公开(公告)号：CN114911140A

公开(公告)日：2022-08-16

申请号：CN202210113166.9

申请日：2022-01-30

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 箕田贤 ,  小林大辅

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及照明光学系统、曝光装置以及物品的制造方法。提供一种对被照明面进行照明的照明光学系统，其特征在于，具有：光学积分器，利用来自光源的光形成2次光源；以及变形透镜，所述光学积分器包括：入射侧光学元件，排列有多个第1光学元素；以及射出侧光学元件，包括与所述多个第1光学元素中的每一个对应地排列的多个第2光学元素，所述变形透镜配置于所述入射侧光学元件与所述射出侧光学元件之间。

公开(公告)号：CN109426097B

公开(公告)日：2021-09-03

申请号：CN201810983842.1

申请日：2018-08-28

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 小林大辅 ,  中村有志

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及曝光装置、调整方法和物品制造方法。提供一种曝光装置。装置中的照明光学系统包含衍射光学元件、会聚光学系统、检测从会聚光学系统出射的光束的检测器、以及能够在光路中在会聚光学系统会聚光束的预先确定的面附近的位置被插入/去除的第一光阑。第一光阑具有开口直径，使得当来自光源的光在衍射光学元件上的入射角度偏离目标角度时检测器的输出减小。基于第一光阑被插入到所述位置中时的检测器的输出和第一光阑从所述位置缩回时的检测器的输出，控制器执行调整入射角度的处理。