指换能部件中的输入和输出叉指换能器之间均设有一定的空间距离形成延迟线结构，两个延迟线结构交叉相同且呈45°夹角设置，且两个延迟线结构的空间距离内生长有由铁磁材料制成的磁性薄膜，两个延迟线结构所传感的外磁场方向均与该延迟线结构中声波传播方向呈﹣45°。处理部件则通过对两组叉指换能部件中的输入输出叉指换能器的电信号进行采集分析，得到各延迟线结构分别所测量到的磁场大小，然后利用矢量合成得到外磁场的大小和方向。本发明可对外界磁场的方向和大小进行同时探测。
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公开(公告)号：CN115678335A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211411551.8
申请日：2022-11-11
Applicant: 华中科技大学
IPC: C09D5/32 , C09D133/04
Abstract: 本发明属于表面工程(涂层)技术领域，提供了一种红外吸收复合涂层及其制备方法，该复合涂层包括预涂层和吸收层，所述预涂层包括粘结剂，所述吸收层包括吸光材料和硬化剂；所述红外吸收复合涂层制备过程中，依次将预涂层和吸收层设置在基底上，在不改变外界条件的情况下，所述粘结剂和所述硬化剂通过接触就能够发生化学反应，使得所述红外吸收复合涂层牢固附着于所述基底上，并且能够吸收红外光。本发明提供的双层结构的红外吸收涂层，由于预涂层与吸收层之间良好的化学粘结效果，涂层可以附着于各种基材表面，且在超低温冲击环境下更加持久耐用，使得红外吸收材料能长期稳定地附着在基底表面，给消除红外探测器中杂散光提供了有效的保障。
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公开(公告)号：CN112362199B
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202011194609.9
申请日：2020-10-30
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于压力传感器领域，更具体地，涉及一种介质插入型电容式压力传感器及其制备方法。该介质插入型电容式压力传感器包括基体、支撑层和感压层，基体包括衬底和梳状电极，感压层包括弹性薄膜和位于该弹性薄膜下方与之相连接的感压阵列，感压阵列的阵列单元正好位于梳状电极梳齿间隙的正上方，而弹性薄膜、衬底以及支撑层围成一个封闭的真空腔结构，使得弹性薄膜在压力作用下，带动感压阵列向下移动，而梳状电极的位置固定不变，从而使感压阵列插入到梳齿电极平行板电容的两极板之间，改变电极板间电介质的相对介电常数，进而引起电容的改变，再通过检测电容即可测得压力的大小。该电容式压力传感器可以在增加线性度的同时，提高其灵敏度。
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公开(公告)号：CN114674485A
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN202210156339.5
申请日：2022-02-21
Applicant: 华中科技大学 , 孝感华工高理电子有限公司
Abstract: 本发明涉及压力传感器技术领域，提供了一种小量程MEMS电容式压力传感器的制备方法，包括如下步骤：S1，于衬底上淀积下电极层，并将所述下电极层刻蚀形成单个阵列的下电极；S2，在所述下电极上淀积介质层，所述介质层作为所述下电极的保护层；S3，于所述介质层上淀积牺牲层；S4，接着经光刻、刻蚀形成下电极引出孔；S5，继续沉积上电极，并在其表面形成牺牲层释放孔；S6，对所述牺牲层进行释放；S7，将所述牺牲层释放孔进行密封，从而形成密封腔体。还提供一种小量程MEMS电容式压力传感器，由上述的制备方法制得。本发明由于工艺成熟，其所形成的硅微结构机械性能良好，尤其使用淀积Al/Ti侧面释放孔所形成的腔体结构密封性能优异。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108059455B
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201810105008.2
申请日：2018-02-02
Applicant: 华中科技大学
IPC: C04B35/49 , C04B35/622
Abstract: 本发明公开了一种中介高品质τf近零的微波介质陶瓷及其制备方法，其中，微波介质陶瓷包括主晶相，所述主晶相的化学式为(ZrTi)1‑x(Mg1/3Sb2/3)2xO4，其中，0.10≤x≤0.36。本发明制备得到的微波介质陶瓷的介电常数为24.4～35.4，谐振频率温度系数为‑4.6ppm/℃～+6.7ppm/℃，品质因数为28000GHz～40200GHz。证明了本发明的微波介质陶瓷具有中介电常数、高品质因数和近零谐振频率温度系数。
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公开(公告)号：CN112362199A
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN202011194609.9
申请日：2020-10-30
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于压力传感器领域，更具体地，涉及一种介质插入型电容式压力传感器及其制备方法。该介质插入型电容式压力传感器包括基体、支撑层和感压层，基体包括衬底和梳状电极，感压层包括弹性薄膜和位于该弹性薄膜下方与之相连接的感压阵列，感压阵列的阵列单元正好位于梳状电极梳齿间隙的正上方，而弹性薄膜、衬底以及支撑层围成一个封闭的真空腔结构，使得弹性薄膜在压力作用下，带动感压阵列向下移动，而梳状电极的位置固定不变，从而使感压阵列插入到梳齿电极平行板电容的两极板之间，改变电极板间电介质的相对介电常数，进而引起电容的改变，再通过检测电容即可测得压力的大小。该电容式压力传感器可以在增加线性度的同时，提高其灵敏度。
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公开(公告)号：CN112332795A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN202011285218.8
申请日：2020-11-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种表面开槽的兰姆波谐振器，属于声表面波谐振器领域，具体包括压电模块、汇流条、电极和凹槽；电极位于压电模块上表面，且呈周期性排布；在电极沿孔径方向的两端设置有汇流条；每隔n个电极，在压电模块上表面设置有凹槽；汇流条用于对电极施加电压；凹槽用于通过破坏压电模块表面的连续性，抑制杂散波。兰姆波谐振器还包括假指；假指位于每个电极末端与汇流条之间，用于抑制能量的横向泄露，提高谐振器的Q值。本发明提供的兰姆波谐振器采用凹槽设计，极大抑制了谐振器中的杂散波。
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公开(公告)号：CN111430374A
公开(公告)日：2020-07-17
申请号：CN202010247813.6
申请日：2020-03-31
Applicant: 华中科技大学
Inventor： 罗为
IPC: H01L27/12 , H01L27/32 , H01L51/52 , H01L51/56 , G02B3/00 , G02F1/1333 , G02F1/1362
Abstract: 本发明公开了一种光学传感器，具备该光学传感器的屏下指纹识别显示面板装置及制备方法，包括有屏幕层，光学传感器模块；光学传感器模块包括光学成像模块阵列层，其用于接收来自屏幕层的光并将光成像到光学传感器阵列；光学传感器阵列与发光像素显示单元的驱动电路设置于同一层；光学成像模块阵列层与光学传感器阵列所在层沿第一方向对应集成，使得光学成像模块阵列与光学传感器阵列耦合对应。按照本发明实现的技术方案，光电传感器与像素光源驱动电路集成在TFT玻璃基板同层上并使用微透镜阵列来进行一一对应集成，不改变原有TFT显示驱动的设计，在形成显示面板的驱动控制元件的有源层的同时形成了光学传感器功能模块，生产兼容性好，简化了显示面板的制造工艺。
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公开(公告)号：CN109735807B
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201910145223.X
申请日：2019-02-27
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种负温度系数热敏薄膜的制备方法，包括以下步骤：(1)衬底的清洗；(2)热敏薄膜制备：采用磁控溅射法将Mn‑Co‑Ni系合金靶材溅射到衬底上得到Mn‑Co‑Ni系薄膜；(3)退火处理：将Mn‑Co‑Ni系薄膜在含有氧气的气氛下进行退火氧化处理，即可得到Mn‑Co‑Ni‑O系负温度系数热敏薄膜。本发明通过对制备方法整体流程工艺设计，尤其是关键溅射工艺所采用的靶材料进行改进，以Mn‑Co‑Ni系合金作为靶材，与现有技术相比能够有效解决磁控溅射法制备热敏薄膜时陶瓷靶材容易碎裂、利用率低的问题，制备方法操作简单，容易实现，重复性好。
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