一种真空闪蒸系统及真空闪蒸方法

    公开(公告)号:CN113915971A

    公开(公告)日:2022-01-11

    申请号:CN202111497140.0

    申请日:2021-12-09

    Abstract: 本申请提供一种真空闪蒸系统及真空闪蒸方法,包括:工艺腔室和至少一个预抽腔室,工艺腔室用于放置待闪蒸基片,工艺腔室和预抽腔室相互连接,工艺腔室和预抽腔室的连接口处具有真空阀门,预抽腔室的气压值低于工艺腔室的气压值,预抽腔室的体积大于工艺腔室的体积,当真空阀门处于打开状态时,工艺腔室和预抽腔室连通,由于预抽腔室的体积大于工艺腔室且预抽腔室的气压小于工艺腔室,工艺腔室的气压值迅速降低,相较于将待闪蒸基片先放入工艺腔室,再抽真空去除溶剂的长耗时而言,利用已经预先抽好真空的预抽腔室,能够缩短工艺腔室中气压值的降低时间,以缩短去除膜层中残留溶剂的时间,提升残留溶剂去除效果,降低半导体器件制造成本。

    一种双面钙钛矿太阳能电池及其制备方法

    公开(公告)号:CN114744130A

    公开(公告)日:2022-07-12

    申请号:CN202210338572.5

    申请日:2022-04-01

    Abstract: 本发明涉及太阳能电池技术领域,尤其涉及一种双面钙钛矿太阳能电池及其制备方法。所述制备方法包括:a)在玻璃的两面溅射沉积氧化铟锡,形成双面导电基底;b)在双面导电基底的两面溅射沉积第一电荷传输层;c)将得到的复合层组以三步特定的速率浸入钙钛矿前驱体溶液中,浸泡;d)将浸泡后的复合层组采用平面托举从钙钛矿前驱体溶液中托举出来,退火,在所述复合层组的两面形成钙钛矿活性层;托举过程以三步特定的速率上升;e)在所述钙钛矿活性层的表面溅射沉积第二电荷传输层后,退火;f)在得到的第二电荷传输层的表面溅射沉积导电电极,得到双面钙钛矿太阳能电池。所述双面钙钛矿太阳能电池厚度均一性较优,发电功率较高且节约成本。

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