一种微型快速响应孔状上电极平行板电容式湿敏元件

    公开(公告)号:CN104931546A

    公开(公告)日:2015-09-23

    申请号:CN201510329286.2

    申请日:2015-06-15

    Abstract: 本发明公开了一种微型快速响应孔状上电极平行板电容式湿敏元件,由上至下分别为孔状上电极、PI感湿膜、平板下电极、SiO2绝缘层和Si基底,其中,上电极设有若干排列整齐的上电极孔,PI感湿膜上设有下电极引线孔。制作时,首先清洗硅片,硅片氧化形成绝缘层,蒸镀下电极,下电极涂覆聚酰亚胺酸、亚胺化,蒸镀上电极,上电极孔状图形磷酸刻蚀,使用磷酸刻蚀电极、等离子刻蚀感湿膜形成划片道,使用等离子刻蚀感湿膜形成下电极引线孔,最后切片、氩焊、封装。本发明的有益效果是相同条件下,孔状上电极湿敏元件与栅状上电极相比,响应时间可得到最大程度的改善。

    一种快速响应孔状上电极和感湿膜平行板电容式湿敏元件

    公开(公告)号:CN104914139A

    公开(公告)日:2015-09-16

    申请号:CN201510335339.1

    申请日:2015-06-15

    Abstract: 本发明公开了一种快速响应孔状上电极和感湿膜平行板电容式湿敏元件,由上至下分别为孔状上电极、孔状PI感湿膜、平板下电极、SiO2绝缘层和Si基底,其中,孔状上电极设有若干排列整齐的上电极孔,孔状PI感湿膜上设有若干排列整齐的感湿膜孔,PI感湿膜设有2个下电极引线孔,用于氩焊下电极引线。首先清洗硅片,硅片氧化形成绝缘层,蒸镀下电极,下电极涂覆聚酰亚胺酸、亚胺化,蒸镀上电极,上电极孔状图形磷酸刻蚀,感湿膜孔状图形等离子刻蚀,使用磷酸刻蚀上电极、等离子刻蚀感湿膜形成划片道,刻蚀PI感湿膜形成下电极引线孔,最后切片、氩焊、封装。本发明的有益效果是响应时间可得到最大程度的改善。

    湿度传感元件动态响应特性标定测量系统及测量方法

    公开(公告)号:CN101949747A

    公开(公告)日:2011-01-19

    申请号:CN201010272928.7

    申请日:2010-09-03

    Abstract: 湿度传感元件动态响应特性标定测量系统及测量方法,测量系统包括恒温水浴箱体、温度及电源控制箱、计算机和数字电桥,计算机分别与温度及电源控制箱和数字电桥相连接,恒温水浴箱体内设置有加热装置、高-低湿度发生器和温度传感器,温度及电源控制箱分别与湿度发生器、加热装置和温度传感器电连接;测量湿度传感元件在不同湿度条件下的静态电容值,并据此计算出不同百分数幅值对应的电容值,测量湿度切换过程中湿度传感元件的动态电容值,将该动态电容值与不同百分数幅值对应的电容值进行比对,得出不同湿度变化幅值下的动态响应时间。本发明标定测量系统能实现不同湿度环境之间的快速切换,切换时间250~300ms,操作简单,结果精确。

    椭圆管管翅式换热器流线型等波幅波纹翅片

    公开(公告)号:CN104142086B

    公开(公告)日:2016-05-18

    申请号:CN201410375532.3

    申请日:2014-08-01

    Abstract: 一种椭圆管管翅式换热器的流线型等波幅波纹翅片。在翅片1上按照既定流线走向从气流入口到出口冲压出凸凹相间的流线型凸波纹4和流线型凹波纹5,同一条凸波纹4的波峰连线为既定流线;同一条凹波纹5的波谷连线为既定流线,其流线是翅片1所对应管翅式换热器翅片侧通道沿管轴向中心截面上管尾不出现回流的流线。波纹横截面可以是任何形状。所有波纹的波幅相同,且是翅片间距的0.1—0.9倍。流线型凸波纹4、凹波纹5的数目依据波纹区域边界8的流函数值确定,且分别关于管孔2的纵横中心线对称分布。流线型凸凹波纹不仅增加了翅片面积,减小了传热热阻,而且当流体流经流线型波纹翅片时,通过翅片表面流线型凸凹波纹连续不断的引导,部分流体沿着既定的流线流动,减小了流动阻力,提高了翅片的换热能力。

    椭圆管管翅式换热器流线型等波幅折线形波纹翅片

    公开(公告)号:CN104132573B

    公开(公告)日:2016-05-18

    申请号:CN201410373831.3

    申请日:2014-08-01

    Abstract: 一种椭圆管管翅式换热器流线型等波幅折线形波纹翅片。在翅片1上按照既定流线走向从气流入口到出口连续冲压出凸凹相间的流线型折线形凸波纹4和折线形凹波纹5。所有波纹的波幅相同,且是翅片间距的0.1-0.9倍。所述既定流线是翅片1所对应管翅式换热器翅片侧通道沿管轴向中心截面上管尾不出现回流的流线。波纹区域边界8也是既定流线,且在冲压前翅片中心面O-O上,可依据流函数值确定。折线形凸波纹4、折线形凹波纹5的数目依据波纹区域边界8的流函数值确定。折线形凸/凹波纹4和5分别关于椭圆管孔2的纵横中心线对称分布。当流体流经流线型折线形波纹翅片时,部分流体沿着折线形凸波纹4和折线形凹波纹5形成的流线型通道流动,减小了流动阻力,提高了翅片的换热能力。

    圆管管翅式换热器流线型变波幅抛物形波纹翅片

    公开(公告)号:CN104142085B

    公开(公告)日:2016-04-06

    申请号:CN201410373872.2

    申请日:2014-08-01

    Abstract: 一种圆管管翅式换热器流线型变波幅抛物形波纹翅片。在翅片(1)上按照既定流线走向从气流入口到出口冲压出凸凹相间的流线型抛物形凸波纹(4)和流线型抛物形凹波纹(5),同一条流线型抛物形凸波纹(4)的波峰连线为既定流线;同一条流线型抛物形凹波纹(5)的波谷连线为既定流线。其既定流线是翅片(1)所对应管翅式换热器翅片侧通道内沿管轴向中心截面上管尾不出现回流的流线。流线型抛物形凸波纹(4)和流线型抛物形凹波纹(5)波纹波幅沿纵向按波形(16)变化;横向不同波纹的波幅以波形(17)包络波纹谷峰变化。流线型抛物形凸波纹(4)、流线型抛物形凹波纹(5)的最大波幅为翅片间距的0.1-0.9倍。当流体在流线型抛物形波纹翅片之间流动时部分流体在抛物形凸凹波纹形成的流线型通道内流动,减小了流动阻力,提高了翅片的换热能力。

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