光固性液态组合物、固化物、及固化物的制造方法

    公开(公告)号:CN114686025A

    公开(公告)日:2022-07-01

    申请号:CN202111611272.1

    申请日:2021-12-27

    Abstract: 本发明涉及光固性液态组合物、固化物、及固化物的制造方法,提供能够形成高折射率的固化物的光固性液态组合物、上述光固性液态组合物的固化物、和使用上述光固性液态组合物的固化物的制造方法。使用包含具有烯键式不饱和双键的光聚合性单体(A)、金属氧化物纳米粒子(B)、和光聚合引发剂(C)的光固性液态组合物。光固性液态组合物优选包含特定结构的化合物作为增塑剂(D)。另外,光固性液态组合物优选包含特定结构的含硫(甲基)丙烯酸酯(A01)作为光聚合性单体(A)。

    金属氧化物膜形成用涂布剂及具有金属氧化物膜的基体的制造方法

    公开(公告)号:CN108884574B

    公开(公告)日:2022-10-14

    申请号:CN201780021865.8

    申请日:2017-03-29

    Abstract: 本发明提供含有与N,N‑二甲基乙酰胺(DMA)、N‑甲基吡咯烷酮(NMP)不同的有机溶剂、且保形涂布性优异的金属氧化物膜形成用涂布剂及具有金属氧化物膜的基体的制造方法。金属氧化物膜形成用涂布剂,其含有溶剂和金属,溶剂含有下述的式(1)表示的化合物(A)。式(1)中,R1及R2各自独立地为碳原子数1~3的烷基,R3为下式(1‑1)或下式(1‑2)表示的基团。式(1‑1)中,R4为氢原子或羟基,R5及R6各自独立地为碳原子数1~3的烷基。式(1‑2)中,R7及R8各自独立地为氢原子、或碳原子数1~3的烷基。

    光刻用显影液及抗蚀图案形成方法

    公开(公告)号:CN106019862A

    公开(公告)日:2016-10-12

    申请号:CN201610186764.3

    申请日:2016-03-29

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种抑制迁移或基板、布线的表面氧化的效果优异的光刻用显影液及抗蚀图案形成方法。本发明的解决手段为一种光刻用显影液,所述光刻用显影液含有(A)下述通式(1)表示的咪唑化合物和(B)水及/或有机溶剂。式(1)中,R1为氢原子或烷基,R2为可以具有取代基的芳香族基,R3为可以具有取代基的亚烷基,R4各自独立地为卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、磺酸盐/酯基、膦基、氧膦基、膦酸盐/酯基、或有机基团,n为0~3的整数。

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