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公开(公告)号：CN209747468U
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201920567227.2
申请日：2019-04-24
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 本实用新型的目的在于提供一种液体处理装置，其包括：保持机构；旋转机构；药液供给机构；排液杯；排液配管，其设置在排液杯的底部，并将由排液杯挡住的处理后的药液排出；回收机构，其设置在排液配管，并将从排液杯排出的处理后的药液回收以供再次利用；切换机构，其设置在回收机构的分支部分附近，并在将处理后的药液经由排液配管废弃的废弃侧以及通过回收机构回收的回收侧之间进行切换；以及控制部，其与旋转机构、药液供给机构、以及切换机构连接，并控制旋转机构、药液供给机构、以及切换机构。
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