公开(公告)号：CN104931546A

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：CN201510329286.2

申请日：2015-06-15

Applicant: 兰州交通大学

Inventor： 周文和 ,  王良璧 ,  李耀亮 ,  许凤 ,  李建霞 ,  王良成 ,  何炫 ,  成红娟

IPC: G01N27/22

Abstract: 本发明公开了一种微型快速响应孔状上电极平行板电容式湿敏元件，由上至下分别为孔状上电极、PI感湿膜、平板下电极、SiO2绝缘层和Si基底，其中，上电极设有若干排列整齐的上电极孔，PI感湿膜上设有下电极引线孔。制作时，首先清洗硅片，硅片氧化形成绝缘层，蒸镀下电极，下电极涂覆聚酰亚胺酸、亚胺化，蒸镀上电极，上电极孔状图形磷酸刻蚀，使用磷酸刻蚀电极、等离子刻蚀感湿膜形成划片道，使用等离子刻蚀感湿膜形成下电极引线孔，最后切片、氩焊、封装。本发明的有益效果是相同条件下，孔状上电极湿敏元件与栅状上电极相比，响应时间可得到最大程度的改善。

公开(公告)号：CN205067412U

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201520417725.0

申请日：2015-06-15

Applicant: 兰州交通大学

Inventor： 周文和 ,  王良璧 ,  李耀亮 ,  许凤 ,  李建霞 ,  王良成 ,  何炫 ,  成红娟

IPC: G01N27/22

Abstract: 本实用新型公开了一种微型快速响应孔状上电极平行板电容式湿敏元件，由上至下分别为孔状上电极、PI感湿膜、平板下电极、SiO2绝缘层和Si基底，其中，上电极设有若干排列整齐的上电极孔，PI感湿膜上设有2个下电极引线孔。制作时，首先清洗硅片，硅片氧化形成绝缘层，蒸镀下电极，下电极涂覆聚酰亚胺酸、亚胺化，蒸镀上电极，上电极孔状图形磷酸刻蚀，使用磷酸刻蚀电极、等离子刻蚀感湿膜形成划片道，使用等离子刻蚀感湿膜形成下电极引线孔，最后切片、氩焊、封装。本实用新型的有益效果是相同条件下，孔状上电极湿敏元件与栅状上电极相比，响应时间可得到最大程度的改善。