公开(公告)号：CN211603213U

公开(公告)日：2020-09-29

申请号：CN202020111397.2

申请日：2020-01-17

Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司

Inventor： 陈昌 ,  刘博 ,  王靖

IPC: G01N33/574 ,  G01N21/64 ,  G01N21/25 ,  B01L3/00

Abstract: 本实用新型提供一种光波导多微流道检测系统，包括。具有有益效果：形成光波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN212167472U

公开(公告)日：2020-12-18

申请号：CN202020115986.8

申请日：2020-01-17

Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司

Inventor： 陈昌 ,  刘博 ,  王靖

IPC: B01L3/00 ,  G01N21/63

Abstract: 本实用新型提供一种基于CMOS图像传感的光栅波导微流体芯片，包括：光栅波导和微流道，光栅波导包括出射光栅，出射光栅位于微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入微流道内，还包括：依次由下而上设置的CMOS图像传感层、下包层、波导层、保护层和上包层；所述波导层是在25‑150℃沉积温度下形成的氮化硅材料，波导层用以形成光栅波导；保护层是二氧化硅材料，用以覆盖光栅波导并保护出射光栅；微流道贯穿所述上包层以暴露出保护层。具有有益效果：在CMOS图像传感层和高分子聚合材料上低温沉积光学性能可调的氮化硅光波导，不破坏CMOS图像传感层，减少了实验中对收集光路调整等准备工作，提高了实验效率；提高了检测系统的便携性，大大增加了系统的应用场景。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN212167471U

公开(公告)日：2020-12-18

申请号：CN202020115577.8

申请日：2020-01-17

Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司

Inventor： 陈昌 ,  刘博 ,  王靖

IPC: B01L3/00 ,  G01N21/63

Abstract: 本实用新型提供一种光栅波导微流体芯片，包括光栅波导和微流道，光栅波导包括出射光栅，出射光栅位于微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入微流道内，还包括：由下而上设置的下包层、波导层、保护层和上包层；保护层用以覆盖光栅波导并保护出射光栅；微流道贯穿上包层以暴露出保护层；下包层和上包层均是厚度为15～30μm的高分子聚合材料。具有有益效果：在柔性基底上沉积光学性能可调的氮化硅薄膜，扩展SiN光学器件材料的应用范围和形式，将传统光学系统通过集成光学或片上光学器件来实现，把传统的台式大型的光学系统缩小到芯片尺寸，保证出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN211826083U

公开(公告)日：2020-10-30

申请号：CN202020114973.9

申请日：2020-01-17

Applicant: 上海新微技术研发中心有限公司

Inventor： 陈昌 ,  刘博 ,  王靖

IPC: G01N33/574 ,  G01N21/64 ,  G01N21/27 ,  B01L3/00

Abstract: 本实用新型提供一种基于CMOS图像传感的光波导多微流道检测系统，包括：微流体芯片、光谱收集装置和分析装置；微流体芯片包括光波导和微流道，光波导用以将光沿水平方向导入微流道内；光谱收集装置包括CMOS图像传感层：依次由下而上设置的下包层、波导层、上包层和流道盖板；CMOS图像传感层位于下包层下方；微流道暴露出CMOS图像传感层；微流道宽度为10-100μm。具有有益效果：形成光波导与多微流道一体化矩阵的结构，通过多微流体通道和大规模矩阵化的光波导来实现比传统光学系统更高通量的分析性能，快速构建高通量生物样品的芯片级的片上光学检测分析系统，实现微纳尺度下的生物检测的高通量芯片；减少实验中对收集光路调整等准备工作，提高检测系统的便携性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利