一种高质量MIS结构的GaN基场效应晶体管及其制备方法

    公开(公告)号:CN105336789A

    公开(公告)日:2016-02-17

    申请号:CN201510715034.3

    申请日:2015-10-29

    Applicant: 中山大学

    Inventor: 刘扬 何亮 杨帆

    CPC classification number: H01L29/7801 H01L29/66477

    Abstract: 本发明涉及半导体材料器件领域,公开了一种高质量MIS结构的GaN基场效应晶体管结构及其制备方法。具体涉及GaN MISFET器件栅极介质层及其与GaN界面的改进方法,该器件包括衬底及生长在衬底上的外延层以及栅极、源极、漏极、绝缘层。所述外延层包括一次外延生长的应力缓冲层及GaN外延层,以及其上的选择区域生长的二次外延层和三次外延层,二次外延生长GaN/AlGaN异质结构并形成凹槽沟道,三次外延AlN薄层。AlN薄层部分氧化形成AlN/氧化物介质层堆叠结构。栅极金属覆盖于凹槽沟道处,两端形成源极和漏极区域并覆盖金属形成源极和漏极。本发明器件结构和制备工艺简单可靠,能形成高质量的MIS栅极结构,提高GaN MISFET器件的性能,尤其是对栅极漏电的降低、沟道电阻的降低以及阈值电压稳定性问题的改善是十分关键的。

    一种横向导通的GaN常关型MISFET器件及其制作方法

    公开(公告)号:CN104638010A

    公开(公告)日:2015-05-20

    申请号:CN201510029547.9

    申请日:2015-01-21

    Applicant: 中山大学

    Abstract: 本发明涉及一种横向导通的GaN常关型MISFET器件,该器件包括衬底及生长在衬底上的外延层以及栅极、源极、漏极、绝缘层。所述外延层包括一次外延生长的应力缓冲层及GaN外延层,以及其上的选择区域生长的二次外延层,所述二次外延层自下至上为杂质过滤层、非掺杂外延GaN层和异质结构势垒层,二次外延生长形成凹槽沟道,凹槽沟道和异质结构势垒层的表面覆盖绝缘层,栅极覆盖于绝缘层上的凹槽沟道处,刻蚀绝缘层两端形成源极和漏极区域,源极和漏极区域处蒸镀金属形成与异质结构势垒层欧姆接触的源极和漏极。本发明器件结构简单,工艺重复性和可靠性高,能有效抑制二次生长界面处杂质向二次外延层扩散,从而有效降低二次生长的异质结构沟道中2DEG的杂质散射,提高其迁移率,降低了器件导通电阻,使器件获得高输出电流密度和高开关比。

    纵向导通的GaN常关型MISFET器件及其制作方法

    公开(公告)号:CN102332469A

    公开(公告)日:2012-01-25

    申请号:CN201110282654.4

    申请日:2011-09-22

    Applicant: 中山大学

    Inventor: 刘扬 杨帆 张佰君

    Abstract: 本发明公开一种纵向导通的GaN常关型MISFET器件及其制作方法,该器件由下往上依次包括衬底(1)、n型GaN层(2),电子阻挡层(3)、非掺杂GaN层(4)及异质结构势垒层(5),由异质结构势垒层表面刻蚀凹槽至n型GaN层内,凹槽上二次生长p型GaN层实现栅极导电沟道(7),异质结构势垒层两端形成源极(9),栅极导电沟道和异质结构势垒层裸露的表面覆盖绝缘层(8),绝缘层上的沟道位置处覆盖栅极(11),衬底底面覆盖漏极(10)。本发明利用具有高度浓度二维电子气异质结构作为接入区,有效减低导通电阻;在刻蚀凹槽中二次生长薄层P型GaN层,易于提高纵向导通常关型MISFET的阈值电压和沟道迁移率。

    一种风电桩基调平装置及调平方法

    公开(公告)号:CN119824966A

    公开(公告)日:2025-04-15

    申请号:CN202510129443.9

    申请日:2025-02-05

    Applicant: 中山大学

    Abstract: 本发明提供一种风电桩基调平装置及调平方法,其中风电桩基调平装置包括布设在风电桩基周围的若干伸缩锚固件;所述伸缩锚固件用于支撑和调平风电桩基,其包括伸缩组件和锚头,所述伸缩组件用于调整伸缩锚固件的长度,其一端与风电桩基连接,另一端与锚头连接,所述锚头用于与地面固定连接。本发明能够提高风电桩基的水平和竖向承载力,并实现风电桩基的调平。

    一种应用于悬跨海缆的动态保护装置

    公开(公告)号:CN119726520A

    公开(公告)日:2025-03-28

    申请号:CN202510041552.5

    申请日:2025-01-10

    Applicant: 中山大学

    Abstract: 本发明涉及海缆保护装置技术领域,尤其涉及一种应用于悬跨海缆的动态保护装置,其包括多个保护单元,多个保护单元用于套设在海缆的外侧并沿所述海缆的延伸方向依次排布,相邻的保护单元按角度变化呈错位排布,加强导流效果,保护单元包括由外向内依次设置的外护部、分流部和海缆夹套,外护部、分流部和海缆夹套同轴设置,分流部呈中空结构,分流部的外侧与外护部铰接,分流部的内侧与海缆夹套连接,海缆夹套用于套设在海缆上;该装置通过中空的分流部分流以及导流槽分流,实现多层级消减分流,大大减少来流强度,可适应性强;分流部的外侧与外护部铰接,利用外护部的随流摆动,破坏尾流漩涡的形成,达到抑制涡激振动的效果,从而保护海缆。

    海缆保护装置及其安装方法
    26.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119627776A

    公开(公告)日:2025-03-14

    申请号:CN202411796484.5

    申请日:2024-12-09

    Applicant: 中山大学

    Abstract: 本发明公开了一种海缆保护装置及其安装方法,所述装置包括多个嵌套连接的护筒组件;单个护筒组件包括套筒、连接在套筒两端的嵌套连接结构和置于套筒外表面的环形导流结构,各套筒、嵌套连接结构均为中空结构且用于海缆沿轴向穿过;各嵌套连接结构包括母端和子端,连接同一套筒的母端、子端分别用于与连接不同套筒的对应子端、母端嵌套连接;各母端由两个对称的半球型母端单元组成,各子端由两个对称的半球型子端单元组成;各环形导流结构包括环形底座和多个带有间隔凸起的导流板,环形底座套在对应的套筒外表面,各导流板固定在环形底座上的相应区域,所述环形底座为可开合的结构。本发明旨在实现海缆的防弯曲保护。

    一种风机综合防护装置及其施工方法

    公开(公告)号:CN119221529A

    公开(公告)日:2024-12-31

    申请号:CN202411436376.7

    申请日:2024-10-15

    Applicant: 中山大学

    Abstract: 本发明提供一种风机综合防护装置及其施工方法,其中风机综合防护装置包括设置在风机基础上的防撞装置和防冲刷装置,所述防撞装置与防冲刷装置连接;所述防撞装置包括第一固定圈和多个防撞件,所述第一固定圈套设在风机基础上,多个所述防撞件设置在第一固定圈上;所述防冲刷装置为锥形结构,其包括第二固定圈、铺设于锥体侧面的锥面轮胎结构和平铺于锥体底面的平铺轮胎结构,所述锥面轮胎结构一端与第二固定圈连接,另一端与平铺轮胎结构抵接。本发明具有防撞和防冲刷功能,能够实现风机的一体化综合防护。

    海缆保护装置
    29.
    发明公开
    海缆保护装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN118523222A

    公开(公告)日:2024-08-20

    申请号:CN202410707984.0

    申请日:2024-06-03

    Applicant: 中山大学

    Abstract: 本发明公开了一种海缆保护装置,属于海缆保护技术领域,该海缆保护装置的一端与桩基固定连接,海缆保护装置的另一端埋入海床内,海缆保护装置包括多个保护套件和多个连接件,多个保护套件套设于海缆的外侧并沿海缆的延伸方向依次排布连接件连接于相邻的两个所述保护套件之间,连接件具有解锁状态和锁止状态,与解锁状态下相连的两个保护套件转动连接,与锁止状态下相连的两个保护套件固定连接。本发明技术方案能够减轻海缆在海床上部的负荷与加强海缆保护装置两端固定以及能够根据海缆安装后的形状对海缆保护装置的形状进行相应的调整。

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