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公开(公告)号：CN103144012A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201210599155.2
申请日：2012-11-15
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: B24B37/042 , B24B37/044 , B24B37/24 , B24D3/28
Abstract: 通过送入浆料和使用抛光衬垫抛光基板表面来制造基板。抛光衬垫具有与基板表面相接触的多孔拉毛层，拉毛层由基础树脂制成，基础树脂包括至少三种树脂，一般是醚类树脂，酯类树脂和聚碳酸酯树酯。抛光基板具有非常平的表面和最小的缺陷数。
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公开(公告)号：CN108376673B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN201810093784.5
申请日：2018-01-31
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及合成石英玻璃盖前体、合成石英玻璃盖及其制备方法。通过以下方法制备用于光学器件封装的合成石英玻璃盖：配置包括合成石英玻璃基底(1)和金属膜或金属化合物膜(2)的合成石英玻璃盖前体，和在金属膜或金属化合物膜(2)上形成金属系粘结层(3)。该金属膜或金属化合物膜含有Ag、Bi和选自P、Sb、Sn和In中的至少一种元素。
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公开(公告)号：CN115685667A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202210856517.5
申请日：2022-07-20
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及掩模坯料基板及其制造方法。掩模坯料基板，当在以下情况下时，具有100nm或更小的计算表面的平坦度：设置穿过第一和第二主表面的中心部分并在水平方向上延伸的计算区域，切割出第一区域表面，通过设置基准平面和旋转轴并将基板旋转180°切割出第二区域表面，计算最小二乘平面，将第一和第二区域表面转化成最小二乘平面上位置的高度图，通过对称地移动所述高度图将第二区域表面的高度图设置为倒置高度图，和将通过第一区域表面的高度图的高度和第二区域表面的倒置高度图相加而获得的计算高度图设置为所述计算表面。
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公开(公告)号：CN107775484B
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201710738241.X
申请日：2017-08-25
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: B24B9/10
Abstract: 本发明涉及方形玻璃基板及其制造方法。本发明提供一种方形玻璃基板，是具有表面、背面、4个侧面、和在表面与各侧面以及背面与各侧面之间分别形成了的8个倒角面的方形玻璃基板，在表面与该表面侧的倒角面之间的棱线部具有使表面朝上水平地载置时从该表面到50μm下方的位置的平均梯度为25％以下的第一曲面，并且在侧面与上述表面侧的倒角面之间的棱线部具有使该侧面朝上水平地载置时从该侧面到50μm下方的位置的平均梯度为30％以上的第二曲面，并且板厚为6mm以上。采用本发明的方形玻璃基板，无论清洗方式如何，都能够抑制清洗后的亚微米尺寸的表面污染，抑制制造成品率的降低。
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公开(公告)号：CN112673485A
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN201980060164.4
申请日：2019-09-02
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 光学元件封装用盖，是具备窗材和金属系粘接层的光学元件封装用盖，所述窗材设置在内部容纳有光学元件的容纳构件的光学元件的发光方向前方，所述金属系粘接层形成在窗材与容纳构件相接的部分，所述金属系粘接层用包含采用被覆剂被覆的金属纳米粒子、焊料粉末和分散介质的粘接组合物形成。能够解决短波长的光引起的劣化和开裂、发光元件的发热引起的粘接剂的变形或坍塌、与这些相伴的长期可靠性的问题。即，能够提供耐热性、耐紫外线性等优异的光学元件封装用盖及光学元件封装件。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105300663B
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201510320670.6
申请日：2015-06-12
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 合成石英玻璃衬底，其通过以下制备：提供合成石英玻璃砖；用液体涂覆所述砖的任意表面和相对表面，所述液体在双折射测量的波长下具有至少99.0％/mm的透射率；通过使光进入一个经涂覆的表面并离开另一经涂覆的表面测量所述砖的双折射，和基于所测量的双折射值，将所述砖分类为可接受的组或不可接受的组。
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公开(公告)号：CN103240665B
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201310088370.0
申请日：2013-02-01
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: B24B1/00 , B24B37/044 , C09G1/02
Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃衬底的制造方法。使用含有四方或立方氧化锆的抛光浆料将起始合成石英玻璃衬底的粗糙表面抛光至镜面光洁度。
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公开(公告)号：CN106141918A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201610317737.5
申请日：2016-05-13
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及基板的制备方法。本发明提出基板的制备方法、特别是合成石英玻璃的基板的制备方法，同时使基板表面免于致命性缺陷而没有采取任何大规模装置和精密抛光板，由此与用常规设施制备相比，进一步减少缺陷和改善收率。通过抛光制备基板的方法，包括如下步骤：将基板原料各自放入下抛光板上的载体中形成的加工孔中；使上抛光板接触所述基板原料的表面，所述基板原料的表面涂覆有冲击吸收液并且使所述下抛光板旋转；和使所述上抛光板和下抛光板旋转，所述基板原料的表面伴有抛光浆料。
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公开(公告)号：CN102096311B
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：CN201010582088.4
申请日：2010-12-10
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: G03F1/60 , H01L21/027
CPC classification number: G03F1/60 , G03F1/14 , Y10T428/24488
Abstract: 提供了一种形成光掩模的玻璃基板，其具有方形主表面，其中在该主表面上限定两个条带区域，使得每一区域跨展在侧边内2mm至10mm之间并且不包括从该侧边的相对的端部向内延伸2mm的端部部分，对两个条带区域中的每一个计算最小二乘平面，两个条带区域的最小二乘平面的法线之间包括的角度在10秒内，并且两个条带区域之间高度差为直至0.5μm。
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