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公开(公告)号：CN103301998A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310066873.8
申请日：2013-03-04
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，对被输送的基板进行涂布，通过简单的结构提高由传感器测量的喷嘴的宽度方向两端部的高度位置的测量精度，该涂布装置，包括：输送机构部（2），将基板（W）向水平的输送方向输送；涂布机构部（3），包括喷嘴（30），所述喷嘴在宽度方向上较长且与被输送的基板相对应；传感器（7），为了调节相对于水平面的喷嘴的姿势而测量该喷嘴的宽度方向两端部（35）的高度位置；其中，输送机构部包括：轨道（21），向输送方向延伸；基座部件（23），沿着该轨道移动；吸附机构（25），搭载于所述基座部件上，在输送基板时支撑基板的宽度方向两端部（E），传感器与吸附机构一同搭载于基座部件上。
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公开(公告)号：CN103128034A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201210434598.6
申请日：2012-11-05
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，即使基板输送路径向一个方向连续延伸也能够容易地更换管头部，该装置包括：向一个方向延伸的基板输送路径；在使基板以与基板输送路径面对的状态下沿基板输送路径的延伸方向输送基板的基板输送部；管头部以与基板输送路径相对而置的状态被固定设置的涂布单元；且进一步包括用于载置管头部、并能够向与安装在涂布单元的管头部相对而置的管头接收位置和更换管头部的管头更换位置移动的管头移载单元；其中，基板输送路径包括作业空间形成部，通过该作业空间形成部形成去除一部分基板输送路径的用于更换管头部的作业空间，管头更换位置设定在作业空间形成部中能够进行管头部的更换作业的范围内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103112719A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201210405499.5
申请日：2012-10-23
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种浮起输送装置，对基板输送所伴随的浮起环境变化能够迅速响应，并且能够将基板以规定的浮起高度输送，该装置包括：浮起平台(10)，具有在基板的输送方向上排列有多个喷出口(11)和多个吸引口(12)的表面；吸引力供给装置(30)；主配管(13)，与吸引力供给装置连通；分歧配管(15)，与主配管连通，并且与各个吸引口连通；压差阻尼器(20)，设置在主配管的中途部分，其中，压差阻尼器具有连通主配管内部和外部气体的路径的多歧管(21)以及阻断该路径的阀(22)，阀通过主配管内外气体之间的压差对该阀施加的外力进行开启和关闭的动作，并通过响应压差变化阀进行动作而其开启度发生变化，由此保持规定的压差。
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公开(公告)号：CN101428264B
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN200810174564.1
申请日：2008-11-10
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 一种即使在基板往工作台上固定需要时间的情况下也能够抑制涂敷装置整体的作业周期长期化的涂敷装置及涂敷方法。这种涂敷装置的涂敷方法包括在工作台的表面载置基板的基板载置工序、在载置于工作台的表面的基板上形成初始膜的初始膜形成工序和从涂敷单元喷出涂敷液且在基板上形成涂敷膜的涂敷膜形成工序，基板载置工序具有在工作台的表面吸附基板的吸附工序，该吸附工序包括初始吸附工序和主要吸附工序，初始吸附工序是吸附包括涂敷开始位置的基板的初始膜形成区域，主要吸附工序是吸附除了初始膜形成区域以外的基板的涂敷膜形成区域，在结束初始吸附工序后、结束主要吸附工序前，开始初始膜形成工序。
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公开(公告)号：CN101518769A
公开(公告)日：2009-09-02
申请号：CN200910006827.2
申请日：2009-02-27
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种通过迅速产生吸附基板的吸引力而缩短吸附时间，从而能够提高涂敷装置整体的生产周期的涂敷装置。其具备：基板保持机构，其在形成于载物台的表面的吸引孔产生吸引力而将基板吸附保持于载物台的表面；涂敷组件，其相对于基板相对移动的同时喷出涂敷液，其中，在基板保持机构的吸引孔连通连接与产生吸引力的吸引力产生装置连接的主配管及副配管，在主配管设有开闭主配管路径的主阀，在副配管设有开闭副配管路径的副阀，并设置有具备储存部的储存箱，所述储存部在比该副阀靠吸引力产生装置侧具有规定容量，储存部具有比一定区间的副配管的容量大的容量。
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公开(公告)号：CN101274313A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：CN200810087497.X
申请日：2008-03-28
Applicant: 东丽工程株式会社
Abstract: 本发明提供一种即使在引导支承架行走的导轨被分割的情况下，也能够避免大量地生产不良基板、并能够提高涂布基板的合格率的涂布装置及涂布方法。该涂布装置具备：配设有保持基板的载物台的基台、在上述基台上被设置成沿特定方向延伸的状态且被分割成多个的轨道、以及沿上述轨道相对上述基板进行相对行走并向上述基板上涂布涂布液的涂布单元；该涂布装置具有如下构成：设置了检测上述涂布单元的动作的变动的检测机构，根据该变动检测机构检测出的结果来判断基板上的涂布状态是否良好，在判断涂布状态不适当的情况下，使上述涂布单元停止。
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