一种长效高渗透性水置换型缓蚀剂的简易制备方法

    公开(公告)号:CN106637230A

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201611112113.6

    申请日:2016-12-07

    CPC classification number: C23F11/10

    Abstract: 本发明提出一种长效高渗透性水置换型缓蚀剂的简易制备方法,首先按照质量百分比,量取10wt%的植物油、50wt%的D60溶剂油、10wt%的硅油和30wt%的苯乙烯;然后将植物油和D60溶剂油加入反应釜中搅拌均匀;随后将硅油和5ppm的铂催化剂加入反应釜中,升温至80℃,反应1h;再将反应釜升温至120℃,将苯乙烯滴加到反应釜中反应8h后降至室温并出料,制备缓蚀剂用高渗透性成膜树脂;将苯并咪唑硫醇、十二烷基硫酸钠与步骤4得到的树脂按质量比5:3:92混合搅拌均匀,过滤、出料后得到缓蚀剂。本发明提出一种长效高渗透性水置换型缓蚀剂的简易制备方法,通过化学键合的方法将缓蚀剂的各个组分连接起来,有效提高涂膜的内聚力,进而提高涂膜的使用期限。

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