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公开(公告)号：CN110628599A
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201910996528.1
申请日：2019-10-19
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: C12M1/34 , C12Q1/6869
Abstract: 本发明提供一种拉曼光谱法生物分子测序系统，包括纳米孔装置、激光拉曼显微镜、光谱测量装置和数据采集分析装置，纳米孔装置位于激光拉曼显微镜下方；纳米孔装置主要包括纳米孔腔、纳米孔；纳米孔是纳米孔腔的一端开口，纳米孔腔呈缩小腔体向纳米孔延伸；光栅，光栅围绕纳米孔腔；金属层，以缩小纳米孔尺寸至1～100nm；待测生物分子通过纳米孔时，激光拉曼显微镜向生物分子发射激光，产生拉曼光谱信号，光谱测量装置测量出数据，数据采集分析装置分析输出结果。本发明使用表面增强拉曼光谱的检测策略，具有技术效果可实现亚纳米空间分辨率的检测；提供分子特异性指纹信息的振动光谱，各碱基光谱信号不重叠，具有优异的区分度和化学灵敏度。
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公开(公告)号：CN110628598A
公开(公告)日：2019-12-31
申请号：CN201910996512.0
申请日：2019-10-19
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: C12M1/34
Abstract: 本发明提供一种模块化组装的纳米孔装置，包括壳体、流体腔密封层、柔性基底纳米孔结构、流体腔基座，柔性基底纳米孔结构包括第一流道对准标记和第一模块对准标记；流体腔基座包括第二流道对准标记和第二模块对准标记；流体腔密封层包括第三模块对准标记；第一流道对准标记和第二流道对准标记用于所述液体流道和所述流道开口密封件的对准装配，以使液体流道和流道开口密封件实现快速对准和密封；各模块对准标记上下对准以实现各模块上下对准装配。本装置灵活组装，简化维修和部件更替手续，实现用户自助维修和部件更换，节约时间成本，可实现多场景的测序和检测应用，每个模块可分别储存备用，需要时可以快速组装和测量，大大提高灵活性与便携性。
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公开(公告)号：CN116960209A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202210411524.4
申请日：2022-04-19
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司 , 上海精测半导体技术有限公司
IPC: H01L31/105
Abstract: 本发明提供一种超浅结深低能量电子探测器，电子探测器包括：硅衬底，其包含相对的第一面和第二面；超浅结深的P型掺杂层，通过在硅衬底表面形成硼单质层后进行热扩散的方式形成于硅衬底的第一面，P型掺杂层的厚度介于3～10nm之间；N型掺杂层，形成于硅衬底的第二面；保护环结构，自P型掺杂层朝硅衬底延伸；阻挡层，形成于P型掺杂层上，阻挡层中形成有窗口，通过窗口定义电子探测器的探测区域；网格状电极，形成于探测区域中的P型掺杂层上。本发明可以有效解决电子探测器对低能量电子的探测问题，有效提高对低能量电子的探测效率。
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公开(公告)号：CN111229342B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202010054306.0
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本发明提供一种CMOS图像传感的光栅波导多微流道芯片的制造方法，包括提供CMOS图像传感层；在25‑150℃沉积温度下形成氮化硅材料的波导层；形成光栅波导组，包括光栅波导及出射光栅；形成第一数量的微流道，光栅波导组与微流道对应组成第一数量的微流体，形成微流体组；出射光栅位于微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道内。具有有益效果：形成光栅波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光栅波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片；减少实验中对收集光路调整等准备工作，提高检测系统的便携性。
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公开(公告)号：CN111250181A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010052676.0
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: B01L3/00 , H01L27/146
Abstract: 本发明提供一种基于CMOS图像传感的光波导多微流道芯片的制造方法，包括提供CMOS图像传感层，在所述CMOS图像传感层上形成下包层；在所述下包层上形成波导层；以所述波导层形成光波导；在所述波导层上形成上包层；所述光波导用以将光沿水平方向导入所述微流道内；所述微流道暴露出所述CMOS图像传感层。具有有益效果：形成光波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片；减少实验中对收集光路调整等准备工作，提高检测系统的便携性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111229339A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010053711.0
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本发明提供一种光栅波导微流体芯片的制造方法，包括提供衬底，在衬底上形成牺牲层，形成下包层；形成波导层；形成光栅波导，包括出射光栅；在波导层上形成保护层，用于覆盖光栅波导并保护出射光栅；在保护层上形成上包层；形成微流道，贯穿上包层以暴露出保护层；出射光栅位于微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入微流道内；去除牺牲层。具有有益效果：在柔性基底上沉积光学性能可调的氮化硅薄膜，扩展SiN光学器件材料的应用范围和形式，将传统光学系统通过集成光学或片上光学器件来实现，把传统的台式大型的光学系统缩小到芯片尺寸，保证出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。
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公开(公告)号：CN111229338A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010053316.2
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本发明提供一种基于CMOS图像传感的光波导微流体芯片的制造方法，包括。具有有益效果：在CMOS图像传感层和高分子聚合材料上低温沉积光学性能可调的氮化硅光波导，不破坏CMOS图像传感层，减少了实验中对收集光路调整等准备工作，提高了实验效率；提高了检测系统的便携性，大大增加了系统的应用场景。
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公开(公告)号：CN111229336A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010052674.1
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
Abstract: 本发明提供一种光波导多微流道芯片的制造方法，包括提供衬底，在所述衬底上形成厚度2-3μm二氧化硅的下包层；在下包层上形成波导层，波导层是氮化硅材料；以波导层形成光波导组，光波导组包括光波导；在波导层上形成厚度为15～30μm高分子聚合材料的上包层；形成微流道，光波导用以将光沿水平方向导入微流道内；微流道由上而下贯穿上包层、波导层和下包层延伸进衬底；微流道延伸进衬底10～15μm，微流道宽度为10-100μm。具有有益效果：形成光波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片。
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公开(公告)号：CN111157729A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN202010052491.X
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: G01N33/574 , G01N21/64 , G01N21/27 , B01L3/00
Abstract: 本发明提供一种基于CMOS图像传感的光波导微流体检测系统，包括：微流体芯片、光谱收集装置和分析装置；微流体芯片包括：光波导和微流道，光波导用以将光沿水平方向导入微流道内；微流体芯片还包括：依次由下而上设置的CMOS图像传感层、下包层、波导层、上包层和流道盖板，波导层是在25-150℃沉积温度下形成的氮化硅材料，波导层用以形成光波导；微流道由上而下贯穿上包层、波导层和下包层以暴露出CMOS图像传感层；微流道宽度为10-100μm。具有有益效果：在CMOS图像传感层和高分子聚合材料上低温沉积光学性能可调的氮化硅光波导，不破坏CMOS图像传感层，减少了实验中对收集光路调整等准备工作，提高了实验效率；提高了检测系统的便携性，大大增加了系统的应用场景。
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公开(公告)号：CN111157727A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN202010052275.5
申请日：2020-01-17
Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司
IPC: G01N33/574 , G01N21/64 , G01N21/25 , B01L3/00
Abstract: 本发明提供一种光波导多微流道检测系统，包括。具有有益效果：形成光波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片。
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