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公开(公告)号：CN107160242A
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201710604702.4
申请日：2017-07-24
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B1/00
Abstract: 本发明提供了一种用于控制非球面元件全频段误差的加工方法涉及非球面元件加工技术领域。一种用于控制非球面元件全频段误差的加工方法，其包括磨削成型、保形抛光、修正抛光、匀滑抛光四个步骤。磨削成型：采用超精密磨削方法进行非球面元件的直接成型，同时将亚表面缺陷控制在较低水平；保形抛光：采用高稳定性、高去除效率的子口径抛光技术，实现非球面元件的快速保形抛亮，以去除亚表面缺陷；修正抛光：采用高稳定性的子口径抛光技术快速修正非球面元件低频误差；匀滑抛光：采用匀滑抛光技术，在低频误差不被恶化的情况下，控制非球面元件中高频误差。本发明加工方法的特点在于通过多种技术耦合实现非球面元件全频段误差控制。
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公开(公告)号：CN118585739A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202411062940.3
申请日：2024-08-05
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种子口径抛光分频段组合修形加工方法及装置，属于先进光学制造领域。方法包括：根据待加工元件的加工精度要求，从预先建立的去除函数库中选取用于加工的多个目标去除函数；获取多个目标去除函数的功率谱密度收敛率及功率谱密度收敛曲线；基于功率谱密度收敛曲线确定至少一个交叉频率作为分频频率，以将全频域分为多个频段；在各频段内选取功率谱密度收敛率大的目标去除函数作为加工去除函数对待加工元件进行修形加工。该方法解决了复杂构型表面局部误差难以精确修正的难题，为子口径抛光修形加工的加工参数选择提供了准确指导，避免了技术人员的经验干预，大幅提升了修形加工的加工精度和加工效率。
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公开(公告)号：CN113933029B
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202111205198.3
申请日：2021-10-15
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明适用于先进光学制造技术领域，提供了一种离轴非球面元件的加工检测系统和制造方法，加工检测系统包括翻转装置、加工装置和检测装置：所述翻转装置位于所述加工装置和所述检测装置之间，所述翻转装置的翻转轴线与所述检测装置的输出光路交叉设置；所述翻转装置包括驱动机构和支撑机构，所述驱动机构与所述支撑机构连接。本发明提供的离轴非球面元件的加工检测系统和制造方法，实现了加工检测一体化，具有避免时间损耗、加工精度高和效率高的优势。
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公开(公告)号：CN107626681B
公开(公告)日：2024-01-19
申请号：CN201711091216.3
申请日：2017-11-08
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明提供一种对晶体板条元件的超声清洗的装夹装置，包括四个角对称设置有垂直安装部位底座框架，在所述底座框架的垂直安装部位上左右两边对称位置各设置有横梁，所述横梁通过把手可沿其中心轴线旋转，在所述横梁上设置有V形槽口，在所述底座框架的垂直安装部位上端左右两边对称位置各设置有横板，在所述横板上设置有Y型定位销，所述Y型定位销通过定位螺钉限制其竖直位置，在所述底座框架的底部左右对称位置设置有与所述Y型定位销对应的Y型支撑架，所述横梁上的V形槽口用于限制元件的两侧，所述Y型定位销用于限制元件的上端，所述Y型支撑架用于支撑元件的下端。本发明可改善板
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公开(公告)号：CN114660804B
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202210355353.8
申请日：2022-04-06
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明适用于光学加工技术领域，提供了一种频域光学元件面形误差的计算方法、系统和介质，频域光学元件面形误差的计算方法，包括如下步骤：获取体积谱密度函数，所述体积谱密度函数为光学元件面形误差在各频率下所含残余误差材料体积的密度；通过在预设空间频段上对体积谱密度函数进行积分，得到光学元件在该预设空间频段下的面形误差体积。本发明提供的一种频域光学元件面形误差的计算方法、系统和介质具有效率高、精确度高的优势。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114662047A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210355359.5
申请日：2022-04-06
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明适用于光学加工技术领域，提供了一种去除函数误差修正能力表征方法、系统和介质，去除函数误差修正能力表征方法包括如下步骤：获取面形误差体积变化量和加工时间，所述面形误差体积变化量为预设空间频率下加工前后面形误差的体积差值；通过面形误差体积变化量和加工时间计算所述去除函数的有效去除速率谱。本发明提供的一种用于子口径抛光的去除函数误差修正能力表征方法、系统和介质能够实现去除函数空间频率误差修正能力的定量表征，为后续实现根据误差分布快速自动匹配最优的工艺参数奠定了基础。
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公开(公告)号：CN114425732B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202210355185.2
申请日：2022-04-06
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 发明适用于光学加工技术领域，提供了一种子口径加工工艺的自动优选方法、系统和介质，子口径加工工艺的自动优选方法包括如下步骤：获取不同去除函数的有效去除速率谱，所述有效去除速率谱为去除函数修正各空间频率误差体积的收敛速率；获取光学元件的体积谱密度函数，所述体积谱密度函数为光学元件的面形误差在各频率下所含残余误差材料体积的密度；通过所述有效去除速率谱和体积谱密度函数得到优选加工工艺。本发明提供的一种子口径加工工艺的自动优选方法、系统和介质具有加工效率高、生产成本低的优势。
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公开(公告)号：CN112959323B
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202110229969.6
申请日：2021-03-02
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明适用于机器人领域，提供了一种机器人运动误差在位检测与补偿方法及设备，其中，机器人运动误差在位检测方法包括如下步骤：基于标件的结构参数，生成目标运动轨迹；机器人使测量装置沿目标运动轨迹运动，在机器人使测量装置沿目标运动轨迹运动的过程中，通过测量装置检测得到机器人实际运动误差，将误差数据补偿到机器人运动轨迹中获得机器人补偿运动轨迹，进而抑制机器人运动误差，提升机器人运动精度。
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公开(公告)号：CN113076633A
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN202110311761.9
申请日：2021-03-23
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明适用于光学元件的匀滑技术领域，本发明在常见模型的基础上进行补充和修正，提出了一种适用于大口径光学元件复杂周期波纹误差匀滑的多参数匀滑方法，包括以下步骤：步骤H1：对光学元件进行子区域划分；步骤H2：计算各子区域初始波纹误差值RMS0；步骤H3：对光学元件进行预处理试验；步骤H4：得出ΔRMS与RMS曲线的拟合斜率k'；步骤H5：获得各子区域面形波纹收敛因子矩阵；步骤H6：获得各子区域中频误差预测曲线；步骤H7：获得各子区域的加工次数；其中，RMS表示元件表面波纹误差值，RMS0表示元件表面初始波纹误差值，ΔRMS表示经过单次匀滑加工后元件表面波纹误差的变化量。可以达到较为精确的理论预测效果，为后续工艺指导提供定量化支持。
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公开(公告)号：CN111496580A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010336919.3
申请日：2020-04-24
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本申请提供一种大口径非球面光学元件多机协同加工系统及方法。多机协同加工系统包括机器人本体及其控制器、抛光工具、工作台、抛光液供给系统和编程仿真测试系统。本发明公开一种多机协同加工方法，通过控制指令实现多台机器人带动抛光工具按照规划路径抛光工件，并确保设备间保持安全间隔，实现多台机器人对一件大口径非球面光学元件进行协同作业。本发明具有自动化程度高、高效率、高适应性、安全稳定等特点，大大降低了工人的劳动强度，提高了大口径非球面光学元件加工效率。
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