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公开(公告)号：CN102980567B
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201210481077.6
申请日：2012-11-23
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明一种小型气流式陀螺，该陀螺包括壳体，所述壳体两端通过端盖封闭，壳体内设置有测试腔体，所述测试腔体上开设有进气喷嘴和出气口，测试腔体内靠近出气口处设置有热敏元件，壳体与测试腔体之间设置有连接所述进气喷嘴和所述出气口的气体循环通道，测试腔体的进气喷嘴外侧设置有将气体压入测试腔体的压电泵，测试腔体、所述气体循环通道和所述压电泵构成气体的封闭循环，所述测试腔体为径向中心对称，测试腔体自所述进气喷嘴至出气口依次包括用于对气流束扩散角度导向的导向段、供气流束顺畅流动的流动段和通过平滑斜面使气流束汇集至出气口的汇流段，所述热敏元件设置在所述汇流段末端。提高测量精度和陀螺工作的稳定性。
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公开(公告)号：CN103017733A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210532264.2
申请日：2012-12-12
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C9/00
Abstract: 本发明高灵敏度气流式全方位水平姿态传感器，包括壳体，所述壳体内固定有密闭的测试腔体，测试腔体内设置有多组成对设置的热敏电阻，所述热敏电阻和所述热源与信号处理电路相连接，所述信号处理电路将接收的电压信号转变成水平姿态电信号，所述热敏电阻通以恒定电流构成热源。该水平姿态传感器打破了常规的热源设置方式，热敏电阻通以恒定电流后在测试腔体内能形成稳定的温度场，代替原有热源。解决了热敏电阻不能在同一等温线上的问题，提高了水平姿态传感器测量的精度和准确性。
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公开(公告)号：CN113985070B
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202111410352.0
申请日：2021-11-25
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本申请公开了一种全方位动热源摆式三轴微机械加速度计及其加工方法，该加速度计包括上敏感层、下敏感层和盖板，敏感层的中心位置设置有一加热器，通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置，下方是圆形的中间加热腔；下敏感层含有呈正交分布的四个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现三轴加速度的检测，测量范围广，灵敏度高，响应速度快。同时它具有加工工艺简单，结构紧密，结构应力小，可靠性高，易于智能化和集成化，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。
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公开(公告)号：CN118583312A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202411008728.9
申请日：2024-07-26
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于锯齿形热电阻丝的高抗压温压一体柔性传感器，属于柔性可穿戴电子领域。该传感器主要包括柔性基底层和受压弹性体，柔性基底层上设置有一个环境温度检测电阻丝和一个压力检测电阻丝，受压弹性体中存在大量的孔隙,与柔性基底层上表面紧密连接。本发明采用MEMS工艺制作，具有多功能性，能同时检测温度与压力，可实现曲面的柔性测量，体积小，成本低，能实时监测温压变化，稳定性好，灵敏度高，易于智能化与集成化，可以应用在医疗设备、智能穿戴、机器人技术等领域。
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公开(公告)号：CN118424244A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410476444.6
申请日：2024-04-19
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明提供一种基于无掩膜技术的柔性热流陀螺的制作方法，包括清洗有机玻璃衬底和聚酰亚胺基底，用固体胶将聚酰亚胺基底和有机玻璃衬底粘在一起，通过涂胶，曝光，显影在聚酰亚胺薄膜上形成图案，使用激光切割机对基底进行切割形成丝与电极以及腔体结构，在聚酰亚胺薄膜上分别溅射铬、铂、金三层金属，用NMP溶液清洗剥离光刻胶，并把基底层从衬底上剥离下来，键合引线，并进行封装，形成热流陀螺的最终结构。本发明具有工艺简单、成本低，更容易实现腔体结构和金属丝的结构，更容易地实现热流陀螺的柔性结构，实现曲面测量，工艺生产效率高、一致性好等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111595319B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202010584662.3
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种单热源“T”字型微机械三轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“T”字型结构的一个隔离电阻，三个加热器和三对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“T”字型凹槽；三个加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本发明采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。
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公开(公告)号：CN116625345A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310667965.5
申请日：2023-06-07
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明涉及一种基于双向热膨胀流的MEMS陀螺，属于惯性测量领域。该陀螺主要包括基底层、敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有相互平行的三组加热器和两对平行的热敏电阻，在加热器和热敏电阻的下方设置有悬空的绝缘电阻桥；基底层上表面刻蚀有“工”字形腔体；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明采用MEMS加工工艺制作，具有体积小、成本低、可批量生产等优点。基于这些优点它可以广泛应用于电子设备、航天及医学仪器等领域。
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公开(公告)号：CN113985069A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111410209.1
申请日：2021-11-25
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本申请公开了一种动热源摆式全方位微机械加速度计及其加工方法，该加速度计包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位动热源摆加热器和四对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过六个完全对称的半圆形辐条悬置在敏感层的中心位置；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现加速度全方位的测量，灵敏度高，响应速度快，结构应力小、体积小、重量轻，可实现批量生产。同时它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，使得其与固体摆式微机械加速度计竞争中、低精度和低价格的微型加速度计市场成为可能。
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公开(公告)号：CN113405542A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110560713.3
申请日：2021-05-21
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本申请公开了一种单热源全桥式z轴薄膜陀螺及其加工方法，该z轴薄膜陀螺包括敏感层和盖板，其中所述敏感层的上表面设置有一加热器和四个热敏电阻；加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。本发明中四个热敏电阻构成等臂电桥，四个桥臂作为工作臂均参与敏感热气流的偏转，灵敏度是单一工作臂的四倍，大大提高了陀螺灵敏度。
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公开(公告)号：CN111595320A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010584668.0
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种“十”字型推挽流微机械双轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“十”字型结构的四对加热器和四根热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“十”字型凹槽；一对加热器和一根热敏电阻构成一个测量单元；四对加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明提出的基于热膨胀流的MEMS陀螺，形成“十”字型分布的推挽式的热流，这种推挽式热流流速大、气流状态稳定，陀螺灵敏度高，稳定性好，可实现空间双轴角速度的同时测量，具有很高的集成度，且体积小、功耗低、成本低。
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