一种用于直线导轨六项几何误差高分辨力高效测量系统及方法

    公开(公告)号:CN106767395B

    公开(公告)日:2019-06-07

    申请号:CN201610985245.3

    申请日:2016-11-09

    Abstract: 本发明公开了一种用于直线导轨六项几何误差高分辨力高效测量系统及方法,该系统以高精度激光器和光电接收器为基准测量直线导轨的定位误差,利用四象限探测器测量直线导轨的直线度误差,俯仰误差,偏摆误差和滚转误差。该方法通过光路放大的原理,提高了测量直线导轨各项几何误差的分辨力。在测量的过程中,移动导轨上只需要安装三个测量镜,并且在直线导轨的一次运动中,该测量方法能够将六项几何误差全部测量出来。本发明提供的直线导轨六项几何误差测量方法能够有效地提高导轨几何误差的测量分辨力和效率。

    一种用于激光追踪测量系统的激光头微调装置

    公开(公告)号:CN108489385A

    公开(公告)日:2018-09-04

    申请号:CN201810221386.7

    申请日:2018-03-17

    Abstract: 本发明公开了一种用于激光追踪测量系统的激光头微调装置,属于激光测量领域;该激光头微调装置包括光路支撑板、激光头连接板、激光头水平方向微调机构、激光头垂直方向微调机构、通光孔、连接板和腰型槽。激光头连接板的一侧通过螺钉与安置在轴承座上的轴连接,激光头连接板的另一侧通过螺钉与安置在电机支架上的电机连接。轴承座与电机支架通过螺钉固定在垂直回转轴系上。由于放置在腰型槽中其位置相对光路支撑板固定不变,通过旋紧和旋松激光头水平方向微调机构来带动整个光路支撑板左右微动。旋紧和旋松激光头垂直方向微调机构来带动光路支撑板上下微动,有效的调节激光光轴的轴线位置。

    一种以标准球为反射装置的激光跟踪测量系统结构误差补偿方法

    公开(公告)号:CN105806220A

    公开(公告)日:2016-07-27

    申请号:CN201610258531.X

    申请日:2016-04-23

    CPC classification number: G01B11/00

    Abstract: 本发明公开了一种以标准球为反射装置的激光跟踪测量系统结构误差补偿方法,该方法定量地分析了以标准球为反射装置的激光跟踪测量系统内部结构误差对激光测量结果的影响。在测量工作开始之前,首先要对测量系统的各项结构误差进行测量。以所得结构误差量为基础,建立测量系统结构误差的理论误差模型。根据理论误差模型类来分析系统的激光测量误差与各项结构误差量之间的函数关系,最终完成系统激光测量误差的补偿。本发明提供的结构误差补偿方法能够有效地提高以标准球为反射装置的激光跟踪测量系统激光测量的精度,同时也保证了基于多边法的激光跟踪测量系统的可靠性。

    一种不等极板面积的角位移测量电容传感器

    公开(公告)号:CN115655094B

    公开(公告)日:2024-03-29

    申请号:CN202211364907.7

    申请日:2022-11-02

    Abstract: 本发明公开了一种不等极板面积的角位移测量电容传感器,电容极板分为动模块和定模块、极板间介质;动模块和定模块分为四组。所述不等面积电容传感器极板结构A、C表示为动、定模块面积不相等的两组极板,其中定模块面积小于动模块的面积;B、D组为动、定模块面积相等,整体构型为不等面积。所述不等面积电容传感器,各极板位置关系如下:A、C组极板重心沿y轴分布,且关于x轴对称;B、D组极板重心沿x轴分布,且关于y轴对称;A、B、C、D组上下极板的重心在一条平行于z轴的直线上。本发明提供的电容传感器相对常规结构的电容传感器相比,能测量三轴的角度变化量,测量维数多,解析数据能够实现的精度更高。

    一维导向机构回转角误差测量装置

    公开(公告)号:CN115597474B

    公开(公告)日:2024-03-15

    申请号:CN202211364917.0

    申请日:2022-11-02

    Abstract: 本发明公开了一维导向机构回转角误差测量装置,该装置通过使用正交布置的两组不等面积极板的电容传感器,能够测量出3个角位移量,最终实现提升测头测量精度的目的。包括L型固定板、L型固定板第一上压板、L型固定板第二上压板、L型固定板第一下压板、L型固定板第二下压板、差动板、L型移动板、L型移动板第一上压板、L型移动板第二上压板、L型移动板第一下压板、L型移动板第二下压板、第一组簧片、第二组簧片、动极板模块、定极板模块、大面积极板、小面积极板;本发明包含2组正交布置的不等面积极板的电容传感器,可使用冗余数据高精度的分解出L型移动板绕X、Y和Z轴的3个角位移量。尤其适用于精密测头中的高精度导向模块。

    一种8簧片正交布置的垂向微位移测量装置

    公开(公告)号:CN115540734B

    公开(公告)日:2024-03-15

    申请号:CN202211364906.2

    申请日:2022-11-02

    Abstract: 本发明公开了一种8簧片正交布置的垂向微位移测量装置,包括L型固定板、L型固定板第一上压板、L型固定板第二上压板、L型固定板第一下压板、L型固定板第二下压板、差动板、L型移动板、L型移动板第一上压板、L型移动板第二上压板、L型移动板第一下压板、L型移动板第二下压板、第一组双簧片、第二组双簧片、第三组双簧片、第四组双簧片、电容传感器;L型固定板和L型移动板通过正交布置的4组双簧片保持平衡状态。L型移动板沿垂向移动会使4组双簧片发生弹性变形。本发明4组双簧片正交布置,使L型移动板、L型移动板第一上压板、L型移动板第二上压板、L型移动板第一下压板和L型移动板第二下压板的受力平衡。

    一种24簧片的三维等测力扫描测头
    27.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116086293A

    公开(公告)日:2023-05-09

    申请号:CN202211364869.5

    申请日:2022-11-02

    Abstract: 本发明公开了一种24簧片的三维等测力扫描测头,包括测头安装座、电路处理模块、信号放大模块、测头本体、平衡弹簧、触发开关、测针座、测针接头、测针、测球、磁吸结构、x向导向机构、y向导向机构、z向导向机构;本发明中3个导向机构共使用了24个弹性簧片,除了z向导向机构中的2组弹性簧片尺寸一致以外,x向导向机构和y向导向机构中各自的2组弹性簧片尺寸均不一致,通过受力分析和优化设计,可实现三维扫描测头的三维等测力测量。本发明中3个导向机构都配有差动电容传感器和正交布置的两组不等面积极板电容传感器,可实现各导向机构6自由度的冗余测量。本发明装置用途广泛,尤其适用于高精度扫描测头。

    基于点自聚焦原理的光探针测头
    28.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115790438A

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202211364909.6

    申请日:2022-11-02

    Abstract: 本发明公开了基于点自聚焦原理的光探针测头,基于点自聚焦原理,利用自聚焦传感器实时跟踪被测齿面上物镜焦点的位置,并通过高精度直线光栅记录物镜位移量,进而实现微小齿轮全齿面数据的获取。包括照明光源、激光光源、透镜、自聚焦传感器、CCD相机、分光镜、z轴控制器、z轴移动平台、物镜、z轴光栅、差动共焦模块、反射镜;当被测物靠近或远离测头移动时,经过被测物表面反射的激光束在自聚焦传感器上的位置移动。自聚焦传感器将产生的偏差信号发送至z轴控制器,进而控制z轴移动平台移动,使物镜焦点的位置与自聚焦传感器的中心位置再次达到平衡。z轴光栅记录测头移动的位移量,并将该位移量作为被测物表面位置数据的变化量。

    一种玻璃转盘式视觉筛选机的玻璃自动清洗装置

    公开(公告)号:CN115382815A

    公开(公告)日:2022-11-25

    申请号:CN202210904061.5

    申请日:2022-07-29

    Abstract: 本发明公开了一种玻璃转盘式视觉筛选机的玻璃自动清洗装置,包括四个核心清洗机构:清洗液自动喷洒机构、可伸缩无痕玻璃清洁刷机构、吹气除尘机构、微型吸尘机构,清洗液自动喷洒机构通过电机紧固件和管道紧固件固定在铝型材固定架的一侧,微型吸尘机构通过悬挂柄固定在铝型材固定架的另一侧,可伸缩无痕玻璃清洁刷机构和吹气除尘机构通过一块开孔平板和螺栓固定在铝型材固定架上。本发明集物理去污、气流去污和液体去污于一体,能够自动清洁视觉筛选机的玻璃表面,实现了视觉筛选机真正意义上的全自动化智能筛选,同时也保证了清洁效果,保证了生产进度。

    基于双波长法补偿空气折射率的激光追踪系统ZEMAX仿真方法

    公开(公告)号:CN108917605B

    公开(公告)日:2020-04-03

    申请号:CN201810771009.0

    申请日:2018-07-13

    Abstract: 本发明公开了基于双波长法补偿空气折射率的激光追踪系统ZEMAX仿真方法,用于分析光学系统中各个光学元件的非理想对系统能量的影响,基于双波长法补偿空气折射率的激光追踪测量系统的光学系统原理,根据各个光学元件之间的结构,设置多重结构的参数,然后进行顺序调整,建立基于双波长法补偿空气折射率的激光追踪测量系统的模型。设定各光学元件的参数,分析干涉信号条纹对比度,实现光学系统最优化的参数设定,达到提高激光追踪测量系统测量精度的目的,对激光追踪测量光学系统设计和光学元件的选择具有指导意义。

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