公开(公告)号：CN104355284A

公开(公告)日：2015-02-18

申请号：CN201410535300.X

申请日：2014-10-13

Applicant: 华东光电集成器件研究所

Inventor： 王鹏 ,  郭群英 ,  黄斌 ,  王文婧 ,  何凯旋 ,  陈博 ,  陈璞 ,  刘磊

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  B81C3/00

Abstract: 本发明涉及一种MEMS器件双面对通介质隔离结构及制备方法，包括硅基体（1）、可动结构（5）以及盖帽（8），可动结构（5）以及盖帽（8）之间用金属粘接剂（7）连接，可动结构（5）与硅基体（1）进行硅硅键合，其特征在于：硅基体（1）中设有对通的绝缘深槽，绝缘深槽中设有填充材料二氧化硅或氮化硅或多晶硅（3），绝缘深槽之间的硅基体（1）形成隔离电极（4），隔离电极（4）上面与可动结构（5）对应配合。

公开(公告)号：CN103529240A

公开(公告)日：2014-01-22

申请号：CN201310506796.3

申请日：2013-10-24

Applicant: 华东光电集成器件研究所

Inventor： 王鹏 ,  郭群英 ,  黄斌 ,  陈璞 ,  何凯旋 ,  陈博 ,  王文婧 ,  刘磊 ,  汪祖民 ,  徐栋 ,  吕东锋 ,  庄须叶

IPC: G01P15/00

Abstract: 本发明涉及一种抗高过载的加速度计，包括连接于玻璃衬底上的硅基体（1），硅基体中设有悬臂梁（2）及相连的质量块（3），其特征在于：在质量块的两侧硅基体中对称设有弹性梁（6），弹性梁（6）与硅基体间设有缓冲间隙（4）。本发明与现有的加速度计抗高过载结构相比具有如下优点：（1）本发明有效的将弹性碰撞面与缓冲间隙相结合，使得加速度计在高过载情况下，可动结构不易断裂，实现了器件的高可靠性。（2）本发明结构简单，采用单晶硅片材料，提高了加速度计产品的一致性和可靠性；加工工艺比较简单，全部利用公知的MEMS工艺技术加工，适合大批量生产。